CN214955727U - 一种屏幕光处理设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及电子设备制造技术领域,公开了一种屏幕光处理设备。屏幕光处理设备包括底座、支架、承载组件、测距仪、光处理装置和移动单元。支架固定在底座上。承载组件置于底座上,承载组件包括载台,载台用于承载待处理屏幕。测距仪置于支架上并位于载台上方,且测距仪的测量端朝向载台设置。光处理装置置于支架上,光处理装置包括光源,光源位于载台上方并朝向载台设置。移动单元使测距仪相对于载台沿X轴和Y轴移动。本实用新型能够在每次光处理待处理屏幕前,测量载台是否处于水平位置,提高了产品的合格率,降低了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子设备制造技术领域,尤其涉及一种屏幕光处理设备。
背景技术
随着科技的进步,电子产品被广泛应用在各个领域中。屏幕作为电子产品的重要组成部分,愈加受到重视。在屏幕的生产过程中,需要对屏幕进行光处理。光处理的过程中将屏幕置于光处理设备的载台上,通过将载台平移或旋转角度至所需位置,从而完成屏幕上特定位置的光处理。其中,在进行一块屏幕的光处理过程前,需要将载台恢复至呈水平位置的初始状态,便于承接屏幕,也便于后续光处理的过程中将载台调整至所需位置。现有技术的光处理设备中,无法在光处理前检测初始状态下的载台是否处于水平位置,不能保证屏幕上光处理的位置的准确度,降低了产品的合格率,从而提高了生产成本。
基于此,亟需一种屏幕光处理设备用来解决如上提到的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种屏幕光处理设备,能够在每次光处理待处理屏幕前测量载台是否处于水平位置,提高了产品的合格率,降低了生产成本。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种屏幕光处理设备,包括:
底座;
支架,固定在所述底座上;
承载组件,置于所述底座上,所述承载组件包括载台,所述载台用于承载待处理屏幕;
测距仪,所述测距仪置于所述支架上并位于所述载台上方,且所述测距仪的测量端朝向所述载台设置;
光处理装置,置于所述支架上,所述光处理装置包括光源,所述光源位于所述载台上方并朝向所述载台设置;
移动单元,所述移动单元使所述测距仪相对于所述载台沿X轴和Y轴移动。
优选地,所述移动单元包括第一移动机构和第二移动机构;
所述第一移动机构包括第一驱动件,所述第一驱动件驱动所述载台沿Y轴移动;
所述第二移动机构包括第二驱动件,所述第二驱动件驱动所述测距仪沿X轴移动。
优选地,所述承载组件还包括第一连接座,所述载台设置在所述第一连接座上,所述第一连接座上设有第一滑槽,所述第一连接座连接于所述第一驱动件的输出端;所述第一移动机构还包括沿Y轴延伸的第一滑轨,所述第一滑轨置于所述底座上;所述第一滑槽与所述第一滑轨滑动配合,所述第一驱动件驱动所述第一连接座沿所述第一滑轨滑动。
优选地,所述支架上还设有第二连接座,所述测距仪设置在所述第二连接座上,所述第二连接座上设有第二滑槽,所述第二连接座连接于所述第二驱动件的输出端;所述第二移动机构包括沿X轴延伸的第二滑轨,所述第二滑轨置于所述支架上;所述第二滑槽与所述第二滑轨滑动配合,所述第二驱动件驱动所述第二连接座沿所述第二滑轨滑动。
优选地,所述第二连接座上还设有固定件,所述固定件上竖直开设有测距仪通孔,所述测距仪的测量端穿设于所述测距仪通孔。
优选地,所述固定件还开设有光源通孔,所述测距仪通孔与所述光源通孔间隔设置,所述光源穿设于所述光源通孔。
优选地,所述第二连接座上还设有第三移动机构,所述第三移动机构包括第三驱动件,所述第三驱动件与所述光源连接,所述第三驱动件驱动所述光源沿所述光源通孔的轴线方向滑动,以使所述光源靠近或远离所述待处理屏幕。
优选地,所述支架包括竖直设置的两个立柱和沿X轴设置的横梁,两个所述立柱间隔固定在所述底座上,所述横梁连接在两个所述立柱之间,所述第二滑轨设置在所述横梁上。
优选地,所述承载组件还包括载台转动件,所述载台转动件包括输出转轴,所述输出转轴能够绕X轴转动,所述载台转动件固定在所述第一连接座上,且所述输出转轴的末端与所述载台固定连接。
优选地,所述载台上凸出设有限位件,当所述待处理屏幕置于所述载台上时,所述限位件与所述待处理屏幕的边缘接触。
本实用新型的有益效果:本设备设置测距仪和移动单元,移动单元能够使测距仪在水平方向上相对载台移动,从而使得测距仪能够处于载台任意位置的正上方。当在载台上设置多个测量点,测距仪能够移动至各个测量点的正上方,能够测量并比较载台上多个测量点与测距仪的测量端之间的距离,从而判断载台是否处于水平位置。本实用新型能够在每次光处理待处理屏幕前测量初始状态的载台是否处于水平位置,提高了光处理时光源照射的位置的准确性,提高了产品的合格率,降低了生产成本,提高了设备的实用性。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的屏幕光处理设备的轴侧图;
图2是图1中A处的局部放大图;
图3是本实用新型实施例提供的屏幕光处理设备的正视图;
图4是本实用新型实施例提供的屏幕光处理设备的侧视图;
图5是本实用新型实施例提供的待处理屏幕的结构示意图;
图6是本实用新型实施例提供的载台上测量点的示意图。
图中:
10、待处理屏幕;101、第一直屏;102第二直屏;103、连接屏;104、尾屏;
1、底座;
2、支架;21、第二连接座;22、固定件;23、立柱;24、横梁;
3、承载组件;31、载台;311、限位件;32、第一连接座;
4、测距仪;
51、光源;
61、第一滑轨;62、第二滑轨;
71、第一履带;72、第二履带;73、气缸。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
本实施例提供了一种屏幕光处理设备。具体地,如图1-4所示,屏幕光处理设备包括底座1、支架2、承载组件3、测距仪4、光处理装置和移动单元。支架2固定在底座1上。承载组件3置于底座1上,承载组件3包括载台31,载台31用于承载待处理屏幕10。测距仪4置于支架2上并位于载台31上方,且测距仪4的测量端朝向载台31设置。光处理装置置于支架2上,光处理装置包括光源51,光源51位于载台31上方并朝向载台31设置。移动单元使测距仪4相对于载台31沿X轴和Y轴移动。设置测距仪4和移动单元,移动单元能够使测距仪4在水平方向上相对载台31移动,从而使得测距仪4能够处于载台31任意位置的正上方。当在载台31上设置多个测量点,测距仪4能够移动至各个测量点的正上方,能够测量并比较载台31上多个测量点与测距仪4的测量端之间的距离,从而判断载台31是否处于水平位置。本实用新型能够在每次光处理待处理屏幕10前测量初始状态的载台31是否处于水平位置,提高了光处理时光源51照射的位置的准确性,提高了产品的合格率,降低了生产成本,提高了设备的实用性。具体本实施例中的X轴、Y轴和Z轴方向如图1中所示。
具体地,移动单元包括第一移动机构和第二移动机构。第一移动机构包括第一驱动件,第一驱动件驱动载台31沿Y轴移动,第二移动机构包括第二驱动件,第二驱动件驱动测距仪4沿X轴移动,设置第一驱动件与第二驱动件能够实现载台31与测距仪4之间的相对移动,能够在载台31上设置多个测量点,使测距仪4的测量端移动至各个测量点的正上方,提高了测量载台31是否水平的准确度,也提高了光处理时光源51照射的位置的准确性,提高了产品的合格率。在本实施例中,第一驱动件为驱动电机,并通过第一履带71与载台31传动连接,能够带动载台31沿Y轴移动。第二驱动件也为驱动电机,并通过第二履带72与测距仪4传动连接,能够带动测距仪4沿X轴移动。其中,电机与履带之间的连接结构为现有技术,在此不再进行赘述。在其他实施例中,还可将第一驱动件和第二驱动件同时连接于载台31或测距仪4,且第一驱动件和第二驱动件还可以为电缸、液压缸或直线电机等,在此不作限定。
进一步地,承载组件3还包括第一连接座32。载台31设置在第一连接座32上,第一连接座32上设有第一滑槽,第一连接座32连接于第一驱动件的输出端。第一移动机构还包括沿Y轴延伸的第一滑轨61。第一滑轨61置于底座1上;第一滑槽与第一滑轨61滑动配合,第一驱动件驱动第一连接座32沿第一滑轨61滑动。设置第一滑槽与第一滑轨61之间滑动配合,能够保证第一连接座32带动载台31沿Y轴移动,即保证载台31仅能沿水平的Y轴移动,便于测量载台31上的多个测量点与测距仪4的测量端之间的距离,提高了光处理时光源51照射的位置的准确性,提高了产品的合格率,降低了生产成本。在本实施例中,第一滑轨61平行间隔设置有两条,相应的第一连接座32上也对应设置两个第一滑槽,设置两个第一滑槽与第一滑轨61进一步保证了第一连接座32带动载台31移动时的方向,从而提高了在待处理屏幕10上的光处理时光源51照射的位置的准确性,提高了产品合格率,也提高了测量载台31上的测量点时的准确性。在其他实施例中,第一滑槽与第一滑轨61的数量可适应性调整,第一连接座32与底座1之间也可采用滑轮与滑槽配合或其他方式的滑动连接,在此不作限定。
再进一步地,支架2上还设有第二连接座21。测距仪4设置在第二连接座21上,第二连接座21上设有第二滑槽,第二连接座21连接于第二驱动件的输出端。第二移动机构包括沿X轴延伸的第二滑轨62。第二滑轨62置于支架2上;第二滑槽与第二滑轨62滑动配合,第二驱动件驱动第二连接座21沿第二滑轨62滑动。设置第二滑槽与第二滑轨62之间滑动配合,能够保证第二连接座21带动测距仪4沿X轴移动,即保证测距仪4仅能沿水平的X轴移动,便于测量载台31上的多个测量点与测距仪4的测量端之间的距离,提高了光处理时光源51照射的位置的准确性,提高了产品的合格率,降低了生产成本。可以理解的是,通过第一滑轨61与第二滑轨62的配合设置,使得测距仪4能够在载台31上方的水平面内产生各个方向的相对位移。在本实施例中,第二滑轨62平行间隔设置有两条,相应的第二连接座21上也对应设置两个第二滑槽,设置两个第二滑槽与第二滑轨62进一步保证了第二连接座21带动测距仪4移动时的方向,从而提高了在待处理屏幕10上的光处理时光源51照射的位置的准确性,提高了产品合格率,也提高了测量载台31上的测量点时的准确性。在其他实施例中,第二滑槽与第二滑轨62的数量可适应性调整,第二连接座21与支架2之间也可采用滑轮与滑槽配合或其他方式的滑动连接,在此不作限定。
在本实施例中,支架2包括竖直设置的两个立柱23和沿X轴设置的横梁24,两个立柱23间隔固定在底座1上,横梁24连接在两个立柱23之间,第二滑轨62设置在横梁24上。横梁24的设置便于将测距仪4固定在载台31上方,横梁24沿X轴设置也便于固定第二滑轨62,立柱23沿X轴延伸设置。在本实施例中,支架2呈U型。在其他实施例中,支架2还可为L型或其它形状,在此不作限定。
优选地,第二连接座21上还设有固定件22,固定件22能够固定测距仪4。固定件22上竖直开设有测距仪通孔,测距仪4的测量端穿设于测距仪通孔,设置测距仪通孔便于确定测距仪4的位置,减少了安装时间,降低了时间成本。在本实施例中,测距仪通孔包括两个半圆环,两个半圆环的内弧面相对设置且一端固定连接,另一端通过螺栓连接,设置螺栓连接也能够紧固不同尺寸的测距仪4,扩大了本设备的适用范围。此外,固定件22呈板状。在其他实施例中,固定件22还可为块状或其他结构形式,在此不作限定。
优选地,固定件22还开设有光源通孔。测距仪通孔与光源通孔间隔设置,光源51穿设于光源通孔,便于确定光源51的位置,减少了安装时间,降低了时间成本。在本实施例中,光处理装置为曝光仪,光源51发出的光是激光光束,能够对涂抹光刻胶的待处理屏幕10进行光刻处理。此外,光源51设置在固定件22上,使得第二连接座21也能够带动光源51沿X轴移动,便于对待处理屏幕10进行光处理,也提高了光处理时光源51照射的位置的准确性。在本实施例中,光源通孔包括两个半圆环,两个半圆环的内弧面相对设置且一端固定连接,另一端通过螺栓连接,设置螺栓连接也能够紧固不同尺寸的光源51,扩大了本设备的适用范围。
优选地,第二连接座21上还设有第三移动机构,第三移动机构包括第三驱动件,第三驱动件与光源51连接,第三驱动件驱动光源51沿光源通孔的轴线方向滑动,以使光源51靠近或远离待处理屏幕10。设置第三驱动件,便于调整光源51与待处理屏幕10之间的位置,使得本设备能够对不同厚度、不同高度的屏幕进行光处理,扩大了设备的适用范围,提高了实用性。在本实施例中,第三驱动件为气缸73。在其他实施例中,第三驱动件还可以采用电缸、液压缸或直线电机等,在此不作限定。
在本实施例中,待处理屏幕10的结构如图5所示,待处理屏幕10包括依次连接的第一直屏101、连接屏103、第二直屏102和尾屏104。第一直屏101与第二直屏102平行且间隔设置,第一直屏101的一端与第二直屏102的一端平齐并通过连接屏103相连,连接屏103的截面呈半圆形。第二直屏102的另一端沿平行于第一直屏101的方向凸出于第一直屏101的另一端设置,即第二直屏102部分重合于第一直屏101。第二直屏102的另一端连接有尾屏104,尾屏104的截面呈弧形并朝向第一直屏101弯曲。为了便于对连接屏103以及第二直屏102与第一直屏101重合的部分进行光处理,光源通孔的轴线与竖直方向的Z轴呈角度设置,光源51也倾斜于Z轴并向下朝向载台31设置,便于对连接屏103以及第二直屏102与第一直屏101重合的部分进行光处理。可以理解的是,当对待处理屏幕10进行光处理时,第二直屏102或第一直屏101置于载台31上,且连接屏103和尾屏104沿X轴方向延伸。第三驱动件能够驱动光源51倾斜上升或下降。此外,为了光源51能够靠近或远离待处理屏幕10,光源51与光源通孔间隙配合。
在本实施例中,载台31上设置有吸盘,便于将待处理屏幕10吸附在载台31上,当载台31的角度改变时,防止待处理屏幕10脱离载台31。在其他实施例中,还可采用粘附等方式将待处理屏幕10固定在载台31上,在此不作限定。
优选地,载台31上凸出设有限位件311,当待处理屏幕10置于载台31上时,限位件311与待处理屏幕10的边缘接触,设置限位件311便于定位待处理屏幕10,降低了时间成本,也提高了光处理时光源51照射的位置的准确性。在本实施例中,限位件311呈条状突出设置在载台31上。
优选地,承载组件3还包括载台转动件。载台转动件包括输出转轴,输出转轴能够绕X轴转动,载台转动件固定在第一连接座32上,且输出转轴的末端与载台31固定连接。设置能够驱动载台31绕X轴旋转的载台转动件,便于调整吸附在载台31上的待处理屏幕10的角度,更利于光处理屏幕上的不同位置,保证了产品的合格率。可以理解的是,通过设置载台驱动件且光源51倾斜设置,能够进一步保证多角度的对待处理屏幕10进行光处理,从而进一步便于对连接屏103以及第二直屏102与第一直屏101重合的部分进行光处理。在本实施例中,载台转动件为电机,电机的输出轴沿X轴设置并与载台31连接。
为了便于理解,如图6所示,本实施例提供的屏幕光处理设备测量载台31在初始位置是否呈水平时,采用如下方法:
步骤一,在载台31上选取两个测量点a点和b点。
步骤二,通过第一移动机构与第二移动机构将测距仪4的测量端分别移动至a点和b点的正上方,测量a点与测量端之间的距离L,测量b点与测量端之间的距离M。
步骤三,比较L和M是否相同,若L和M不相同,则判定载台31不水平,通过载台转动件调整载台31的角度,并再次进行步骤二;若L和M相同,则在载台31上选取第三个测量点c。
步骤四,通过第一移动机构与第二移动机构将测距仪4的测量端分别移动至c点的正上方,测量c点与测量端之间的距离N。
步骤五,比较L、M和N是否相同,若相同,则判定,载台31呈水平,若不相同,则判定载台31不水平,通过载台转动件调整载台31的角度,并再次进行步骤四。
在本实施例中,载台31呈长方体,载台31的顶面用于承载待处理屏幕10。为了便于选取测量点的位置,点a选取在顶面沿X轴的中线L1与沿Y轴的中线L2的交点处,点b选取在沿Y轴的中线L2上,点c选取在沿X轴的中线L1上。在其他实施例中,点a、点b和点c还可以设置在载台31的其他位置上,保证点a、点b和点c不在同一直线上即可,也可适应性增加测量点的数量,在此不作限定。
显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种屏幕光处理设备,其特征在于,包括:
底座(1);
支架(2),固定在所述底座(1)上;
承载组件(3),置于所述底座(1)上,所述承载组件(3)包括载台(31),所述载台(31)用于承载待处理屏幕(10);
测距仪(4),所述测距仪(4)置于所述支架(2)上并位于所述载台(31)上方,且所述测距仪(4)的测量端朝向所述载台(31)设置;
光处理装置,置于所述支架(2)上,所述光处理装置包括光源(51),所述光源(51)位于所述载台(31)上方并朝向所述载台(31)设置;
移动单元,所述移动单元使所述测距仪(4)相对于所述载台(31)沿X轴和Y轴移动。
2.根据权利要求1所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述移动单元包括第一移动机构和第二移动机构;
所述第一移动机构包括第一驱动件,所述第一驱动件驱动所述载台(31)沿Y轴移动;
所述第二移动机构包括第二驱动件,所述第二驱动件驱动所述测距仪(4)沿X轴移动。
3.根据权利要求2所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述承载组件(3)还包括第一连接座(32),所述载台(31)设置在所述第一连接座(32)上,所述第一连接座(32)上设有第一滑槽,所述第一连接座(32)连接于所述第一驱动件的输出端;所述第一移动机构还包括沿Y轴延伸的第一滑轨(61),所述第一滑轨(61)置于所述底座(1)上;所述第一滑槽与所述第一滑轨(61)滑动配合,所述第一驱动件驱动所述第一连接座(32)沿所述第一滑轨(61)滑动。
4.根据权利要求2所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述支架(2)上还设有第二连接座(21),所述测距仪(4)设置在所述第二连接座(21)上,所述第二连接座(21)上设有第二滑槽,所述第二连接座(21)连接于所述第二驱动件的输出端;所述第二移动机构包括沿X轴延伸的第二滑轨(62),所述第二滑轨(62)置于所述支架(2)上;所述第二滑槽与所述第二滑轨(62)滑动配合,所述第二驱动件驱动所述第二连接座(21)沿所述第二滑轨(62)滑动。
5.根据权利要求4所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述第二连接座(21)上还设有固定件(22),所述固定件(22)上竖直开设有测距仪通孔,所述测距仪(4)的测量端穿设于所述测距仪通孔。
6.根据权利要求5所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述固定件(22)还开设有光源通孔,所述测距仪通孔与所述光源通孔间隔设置,所述光源(51)穿设于所述光源通孔。
7.根据权利要求6所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述第二连接座(21)上还设有第三移动机构,所述第三移动机构包括第三驱动件,所述第三驱动件与所述光源(51)连接,所述第三驱动件驱动所述光源(51)沿所述光源通孔的轴线方向滑动,以使所述光源(51)靠近或远离所述待处理屏幕(10)。
8.根据权利要求4所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述支架(2)包括竖直设置的两个立柱(23)和沿X轴设置的横梁(24),两个所述立柱(23)间隔固定在所述底座(1)上,所述横梁(24)连接在两个所述立柱(23)之间,所述第二滑轨(62)设置在所述横梁(24)上。
9.根据权利要求3所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述承载组件(3)还包括载台转动件,所述载台转动件包括输出转轴,所述输出转轴能够绕X轴转动,所述载台转动件固定在所述第一连接座(32)上,且所述输出转轴的末端与所述载台(31)固定连接。
10.根据权利要求1-9任一项所述的屏幕光处理设备,其特征在于,所述载台(31)上凸出设有限位件(311),当所述待处理屏幕(10)置于所述载台(31)上时,所述限位件(311)与所述待处理屏幕(10)的边缘接触。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202120108968.1U CN214955727U (zh) | 2021-01-15 | 2021-01-15 | 一种屏幕光处理设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202120108968.1U CN214955727U (zh) | 2021-01-15 | 2021-01-15 | 一种屏幕光处理设备 |
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ID=79122340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202120108968.1U Active CN214955727U (zh) | 2021-01-15 | 2021-01-15 | 一种屏幕光处理设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN214955727U (zh) |
-
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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GR01 | Patent grant | ||
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