CN215115941U - 一种定位机构 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种定位机构，包括：底座和至少两个定位组件，所述定位组件由包括相连的推杆、定位头以及驱动所述推杆移动的定位动力源，所述推杆可滑动地设置在所述底座上，所述定位头具有竖直的限位面，所述定位头还设有用于承托工件的托台，所述托台伸出所述限位面，且所述托台的上表面与所述限位面垂直。本申请提供的定位机构，利用定位组件即可实现对工件的承托和定位，简单便捷，占用空间小，有利于与图像采集、加工或其他设备的组合使用。且本申请提供的定位机构，利用托台承托工件，接触面小，无需额外的固定装置辅助，可以减少对工件的遮挡，有利于透明基板等工件进行图像采集。

Description

一种定位机构

技术领域

本申请涉及检测设备技术领域，特别是涉及一种定位平台。

背景技术

光刻掩模板(又称光罩)，简称掩模板，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。掩模板由不透明的遮光薄膜在透明基板(通常是玻璃基板)上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。

掩模板的质量对产品基片的质量会造成很大影响，而透明基板又对掩膜板的质量具有重大影响。因此，透明基板在使用前需要进行多项检测，其中一项是检测透明基板上的微孔数量、微孔尺寸以及微孔的分布情况。

微孔的检测通常是利用相机进行图像采集，然后通过计算机分析获得。由于微孔的尺寸很小(通常在0.2μm之下)，需要对透明基板进行分区图像采集，而分区是从透明基板的边缘开始，一旦透明基板的位置没有对准，容易漏掉部分位置没有检测，对微孔检测的效率和准确性将造成较大的影响。

因此，如何提供一种能够准确定位的装置，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的为提供一种定位机构；本申请提供的定位机构，利用定位组件即可实现对工件的承托和定位，简单便捷，占用空间小，有利于与图像采集、加工或其他设备的组合使用。且本申请提供的定位机构，利用托台承托工件，接触面小，无需额外的固定装置辅助，可以减少对工件的遮挡，有利于透明基板等工件进行图像采集。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种定位机构，包括：底座和至少两个定位组件，所述定位组件由包括相连的推杆、定位头以及驱动所述推杆移动的定位动力源，所述推杆可滑动地设置在所述底座上，所述定位头具有竖直的限位面，所述定位头还设有用于承托工件的托台，所述托台伸出所述限位面，且所述托台的上表面与所述限位面垂直。

优选地，所述定位机构设有两个或四个所述定位组件，所述定位组件的定位头位于工件相对的两个顶角外侧，或位于工件四个顶角的外侧，所述定位头设有两个相互垂直的限位面，所述托台位于所述限位面相交处。

优选地，所述定位头设有凸块，所述限位面设置在凸块上，所述托台在竖直方向的高度低于所述凸块在竖直方向的高度。

优选地，当设置两个定位组件时，其中一个定位组件的所述凸块和所述托台分别可拆卸地装设在所述定位头上；

当设置四个定位组件时，其中三个定位组件的所述凸块和所述托台分别可拆卸地装设在所述定位头上。

优选地，所述凸块还设有弹性件，所述弹性件的侧壁伸出所述限位面。

优选地，所述定位机构设有四个所述定位组件，所述定位组件的定位头位于工件的侧边外侧。

优选地，所述托台上表面设有缓冲层。

优选地，所述推杆设有滑块，所述滑块的内螺纹与所述定位动力源输出端的外螺纹相配合。

优选地，所述定位动力源的输出端还设有限位凸块，所述限位凸块用于限制所述推杆的移动距离。

优选地，所述底座还设有挖空区，所述挖空区位于工件的下方。

本申请提供一种定位机构，包括底座和定位组件，定位组件包括推杆、定位头、定位动力源，并且定位头设有限位面，和承托工件的托台，且托台的上表面与限位面垂直，则托台的上表面呈水平，承托工件，然后由限位面紧贴工件(如透明基板)的侧边，在定位动力源驱动推杆移动时，定位头跟着移动，并推动工件进行移动，从而起到定位作用。

本申请提供的定位机构，利用定位组件即可实现对工件的承托和定位，简单便捷，占用空间小，有利于与图像采集、加工或其他设备的组合使用。且本申请提供的定位机构，利用托台承托工件，接触面小，无需额外的固定装置辅助，可以减少对工件的遮挡，有利于透明基板等工件进行图像采集。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中定位机构的结构示意图(定位头与工件接触)；

图2为本实用新型实施例中定位机构的俯视示意图(定位头与工件接触)；

图3为本实用新型实施例中定位机构的结构示意图(定位头未与工件接触)；

图4为本实用新型实施例中定位机构的俯视示意图(定位头未与工件接触)；

图5为本实用新型实施例中定位机构的俯视局部放大示意图(定位头未与工件接触)；

图6为本实用新型实施例中定位机构的局部放大示意图(定位头与工件接触)；

图7为本实用新型实施例中定位机构的局部放大示意图(定位头未与工件接触)；

附图标记：11-底座；12-推杆；13-定位头；131-限位面；132-托台；133-凸块；134-弹性件；b-工件。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件上，它可以直接在另一个元件上或者间接设置在另一个元件上；当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”、“若干个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

须知，本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

本申请实施例采用递进的方式撰写。

请如图1至图7所示，本实用新型实施例提供一种定位机构，包括：底座11和至少两个定位组件，所述定位组件由包括相连的推杆12、定位头13以及驱动所述推杆12移动的定位动力源，所述推杆12可滑动地设置在所述底座11上，所述定位头13具有竖直的限位面131，所述定位头13还设有用于承托工件的托台132，所述托台132伸出所述限位面131，且所述托台132的上表面与所述限位面131垂直。

本申请提供一种定位机构，包括底座11和定位组件，定位组件包括推杆12、定位头13、定位动力源，并且定位头13设有限位面131，和承托工件的托台132，且托台132的上表面与限位面131垂直，则托台132的上表面呈水平，承托工件，然后由限位面131紧贴工件(如透明基板)的侧边，在定位动力源驱动推杆12移动时，定位头13跟着移动，并推动工件进行移动，从而起到定位作用。

本申请提供的定位机构，利用定位组件即可实现对工件的承托和定位，简单便捷，占用空间小，有利于与图像采集、加工或其他设备的组合使用。且本申请提供的定位机构，利用托台132承托工件，接触面小，无需额外的固定装置辅助，可以减少对工件的遮挡，有利于透明基板等工件进行图像采集。

优选地，所述定位机构设有两个或四个所述定位组件，所述定位组件的定位头13位于工件相对的两个顶角外侧，或位于工件四个顶角的外侧，所述定位头13设有两个相互垂直的限位面131，所述托台132位于所述限位面131相交处。

本申请提供的定位机构，至少设置两个定位组件，可以配合定位柱等实现对工件的定位，也可将两个定位组件的定位头13位于工件相对的两个顶角外侧，并在定位头13设有两个相互垂直的限位面131，使得托台132的上表面、两个限位面131之间两两垂直，并且托台132位于限位面131相交处，则托台132承托工件顶角的下表面，同时两个限位面紧贴工件顶角的两个侧边，位于工件相对的两个顶角外侧的定位组件同时移动，可以将推动工件到达目标位置。

优选定位机构设置四个定位组件，位于工件四个顶角的外侧，利用定位头13的两个限位面131，对工件每个顶角的侧边都进行限位，则四个定位组件同时移动时，能够更好地对工件进行定位。同时，工件由四个托台132从四个角进行承托，稳固性更好。

优选地，所述定位头13设有凸块133，所述限位面131设置在凸块133上，所述托台132在竖直方向的高度低于所述凸块133在竖直方向的高度。

优选地，当设置两个定位组件时，其中一个定位组件的所述凸块133和所述托台132分别可拆卸地装设在所述定位头13上；

当设置四个定位组件时，其中三个定位组件的所述凸块133和所述托台132分别可拆卸地装设在所述定位头13上。

优选定位头13还设有凸块133，限位面131由凸块133的侧壁形成，凸块133在竖直方向的高度高于托台132在竖直方向的高度，则托台132可以承托工件的底面，同时凸块133上的限位面可以抵住工件的侧边，实现承托和定位功能。

更优选其中部分定位组件的凸块133、托台132与定位头13分别可拆卸连接，便于调节凸块133、托台132的位置。具体而言，当设置两个定位组件时，其中一个定位组件的凸块133、托台132与定位头13固定连接，作为基准；另一个定位组件的凸块133、托台132与定位头13可拆卸连接，便于调节。当设置四个定位组件时，其中一个定位组件的凸块133、托台132与定位头13固定连接，作为基准；另外三个定位组件的凸块133、托台132与定位头13可拆卸连接，便于调节。

可拆卸连接可以通过螺钉、卡扣等多种形式实现。例如，凸块133、托台132通过螺钉与定位头13可拆卸连接，将凸块133、托台132的固定孔设置为具有一定移动空间的固定孔，则使用螺钉固定时可以调节凸块133、托台132的位置。

凸块133紧邻限位面131的侧边可以设置倒角，避免尖锐部分损伤工件。

优选地，所述凸块133还设有弹性件134，所述弹性件134的侧壁伸出所述限位面131。

在凸块133还可设置弹性件134，且弹性件134的侧壁伸出限位面131，则定位时，工件首先接触到弹性件134的侧壁，然后定位头13继续移动，弹性件134受力变形，工件侧壁接触到限位面131，在此过程中弹性件134可以起到缓冲的作用。

优选地，所述定位机构设有四个所述定位组件，所述定位组件的定位头13位于工件的侧边外侧。

作为本申请的第二种设置方式，也可将定位组件的定位头13设在工件的侧边外侧，从四个侧面分别推动工件进行定位。将定位头13设置在工件侧边，则只需要一个限位面131，配合托台132进行定位。

优选地，所述托台132上表面设有缓冲层。

缓冲层可以保护工件，减少受损发生的概率；并且可以增加摩擦力，使得托台132能稳固承托工件。

优选地，所述推杆12设有滑块，所述滑块的内螺纹与所述定位动力源输出端的外螺纹相配合。

优选地，所述定位动力源的输出端还设有限位凸块，所述限位凸块用于限制所述推杆12的移动距离。

本申请提供的定位机构，推杆12设有滑块，滑块的内螺纹与定位动力源输出端的外螺纹相配合，则定位动力源输出端旋转，使得滑块和相连的推杆12沿输出端轴线方向来回移动。优选还设置限位凸块，用于限制推杆12的移动距离(主要是向工件移动的最远距离)，避免推杆12移动过度损伤工件。

优选地，所述底座11还设有挖空区，所述挖空区位于工件的下方。

在底座11设置挖空区，则在下方设置光源、相机或其他设备，利于对工件进行检测或其他加工操作。

实施例1

一种定位机构，包括：底座11和四个定位组件，定位组件由包括相连的推杆12、定位头13以及驱动推杆12移动的定位动力源，定位组件的定位头13位于工件四个顶角的外侧；

推杆12可滑动地设置在底座11上，定位头13设有两个相互垂直的限位面131，定位头13还设有用于承托工件的托台132，托台132位于限位面131相交处，托台132伸出限位面131，且托台132的上表面与限位面131垂直；

定位头13设有凸块133，限位面131设置在凸块133上，托台132在竖直方向的高度低于凸块133在竖直方向的高度；

四个定位组件中，三个定位组件的凸块133和托台132分别可拆卸地装设在定位头13上。

凸块133还设有弹性件134，弹性件134的侧壁伸出限位面131；

推杆12设有滑块，滑块的内螺纹与定位动力源输出端的外螺纹相配合；

底座11还设有挖空区，挖空区位于工件的下方。

实施例2

与实施例1相同，只是定位机构设有四个定位组件，定位组件的定位头13位于工件的侧边外侧，托台132上表面设有缓冲层。

实施例3

与实施例1相同，只是定位动力源的输出端还设有限位凸块，用于限制推杆12的移动距离。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种定位机构，其特征在于，包括：底座(11)和至少两个定位组件，所述定位组件由包括相连的推杆(12)、定位头(13)以及驱动所述推杆(12)移动的定位动力源，所述推杆(12)可滑动地设置在所述底座(11)上，所述定位头(13)具有竖直的限位面(131)，所述定位头(13)还设有用于承托工件的托台(132)，所述托台(132)伸出所述限位面(131)，且所述托台(132)的上表面与所述限位面(131)垂直。

2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述定位机构设有两个或四个所述定位组件，所述定位组件的定位头(13)位于工件相对的两个顶角外侧，或位于工件四个顶角的外侧，所述定位头(13)设有两个相互垂直的限位面(131)，所述托台(132)位于所述限位面(131)相交处。

3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位头(13)设有凸块(133)，所述限位面(131)设置在凸块(133)上，所述托台(132)在竖直方向的高度低于所述凸块(133)在竖直方向的高度。

4.根据权利要求3所述的定位机构，其特征在于，当设置两个定位组件时，其中一个定位组件的所述凸块(133)和所述托台(132)分别可拆卸地装设在所述定位头(13)上；

当设置四个定位组件时，其中三个定位组件的所述凸块(133)和所述托台(132)分别可拆卸地装设在所述定位头(13)上。

5.根据权利要求3-4中任一项所述的定位机构，其特征在于，所述凸块(133)还设有弹性件(134)，所述弹性件(134)的侧壁伸出所述限位面(131)。

6.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述定位机构设有四个所述定位组件，所述定位组件的定位头(13)位于工件的侧边外侧。

7.根据权利要求1-4、6中任一项所述的定位机构，其特征在于，所述托台(132)上表面设有缓冲层。

8.根据权利要求1-4、6中任一项所述的定位机构，其特征在于，所述推杆(12)设有滑块，所述滑块的内螺纹与所述定位动力源输出端的外螺纹相配合。

9.根据权利要求8所述的定位机构，其特征在于，所述定位动力源的输出端还设有限位凸块，所述限位凸块用于限制所述推杆(12)的移动距离。

10.根据权利要求1-4、6中任一项所述的定位机构，其特征在于，所述底座(11)还设有挖空区，所述挖空区位于工件的下方。

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