CN214973398U - 一种便于清理的光刻胶混合装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种便于清理的光刻胶混合装置，包括：支撑架，所述支撑架的内侧设置有混合罐且混合罐的上部设置有入料口，所述入料口的侧面设置有排气管，所述混合罐的中上部设置有固定座且固定座的上部设置有减速机，所述减速机的侧面设置有电机且减速机的动力输出端设置有驱动轴。本实用新型通过转动活动杆底部的旋钮带动主动轮旋转，从而通过从动轮带动螺杆旋转，伸缩柱的内部设置有螺纹孔且螺杆插接在螺纹孔内部，此种设置可以任意调节伸缩柱的长度，在伸缩柱的侧面设置有刮板，正常混合使用时盖板与内壁相互接触，并充当搅拌叶片使用，当需要对内部清理时，伸缩柱伸长使刮板与内壁相互接触，转动时对内壁进行清理，清理步骤简单快捷。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻胶生产技术领域，更具体为一种便于清理的光刻胶混合装置。
背景技术
光刻胶（Photoresist）又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶（包括紫外正、负性光刻胶）、深紫外光刻胶、X-射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业 [6]。光刻胶生产技术较为复杂，品种规格较多，在电子工业集成电路的制造中，对所使用光刻胶有严格的要求。
目前，现有的光刻胶混合时其容易与混合装置的内壁发生粘连，传统的清理方式难以进行清理。因此，需要提供一种新的技术方案给予解决。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种便于清理的光刻胶混合装置，解决了目前，现有的光刻胶混合时其容易与混合装置的内壁发生粘连，传统的清理方式难以进行清理的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于清理的光刻胶混合装置，包括：支撑架，所述支撑架的内侧设置有混合罐且混合罐的上部设置有入料口，所述入料口的侧面设置有排气管，所述混合罐的中上部设置有固定座且固定座的上部设置有减速机，所述减速机的侧面设置有电机且减速机的动力输出端设置有驱动轴，所述驱动轴的表面设置有固定柱且固定柱的内部设置有伸缩柱，所述驱动轴的内部设置有活动杆且活动杆与固定柱的连接处设置有主动轮，所述固定柱的内部设置有螺杆且伸缩柱的内部设置有螺纹孔，所述螺杆插接在螺纹孔内部并与螺杆之间螺纹连接，所述螺杆的另一端设置有从动轮且从动轮与主动轮之间相互啮合，所述活动杆的末端设置有旋钮，所述伸缩柱的侧面设置有连接柱且连接柱的侧面设置有刮板。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述混合罐的底部设置有排料口且驱动轴延伸至排料口内部，所述驱动轴位于排料口内侧的一端表面设置有送料叶片且送料叶片呈螺旋式结构设置。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述混合罐的外部设置有夹套且夹套包裹在混合罐的表面，所述夹套的表面设置有进水口和出水口。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述伸缩柱的内部设置有插接槽且连接柱插接在插接槽内部，所述插接槽的内部设置有弹簧柱且弹簧柱与连接柱之间相互接触 。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述刮板的两侧呈倾斜状设置且刮板与混合罐的内壁相互贴合。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
本实用新型在支撑架的内侧设置有混合罐且混合罐上部设置有入料口，入料口的侧面设置有排气管，混合罐的中上部设置有固定座且固定座的上部设置有减速机，减速机的侧面设置有电机，减速机的动力输出端设置有驱动轴且驱动轴的表面设置有固定柱，固定柱的内部设置有伸缩柱且伸缩柱与固定柱之间伸缩连接，驱动轴的内部设置有活动杆且活动杆与固定柱的连接处设置有主动轮，在固定柱的内部设置有螺杆且螺杆与活动杆的连接处设置有从动轮，从动轮与主动轮之间相互啮合，通过转动活动杆底部的旋钮带动主动轮旋转，从而通过从动轮带动螺杆旋转，伸缩柱的内部设置有螺纹孔且螺杆插接在螺纹孔内部，此种设置可以任意调节伸缩柱的长度，在伸缩柱的侧面设置有刮板，正常混合使用时盖板与内壁相互接触，并充当搅拌叶片使用，当需要对内部清理时，伸缩柱伸长使刮板与内壁相互接触，转动时对内壁进行清理，清理步骤简单快捷，在混合罐的底部设置有排料口且驱动轴延伸至排料口内部，驱动轴位于排料口内部的表面设置有送料叶片且送料叶片呈螺旋式结构设置，方便原料的排出。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型固定柱内部结构示意图；
图3为本实用新型A部分放大构示意图。
图中:1、支撑架；2、混合罐；3、夹套；4、进水口；5、固定座；6、减速机；7、电机；8、入料口；9、排气管；10、排料口；11、驱动轴；12、固定柱；13、伸缩柱；14、刮板；15、送料叶片；16、旋钮；17、螺纹孔；18、螺杆；19、弹簧柱；20、插接槽；21、连接柱；22、主动轮；23、从动轮；24、活动杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种便于清理的光刻胶混合装置，包括：支撑架1，所述支撑架1的内侧设置有混合罐2且混合罐2的上部设置有入料口8，所述入料口8的侧面设置有排气管9，所述混合罐2的中上部设置有固定座5且固定座5的上部设置有减速机6，所述减速机6的侧面设置有电机7且减速机6的动力输出端设置有驱动轴11，所述驱动轴11的表面设置有固定柱12且固定柱12的内部设置有伸缩柱13，所述驱动轴11的内部设置有活动杆24且活动杆24与固定柱12的连接处设置有主动轮22，所述固定柱12的内部设置有螺杆18且伸缩柱13的内部设置有螺纹孔17，所述螺杆18插接在螺纹孔17内部并与螺杆18之间螺纹连接，所述螺杆18的另一端设置有从动轮23且从动轮23与主动轮22之间相互啮合，所述活动杆24的末端设置有旋钮16，所述伸缩柱13的侧面设置有连接柱21且连接柱21的侧面设置有刮板14，通过转动活动杆24底部的旋钮16带动主动轮22旋转，从而通过从动轮23带动螺杆18旋转，伸缩柱13的内部设置有螺纹孔17且螺杆18插接在螺纹孔17内部，此种设置可以任意调节伸缩柱13的长度，在伸缩柱13的侧面设置有刮板14，正常混合使用时盖板与内壁相互接触，并充当搅拌叶片使用，当需要对内部清理时，伸缩柱13伸长使刮板14与内壁相互接触，转动时对内壁进行清理，清理步骤简单快捷。
进一步改进地，如图1所示：所述混合罐2的底部设置有排料口10且驱动轴11延伸至排料口10内部，所述驱动轴11位于排料口10内侧的一端表面设置有送料叶片15且送料叶片15呈螺旋式结构设置，驱动轴11位于排料口10内部的表面设置有送料叶片15且送料叶片15呈螺旋式结构设置，方便原料的排出。
进一步改进地，如图1所示：所述混合罐2的外部设置有夹套3且夹套3包裹在混合罐2的表面，所述夹套3的表面设置有进水口4和出水口，夹套3内通入热水或冷水，从而控制混合罐2的温度，操作简单方便。
进一步改进地，如图1所示：所述伸缩柱13的内部设置有插接槽20且连接柱21插接在插接槽20内部，所述插接槽20的内部设置有弹簧柱19且弹簧柱19与连接柱21之间相互接触，连接柱21通过弹簧柱19与插接槽20伸缩，启到一定缓冲作用。
进一步改进地，如图1所示：所述刮板14的两侧呈倾斜状设置且刮板14与混合罐2的内壁相互贴合，刮板14的边缘处呈倾斜状设置，保证了其刮胶效果。
本实用新型在支撑架1的内侧设置有混合罐2且混合罐2上部设置有入料口8，入料口8的侧面设置有排气管9，混合罐2的中上部设置有固定座5且固定座5的上部设置有减速机6，减速机6的侧面设置有电机7，减速机6的动力输出端设置有驱动轴11且驱动轴11的表面设置有固定柱12，固定柱12的内部设置有伸缩柱13且伸缩柱13与固定柱12之间伸缩连接，驱动轴11的内部设置有活动杆24且活动杆24与固定柱12的连接处设置有主动轮22，在固定柱12的内部设置有螺杆18且螺杆18与活动杆24的连接处设置有从动轮23，从动轮23与主动轮22之间相互啮合，通过转动活动杆24底部的旋钮16带动主动轮22旋转，从而通过从动轮23带动螺杆18旋转，伸缩柱13的内部设置有螺纹孔17且螺杆18插接在螺纹孔17内部，此种设置可以任意调节伸缩柱13的长度，在伸缩柱13的侧面设置有刮板14，正常混合使用时盖板与内壁相互接触，并充当搅拌叶片使用，当需要对内部清理时，伸缩柱13伸长使刮板14与内壁相互接触，转动时对内壁进行清理，清理步骤简单快捷，在混合罐2的底部设置有排料口10且驱动轴11延伸至排料口10内部，驱动轴11位于排料口10内部的表面设置有送料叶片15且送料叶片15呈螺旋式结构设置，方便原料的排出。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种便于清理的光刻胶混合装置，其特征在于：包括：支撑架（1），所述支撑架（1）的内侧设置有混合罐（2）且混合罐（2）的上部设置有入料口（8），所述入料口（8）的侧面设置有排气管（9），所述混合罐（2）的中上部设置有固定座（5）且固定座（5）的上部设置有减速机（6），所述减速机（6）的侧面设置有电机（7）且减速机（6）的动力输出端设置有驱动轴（11），所述驱动轴（11）的表面设置有固定柱（12）且固定柱（12）的内部设置有伸缩柱（13），所述驱动轴（11）的内部设置有活动杆（24）且活动杆（24）与固定柱（12）的连接处设置有主动轮（22），所述固定柱（12）的内部设置有螺杆（18）且伸缩柱（13）的内部设置有螺纹孔（17），所述螺杆（18）插接在螺纹孔（17）内部并与螺杆（18）之间螺纹连接，所述螺杆（18）的另一端设置有从动轮（23）且从动轮（23）与主动轮（22）之间相互啮合，所述活动杆（24）的末端设置有旋钮（16），所述伸缩柱（13）的侧面设置有连接柱（21）且连接柱（21）的侧面设置有刮板（14）。
2.根据权利要求1所述的一种便于清理的光刻胶混合装置，其特征在于：所述混合罐（2）的底部设置有排料口（10）且驱动轴（11）延伸至排料口（10）内部，所述驱动轴（11）位于排料口（10）内侧的一端表面设置有送料叶片（15）且送料叶片（15）呈螺旋式结构设置。
3.根据权利要求1所述的一种便于清理的光刻胶混合装置，其特征在于：所述混合罐（2）的外部设置有夹套（3）且夹套（3）包裹在混合罐（2）的表面，所述夹套（3）的表面设置有进水口（4）和出水口。
4.根据权利要求1所述的一种便于清理的光刻胶混合装置，其特征在于：所述伸缩柱（13）的内部设置有插接槽（20）且连接柱（21）插接在插接槽（20）内部，所述插接槽（20）的内部设置有弹簧柱（19）且弹簧柱（19）与连接柱（21）之间相互接触。
5.根据权利要求1所述的一种便于清理的光刻胶混合装置，其特征在于：所述刮板（14）的两侧呈倾斜状设置且刮板（14）与混合罐（2）的内壁相互贴合。
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| CN202121337273.7U CN214973398U (zh) | 2021-06-16 | 2021-06-16 | 一种便于清理的光刻胶混合装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114405445A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-04-29 | 潍坊学院 | 一种配位聚合物合成设备 |
| CN114798525A (zh) * | 2022-04-19 | 2022-07-29 | 珙县华洁危险废物治理有限责任公司 | 一种清理回转窑出料口粘接物的清理装置 |
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| CN114405445B (zh) * | 2022-03-30 | 2022-06-21 | 潍坊学院 | 一种配位聚合物合成设备 |
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| CN114798525B (zh) * | 2022-04-19 | 2023-02-14 | 珙县华洁危险废物治理有限责任公司 | 一种清理回转窑出料口粘接物的清理装置 |
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