CN214953076U - 一种检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种检测装置，包括机架，可移动地设置在所述机架上的底板，驱动所述底板移动的移动动力源，所述底板上设有定位机构，所述机架还设有相机和上下料机构，所述定位机构包括底座和至少两个定位组件，所述定位组件由包括相连的推杆、定位头以及驱动所述推杆移动的定位动力源，所述推杆可滑动地设置在所述底座上，所述定位头具有竖直的限位面，所述定位头还设有用于承托工件的托台，所述托台伸出所述限位面，且所述托台的上表面与所述限位面垂直；所述相机朝向所述底座，用于采集工件的图像；所述上下料机构用于将工件上料至所述底座，或将工件从所述底座取出。本申请提供的检测装置，利用定位组件即可实现对工件的承托和定位。

Description

一种检测装置

技术领域

本申请涉及检测设备技术领域，特别是涉及一种检测装置。

背景技术

光刻掩模板(又称光罩)，简称掩模板，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。掩模板由不透明的遮光薄膜在透明基板(通常是玻璃基板)上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。

掩模板的质量对产品基片的质量会造成很大影响，而透明基板又对掩膜板的质量具有重大影响。因此，透明基板在使用前需要进行多项检测，其中一项是检测透明基板上的微孔数量、微孔尺寸以及微孔的分布情况。

微孔的检测通常是利用相机进行图像采集，然后通过计算机分析获得。由于微孔的尺寸很小(通常在0.2μm之下)，需要对透明基板进行分区图像采集，而分区是从透明基板的边缘开始，一旦透明基板的位置没有对准，容易漏掉部分位置没有检测，对微孔检测的效率和准确性将造成较大的影响。

因此，如何提供一种检测装置，能够简单便捷地实现定位和检测，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的为提供一种检测装置。本申请提供的检测装置，通过设置定位机构，利用定位组件即可实现对工件的承托和定位，简单便捷，占用空间小，且定位机构，利用托台承托工件，接触面小，无需额外的固定装置辅助，可以减少对工件的遮挡，有利于透明基板等工件进行图像采集。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种检测装置，包括机架，可移动地设置在所述机架上的底板，驱动所述底板移动的移动动力源，所述底板上设有定位机构，所述机架还设有相机和上下料机构，

所述定位机构包括底座和至少两个定位组件，所述定位组件由包括相连的推杆、定位头以及驱动所述推杆移动的定位动力源，所述推杆可滑动地设置在所述底座上，所述定位头具有竖直的限位面，所述定位头还设有用于承托工件的托台，所述托台伸出所述限位面，且所述托台的上表面与所述限位面垂直；

所述相机朝向所述底座，用于采集工件的图像；

所述上下料机构用于将工件上料至所述底座，或将工件从所述底座取出。

优选地，所述定位机构设有两个或四个所述定位组件，所述定位组件的定位头位于工件相对的两个顶角外侧，或位于工件四个顶角的外侧，所述定位头设有两个相互垂直的限位面，所述托台位于所述限位面相交处。

优选地，所述定位头设有凸块，所述限位面设置在凸块上，所述托台在竖直方向的高度低于所述凸块在竖直方向的高度。

优选地，当设置两个定位组件时，其中一个定位组件的所述凸块和所述托台分别可拆卸地装设在所述定位头上；

当设置四个定位组件时，其中三个定位组件的所述凸块和所述托台分别可拆卸地装设在所述定位头上。

优选地，所述机架上还设有调节机构，所述调节机构包括固定板、调节板，所述固定板与所述调节板之间设有万向转动部件，以使得所述调节板与所述固定板之间的夹角可调；所述固定板设有第一螺纹孔，所述调节板设有相配套的第二螺纹孔，螺栓穿过所述第一螺纹孔和第二螺纹孔，用于调节所述固定板与所述调节板之间的夹角；所述相机固定在所述调节板上。

优选地，所述调节板设有2-6个第二螺纹孔，多个第二螺纹孔分布在所述万向转动部件的外周，所述固定板在对应位置设有第一螺纹孔。

优选地，多个所述第二螺纹孔在所述万向转动部件的外周均匀分布；和/或，

所述第二螺纹孔位于所述调节板的边缘。

优选地，所述万向转动部件具体为球形部件，所述球形部件与所述固定板固定连接，所述调节板设有与所述球形部件相配合的凹槽。

优选地，所述球形部件为半球体，半球体的平面与所述固定板固定连接，半球体的曲面与所述调节板的凹槽相配合；且所述调节板凹槽的深度，小于所述半球体的高度。

优选地，所述底板与所述机架之间还设有气浮平台；

所述底板与所述机架之间，和/或所述相机与所述机架之间还设有隔振器。

本申请提供一种检测装置，设有机架、相机、上下料机构，并将底板可移动地设置在机架上，底板上还设有定位机构，从而透明基板等工件由上下料机构上料至定位机构的底座上，然后由定位组件推动进行定位，定位后由移动动力源驱动底板移动，带动底座和工件一同移动，使得工件的不同区域被相机所捕捉，采集图像进行微孔识别与判断，或进行其他检测；图像采集完后，再由上下料机构下料。

本申请提供的检测装置，通过设置定位机构，利用定位组件即可实现对工件的承托和定位，简单便捷，占用空间小，且定位机构，利用托台承托工件，接触面小，无需额外的固定装置辅助，可以减少对工件的遮挡，有利于透明基板等工件进行图像采集。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中检测装置的俯视示意图；

图3为本实用新型实施例中定位机构的结构示意图(定位头与工件接触)；

图4为本实用新型实施例中定位机构的俯视示意图(定位头与工件接触)；

图5为本实用新型实施例中定位机构的局部放大示意图(定位头与工件接触)；

图6为本实用新型实施例中定位机构的局部放大示意图(定位头未与工件接触)；

图7为本实用新型实施例中定位机构的俯视局部放大示意图(定位头未与工件接触)；

图8为本实用新型实施例中调节机构的结构示意图；

图9为本实用新型实施例中调节机构的俯视示意图；

图10为本实用新型实施例中调节机构的透视结构示意图；

图11为本实用新型实施例中调节机构的剖视示意图；

图12为本实用新型实施例中固定板的结构示意图；

图13为本实用新型实施例中调节板的结构示意图；

图14为本实用新型实施例中调节板的剖视示意图；

图15为本实用新型实施例中调节机构安装相机后的示意图；附图标记：1-定位机构；11-底座；12-推杆；13-定位头；131-限位面；132-托台；133-凸块；134-弹性件；2-调节机构；21-固定板；22-调节板；23-万向转动部件；231-球形部件；24-第一螺纹孔；25-第二螺纹孔；26-螺栓；3-机架；4-底板；5-上下料机构；a-相机；b-工件。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件上，它可以直接在另一个元件上或者间接设置在另一个元件上；当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”、“若干个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

须知，本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

本申请实施例采用递进的方式撰写。

请如图1至图15所示，本实用新型实施例提供一种检测装置，包括机架3，可移动地设置在所述机架3上的底板4，驱动所述底板4移动的移动动力源，所述底板4上设有定位机构1，所述机架3还设有相机和上下料机构5，

所述定位机构1包括底座11和至少两个定位组件，所述定位组件由包括相连的推杆12、定位头13以及驱动所述推杆12移动的定位动力源，所述推杆12可滑动地设置在所述底座11上，所述定位头13具有竖直的限位面131，所述定位头13还设有用于承托工件的托台132，所述托台132伸出所述限位面131，且所述托台132的上表面与所述限位面131垂直；

所述相机朝向所述底座11，用于采集工件的图像；

所述上下料机构5用于将工件上料至所述底座11，或将工件从所述底座11取出。

本申请提供一种检测装置，设有机架3、相机、上下料机构5，并将底板4可移动地设置在机架3上，底板4上还设有定位机构1，从而透明基板等工件由上下料机构5上料至定位机构1的底座11上，然后由定位组件推动进行定位，定位后由移动动力源驱动底板4移动，带动底座11和工件一同移动，使得工件的不同区域被相机所捕捉，采集图像进行微孔识别与判断，或进行其他检测；图像采集完后，再由上下料机构5下料。

本申请提供的检测装置，通过设置定位机构1，利用定位组件即可实现对工件的承托和定位，简单便捷，占用空间小，且定位机构1，利用托台132承托工件，接触面小，无需额外的固定装置辅助，可以减少对工件的遮挡，有利于透明基板等工件进行图像采集。

具体而言，定位机构1包括底座11和定位组件，定位组件包括推杆12、定位头13、定位动力源，并且定位头13设有限位面131，和承托工件的托台132，且托台132的上表面与限位面131垂直，则托台132的上表面呈水平，承托工件，然后由限位面131紧贴工件(如透明基板)的侧边，在定位动力源驱动推杆12移动时，定位头13跟着移动，并推动工件进行移动，从而起到定位作用。

本申请提供的检测装置，上下料机构5可以是夹爪，也可是吸盘等，与定位机构1配合工作。具体而言，上下料机构5将工件移动至底座11上方，然后定位动力源驱动推杆12前移，使得托台132位于工件下方承托工件，然后上下料机构5松开工件，此时定位动力源驱动推杆12二次前移，使得限位面131与工件侧边接触，并推动工件移动至目标位置。为使上下料机构5与相机不发生干涉，可以将底板4整体移出相机的视野范围进行上下料。

优选地，所述定位机构1设有两个或四个所述定位组件，所述定位组件的定位头13位于工件相对的两个顶角外侧，或位于工件四个顶角的外侧，所述定位头13设有两个相互垂直的限位面131，所述托台132位于所述限位面131相交处。

本申请提供的检测装置，至少设置两个定位组件，可以配合定位柱等实现对工件的定位，也可将两个定位组件的定位头13位于工件相对的两个顶角外侧，并在定位头13设有两个相互垂直的限位面131，使得托台132的上表面、两个限位面131之间两两垂直，并且托台132位于限位面131相交处，则托台132承托工件顶角的下表面，同时两个限位面紧贴工件顶角的两个侧边，位于工件相对的两个顶角外侧的定位组件同时移动，可以将推动工件到达目标位置。

优选定位机构1设置四个定位组件，位于工件四个顶角的外侧，利用定位头13的两个限位面131，对工件每个顶角的侧边都进行限位，则四个定位组件同时移动时，能够更好地对工件进行定位。同时，工件由四个托台132从四个角进行承托，稳固性更好。

优选地，所述定位头13设有凸块133，所述限位面131设置在凸块133上，所述托台132在竖直方向的高度低于所述凸块133在竖直方向的高度。

优选地，当设置两个定位组件时，其中一个定位组件的所述凸块133和所述托台132分别可拆卸地装设在所述定位头13上；

当设置四个定位组件时，其中三个定位组件的所述凸块133和所述托台132分别可拆卸地装设在所述定位头13上。

优选定位头13还设有凸块133，限位面131由凸块133的侧壁形成，凸块133在竖直方向的高度高于托台132在竖直方向的高度，则托台132可以承托工件的底面，同时凸块133上的限位面可以抵住工件的侧边，实现承托和定位功能。

更优选其中部分定位组件的凸块133、托台132与定位头13分别可拆卸连接，便于调节凸块133、托台132的位置。具体而言，当设置两个定位组件时，其中一个定位组件的凸块133、托台132与定位头13固定连接，作为基准；另一个定位组件的凸块133、托台132与定位头13可拆卸连接，便于调节。当设置四个定位组件时，其中一个定位组件的凸块133、托台132与定位头13固定连接，作为基准；另外三个定位组件的凸块133、托台132与定位头13可拆卸连接，便于调节。

可拆卸连接可以通过螺钉、卡扣等多种形式实现。例如，凸块133、托台132通过螺钉与定位头13可拆卸连接，将凸块133、托台132的固定孔设置为具有一定移动空间的固定孔，则使用螺钉固定时可以调节凸块133、托台132的位置。

凸块133紧邻限位面131的侧边可以设置倒角，避免尖锐部分损伤工件。

在凸块133还可设置弹性件134，且弹性件134的侧壁伸出限位面131，则定位时，工件首先接触到弹性件134的侧壁，然后定位头13继续移动，弹性件134受力变形，工件侧壁接触到限位面131，在此过程中弹性件134可以起到缓冲的作用。

优选推杆12设有滑块，滑块的内螺纹与定位动力源输出端的外螺纹相配合，则定位动力源输出端旋转，使得滑块和相连的推杆12沿输出端轴线方向来回移动。优选还设置限位凸块，用于限制推杆12的移动距离(主要是向工件移动的最远距离)，避免推杆12移动过度损伤工件。

优选托台132上表面设有缓冲层。缓冲层可以保护工件，减少受损发生的概率；并且可以增加摩擦力，使得托台132能稳固承托工件。

优选底座11还设有挖空区，挖空区位于工件的下方。在底座11设置挖空区，则在下方设置光源，利于对工件进行检测或其他加工操作。

优选地，所述机架3上还设有调节机构2，所述调节机构2包括固定板21、调节板22，所述固定板21与所述调节板22之间设有万向转动部件23，以使得所述调节板22与所述固定板21之间的夹角可调；所述固定板21设有第一螺纹孔24，所述调节板22设有相配套的第二螺纹孔25，螺栓26穿过所述第一螺纹孔24和第二螺纹孔25，用于调节所述固定板21与所述调节板22之间的夹角；所述相机固定在所述调节板上。

优选本申请提供的检测装置还设有调节机构2，利用固定板21和调节板22实现调节板22所在平面可以自由转动，则将相机固定在调节板22上，既能实现对相机的固定，又能根据需要调节相机的角度，从而保证相机镜头的角度能够根据所需要采集图像的工件的角度进行调整，保证相机镜头与工件表面垂直，从而提高相机采集图像的准确性和采集效率。

具体而言，调节板22与固定板21之间设有万向转动部件23，使得调节板22可以向任意角度转动，从而使调节板22所在平面相对于固定板21所在平面的夹角可以调节；并在固定板21、调节板22分别设置相配套的第一螺纹孔24和第二螺纹孔25，将螺栓26同时穿过第一螺纹孔24和第二螺纹孔25，以旋转螺栓26来带动调节板22向固定板21靠近或远离固定板21，从而使整个调节板22与固定板21的夹角发生变化，同时能够保持调节板22位置的稳定，不会自行发生偏转。

优选地，所述调节板22设有2-6个第二螺纹孔25，多个第二螺纹孔25分布在所述万向转动部件23的外周，所述固定板21在对应位置设有第一螺纹孔24。

调节机构2，可以设置一个螺栓26，与一个第一螺纹孔24和一个第二螺纹孔25利用螺栓26旋转时螺纹之间的配合，进行调节板的转动。更优选在调节板22设置多个第二螺纹孔25，并在固定板21设置对应数量和对应位置的第一螺纹孔24、螺栓26，从而可以对不同位置的螺栓26进行调节，从而使得调节板22的一部分向远离固定板21移动，同时另一部分向靠近固定板21移动，通过不同位置的螺栓26的调节，相互配合，实现对调节板22角度的精准、调节。第二螺纹孔25优选设置2-6个、更优选设置4个。

优选地，多个所述第二螺纹孔25在所述万向转动部件23的外周均匀分布；和/或，

所述第二螺纹孔25位于所述调节板22的边缘。

优选第二螺纹孔25在万向转动部件23的外周均匀分布，便于对调节板22向任意方向旋转时进行调节。更优选第二螺纹孔25位于调节板22的边缘，在相机装设在调节板22上时，不会挡住第二螺纹孔25，便于调节。

此外，本申请所用的螺栓26的牙距为0.25-0.5mm，则旋转一圈螺栓26对调节板22转动角度的影响较小，能够实现精细的调节。本申请所用的螺栓26优选使用M4x0.25的螺栓。

优选地，所述万向转动部件23具体为球形部件231，所述球形部件231与所述固定板21固定连接，所述调节板22设有与所述球形部件231相配合的凹槽。

优选地，所述球形部件231为半球体，半球体的平面与所述固定板21固定连接，半球体的曲面与所述调节板22的凹槽相配合；且所述调节板22凹槽的深度，小于所述半球体的高度。

本申请所用的万向转动部件23，优选为球形部件231，将球形部件231与固定板21固定连接，然后在调节板22设置相配合的凹槽，则调节板22可以在球形部件231的表面滑动。

球形部件231可以是完整的球体、不完整的球体、椭球体，或者表面具有多个折角的类球体。优选球形部件231为半球体，半球体的底面为平面，更加方便与固定板21连接，同时半球体曲面的部分可以配合实现调节板22的转动；并且将调节板22凹槽的深度设计为小于半球体的高度，则调节板22与固定板21平行时，调节板22与固定板21之间存在一定间隙，便于调节板22向任意方向转动。此处，半球体的高度，是指半球体底部平面与曲面最高点之间的距离。

优选地，所述底板4与所述机架3之间还设有气浮平台；

所述底板4与所述机架3之间，和/或所述相机与所述机架3之间还设有隔振器。

在底板4与机架3之间设置气浮平台，配合移动动力源，能实现工件的精确位移。

为避免人员走动、工件运输等对检测装置精度的影响，优选底板4与机架3之间，和/或相机与机架3之间还设有隔振器。

实施例1

一种检测装置，包括机架3，可移动地设置在机架3上的底板4，驱动底板4移动的移动动力源，底板4上设有定位机构1，机架3还设有相机和上下料机构5，

定位机构1包括底座11和四个定位组件，定位组件由包括相连的推杆12、定位头13以及驱动推杆12移动的定位动力源，定位组件的定位头13位于工件四个顶角的外侧；推杆12可滑动地设置在底座11上，定位头13设有两个相互垂直的限位面131，定位头13还设有用于承托工件的托台132，托台132位于限位面131相交处，托台132伸出限位面131，且托台132的上表面与限位面131垂直；定位头13设有凸块133，限位面131设置在凸块133上，托台132在竖直方向的高度低于凸块133在竖直方向的高度；四个定位组件中，三个定位组件的凸块133和托台132分别可拆卸地装设在定位头13上；

机架3上还设有调节机构2，调节机构2包括固定板21、调节板22，固定板21与调节板22之间设有万向转动部件23，以使得调节板22与固定板21之间的夹角可调；固定板21设有四个第一螺纹孔24，调节板22设有相配套的第二螺纹孔25，螺栓26穿过第一螺纹孔24和第二螺纹孔25，用于调节固定板21与调节板22之间的夹角，四个第二螺纹孔25分布在万向转动部件23的外周，位于调节板22的边缘；相机固定在调节板22上，朝向底座11，用于采集工件的图像；

万向转动部件23具体为球形部件231，球形部件231与固定板21固定连接，调节板22设有与球形部件231相配合的凹槽；球形部件231为半球体，半球体的平面与固定板21固定连接，半球体的曲面与调节板22的凹槽相配合；且调节板22凹槽的深度，小于半球体的高度；

上下料机构5用于将工件上料至底座11，或将工件从底座11取出；

底板4与机架3之间还设有气浮平台；

底板4与机架3之间，以及相机与机架3之间还设有隔振器。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种检测装置，其特征在于，包括机架(3)，可移动地设置在所述机架(3)上的底板(4)，驱动所述底板(4)移动的移动动力源，所述底板(4)上设有定位机构(1)，所述机架(3)还设有相机和上下料机构(5)，

所述定位机构(1)包括底座(11)和至少两个定位组件，所述定位组件由包括相连的推杆(12)、定位头(13)以及驱动所述推杆(12)移动的定位动力源，所述推杆(12)可滑动地设置在所述底座(11)上，所述定位头(13)具有竖直的限位面(131)，所述定位头(13)还设有用于承托工件的托台(132)，所述托台(132)伸出所述限位面(131)，且所述托台(132)的上表面与所述限位面(131)垂直；

所述相机朝向所述底座(11)，用于采集工件的图像；

所述上下料机构(5)用于将工件上料至所述底座(11)，或将工件从所述底座(11)取出。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述定位机构(1)设有两个或四个所述定位组件，所述定位组件的定位头(13)位于工件相对的两个顶角外侧，或位于工件四个顶角的外侧，所述定位头(13)设有两个相互垂直的限位面(131)，所述托台(132)位于所述限位面(131)相交处。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述定位头(13)设有凸块(133)，所述限位面(131)设置在凸块(133)上，所述托台(132)在竖直方向的高度低于所述凸块(133)在竖直方向的高度。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，当设置两个定位组件时，其中一个定位组件的所述凸块(133)和所述托台(132)分别可拆卸地装设在所述定位头(13)上；

当设置四个定位组件时，其中三个定位组件的所述凸块(133)和所述托台(132)分别可拆卸地装设在所述定位头(13)上。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述机架(3)上还设有调节机构(2)，所述调节机构(2)包括固定板(21)、调节板(22)，所述固定板(21)与所述调节板(22)之间设有万向转动部件(23)，以使得所述调节板(22)与所述固定板(21)之间的夹角可调；所述固定板(21)设有第一螺纹孔(24)，所述调节板(22)设有相配套的第二螺纹孔(25)，螺栓(26)穿过所述第一螺纹孔(24)和第二螺纹孔(25)，用于调节所述固定板(21)与所述调节板(22)之间的夹角；所述相机固定在所述调节板上。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述调节板(22)设有2-6个第二螺纹孔(25)，多个第二螺纹孔(25)分布在所述万向转动部件(23)的外周，所述固定板(21)在对应位置设有第一螺纹孔(24)。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，多个所述第二螺纹孔(25)在所述万向转动部件(23)的外周均匀分布；和/或，

所述第二螺纹孔(25)位于所述调节板(22)的边缘。

8.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述万向转动部件(23)具体为球形部件(231)，所述球形部件(231)与所述固定板(21)固定连接，所述调节板(22)设有与所述球形部件(231)相配合的凹槽。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述球形部件(231)为半球体，半球体的平面与所述固定板(21)固定连接，半球体的曲面与所述调节板(22)的凹槽相配合；且所述调节板(22)凹槽的深度，小于所述半球体的高度。

10.根据权利要求1-4、6-9中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述底板(4)与所述机架(3)之间还设有气浮平台；

所述底板(4)与所述机架(3)之间，和/或所述相机与所述机架(3)之间还设有隔振器。

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