CN215093023U - 一种玻璃基板薄化加工用抛光垫 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及玻璃基板生产技术领域,且公开了一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,包括安装板,安装板的底端固定连接有橡胶套环,橡胶套环的内部套设有抛光垫本体,抛光垫本体由缓冲层、粘接层和聚氨酯层组成,橡胶套环和抛光垫本体之间设置有固定机构;固定机构包括两组条形限位块、一组注胶通道和两组条形卡槽,两组条形限位块环形固定连接在橡胶套环的内侧。该玻璃基板薄化加工用抛光垫,通过缓冲层、打磨凸块以及清洁毛的设计,利用缓冲层和打磨凸块有效解决了抛光垫本体在对玻璃基板进行打磨抛光工作时出现局部形变而影响抛光效果的问题,并且在清洁毛的作用下提高了玻璃基板抛光后表面的抛光效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃基板生产技术领域,具体为一种玻璃基板薄化加工用抛光垫。
背景技术
抛光垫又称抛光皮,抛光布,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料,按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫。
玻璃基板加工过程中就需要抛光垫进行打磨抛光以实现玻璃基板的薄化工作,现抛光垫与玻璃基板接触时易发生局部形变,从而影响到玻璃基板的抛光效果。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,以解决上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,包括安装板,所述安装板的底端固定连接有橡胶套环,所述橡胶套环的内部套设有抛光垫本体,所述抛光垫本体由缓冲层、粘接层和聚氨酯层组成,所述橡胶套环和抛光垫本体之间设置有固定机构;
所述固定机构包括两组条形限位块、一组注胶通道和两组条形卡槽,两组条形限位块环形固定连接在橡胶套环的内侧,一组注胶通道等距开设在橡胶套环的内部,两组所述条形卡槽环形等距开设在抛光垫本体顶部的外侧,两组条形限位块分别套接在两组条形卡槽的内部。
优选的,所述聚氨酯层固定连接在粘接层的底端,所述粘接层固定连接在缓冲层的底端,所述缓冲层的顶端与橡胶套环内腔的顶端贴合。
优选的,所述聚氨酯层的顶端对称固定连接有两组定位杆,所述缓冲层的底端对称开设有两组定位槽,两组所述定位杆均贯穿粘接层并分别插接在两组定位槽的内部。
优选的,所述安装板顶端的一侧开设有进胶管道,所述进胶管道的输入端螺纹套设有密封塞,所述进胶管道的输出端与一组注胶通道的输入端连通。
优选的,所述安装板的顶端固定连接有连接块,所述连接块的顶端开设有安装孔。
优选的,所述抛光垫本体的底端呈环形阵列等距固定连接有多个打磨凸块,所述抛光垫本体底端位于多个打磨凸块之间均固定连接有不少于九个清洁毛。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,具备以下有益效果:
1、该玻璃基板薄化加工用抛光垫,通过缓冲层、打磨凸块以及清洁毛的设计,利用缓冲层和打磨凸块有效解决了抛光垫本体在对玻璃基板进行打磨抛光工作时出现局部形变而影响抛光效果的问题,并且在清洁毛的作用下提高了玻璃基板抛光后表面的抛光效果;
2、该玻璃基板薄化加工用抛光垫,通过固定机构的设计,在抛光垫本体使用前,操作者利用固定机构以及注胶的方式实现抛光垫本体和橡胶套环之间的连接固定,此方式提高了抛光垫本体在使用时的稳定。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型组合状态结构示意图;
图3为本实用新型图2中A处放大结构示意图;
图4为本实用新型橡胶套环俯视图。
图中:1、安装板;2、橡胶套环;3、抛光垫本体;301、缓冲层;302、粘接层;303、聚氨酯层;4、进胶管道;5、密封塞;6、条形限位块;7、注胶通道;8、连接块;9、条形卡槽;10、打磨凸块;11、清洁毛;12、定位杆;13、定位槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案,一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,包括安装板1,安装板1为圆板结构,安装板1的底端固定连接有橡胶套环2,橡胶套环2的内部套设有抛光垫本体3,通过橡胶套环2与抛光垫本体3之间的套接,以对抛光垫本体3的安装规格进行限定,抛光垫本体3由缓冲层301、粘接层302和聚氨酯层303组成,缓冲层301的材质设置为聚酯海绵,粘接层302的材质为环氧树脂胶,聚氨酯层303固定连接在粘接层302的底端,粘接层302固定连接在缓冲层301的底端,聚氨酯层303通过粘接层302与缓冲层301之间固定连接,缓冲层301的顶端与橡胶套环2内腔的顶端贴合,抛光垫本体3整体设置为一体式结构,整体结构稳定,通过缓冲层301的弹性弥补了抛光垫本体3形貌变化对抛光效果的影响,提高了抛光垫本体3的抛光效果。
橡胶套环2和抛光垫本体3之间设置有固定机构,固定机构包括两组条形限位块6、一组注胶通道7和两组条形卡槽9,每组条形限位块6和条形卡槽9的数量均为九个,一组注胶通道7的数量不少于十个,两组条形限位块6环形固定连接在橡胶套环2的内侧,一组注胶通道7等距开设在橡胶套环2的内部,两组条形卡槽9环形等距开设在抛光垫本体3顶部的外侧,两组条形限位块6分别套接在两组条形卡槽9的内部,通过条形限位块6与条形卡槽9之间的套接,以对抛光垫本体3在橡胶套环2内的安装位置进行限定。
安装板1顶端的一侧开设有进胶管道4,进胶管道4的输入端螺纹套设有密封塞5,通过密封塞5的设置,以实现对进胶管道4的输入端位置的密封,进胶管道4的输出端与一组注胶通道7的输入端连通,操作者向进胶管道4内倒入胶水,胶水经进胶管道4流入至注胶通道7内,继而流入至橡胶套环2与抛光垫本体3之间的缝隙处,待胶水凝结后,即可实现橡胶套环2与抛光垫本体3之间的安装固定,安装板1的顶端固定连接有连接块8,连接块8的顶端开设有安装孔,外部操作设备可通过连接块8以实现与整体设备的连接。
抛光垫本体3的底端呈环形阵列等距固定连接有多个打磨凸块10,打磨凸块10为软性材料,抛光垫本体3底端位于多个打磨凸块10之间均固定连接有不少于九个清洁毛11,在抛光垫本体3对玻璃基板打磨抛光工作时,可利用清洁毛11的设置实现玻璃基板表面抛光后的清洁效果。
本装置的工作原理:参考附图1,操作人员将抛光垫本体3顶部开设的两组条形卡槽9分别对准橡胶套环2内部固定连接的两个条形限位块6,在两组条形限位块6分别插入至两组条形卡槽9内后,操作人员将一定量的胶水从进胶管道4处倒入,胶水经进胶管道4流入至注胶管道7内,胶水从注胶管道7处流入至橡胶套环2与抛光垫本体3之间的缝隙处,待胶水凝结后即可实现橡胶套环2与抛光垫本体3之间的安装固定,之后操作人员通过连接块8将安装板1安装在外部操作设备上后,操作人员即可使用抛光垫本体3对玻璃基板实施打磨抛光工作。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,包括安装板(1),其特征在于:所述安装板(1)的底端固定连接有橡胶套环(2),所述橡胶套环(2)的内部套设有抛光垫本体(3),所述抛光垫本体(3)由缓冲层(301)、粘接层(302)和聚氨酯层(303)组成,所述橡胶套环(2)和抛光垫本体(3)之间设置有固定机构;
所述固定机构包括两组条形限位块(6)、一组注胶通道(7)和两组条形卡槽(9),两组条形限位块(6)环形固定连接在橡胶套环(2)的内侧,一组注胶通道(7)等距开设在橡胶套环(2)的内部,两组所述条形卡槽(9)环形等距开设在抛光垫本体(3)顶部的外侧,两组条形限位块(6)分别套接在两组条形卡槽(9)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,其特征在于:所述聚氨酯层(303)固定连接在粘接层(302)的底端,所述粘接层(302)固定连接在缓冲层(301)的底端,所述缓冲层(301)的顶端与橡胶套环(2)内腔的顶端贴合。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,其特征在于:所述聚氨酯层(303)的顶端对称固定连接有两组定位杆(12),所述缓冲层(301)的底端对称开设有两组定位槽(13),两组所述定位杆(12)均贯穿粘接层(302)并分别插接在两组定位槽(13)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,其特征在于:所述安装板(1)顶端的一侧开设有进胶管道(4),所述进胶管道(4)的输入端螺纹套设有密封塞(5),所述进胶管道(4)的输出端与一组注胶通道(7)的输入端连通。
5.根据权利要求1所述的一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,其特征在于:所述安装板(1)的顶端固定连接有连接块(8),所述连接块(8)的顶端开设有安装孔。
6.根据权利要求1所述的一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,其特征在于:所述抛光垫本体(3)的底端呈环形阵列等距固定连接有多个打磨凸块(10),所述抛光垫本体(3)底端位于多个打磨凸块(10)之间均固定连接有不少于九个清洁毛(11)。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202121476804.0U CN215093023U (zh) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | 一种玻璃基板薄化加工用抛光垫 |
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Country Status (1)
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CN115008342A (zh) * | 2022-06-15 | 2022-09-06 | 安徽禾臣新材料有限公司 | 一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺 |
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