CN214921450U

CN214921450U - 一种ito玻璃布线刻蚀机

Info

Publication number: CN214921450U
Application number: CN202121306757.5U
Authority: CN
Inventors: 辛琦
Original assignee: Fuzhou University
Current assignee: Fuzhou University
Priority date: 2021-06-11
Filing date: 2021-06-11
Publication date: 2021-11-30
Anticipated expiration: 2031-06-11

Abstract

本实用新型属于刻蚀机技术领域，尤其为一种ITO玻璃布线刻蚀机，包括机箱，机箱的内部设有加工室和底部容纳室，加工室的正面开有进出料口，进出料口的左右内侧壁均固定安装有安全光栅，加工室的内顶壁固定安装有X向运动系统，X向运动系统的下方安装有Y向运动系统，Y向运动系统的下方安装有激光蚀刻装置，加工室的内底壁固定安装有移动加工平台，加工室的内顶壁固定安装玻璃表面清理装置，加工室的后侧壁贯通有安装孔并通过安装孔卡接安装有吸尘盒，吸尘盒的后侧连接有吸尘软管，吸尘软管的另一端与粉尘废气处理模组连接，粉尘废气处理模组固定设在底部容纳室的内部，本装置可减少蚀刻产生的废气在机箱内聚集对工作人员的健康造成的危害。

Description

一种ITO玻璃布线刻蚀机

技术领域

本实用新型属于刻蚀机技术领域，具体涉及一种ITO玻璃布线刻蚀机。

背景技术

ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的，液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况，在ITO玻璃的生产过程中，需要使用专用的激光刻蚀机对其表面进行刻蚀。

实用新型内容

现有的ITO玻璃布线刻蚀机，在刻蚀时机箱内部会产生大量的废气和粉尘，在刻蚀完成时，工作人员打开安全门将玻璃取出时会吸入一定量的废气，影响身体健康。本实用新型提供了一种ITO玻璃布线刻蚀机，可减少蚀刻产生的废气在机箱内聚集对工作人员的健康造成的危害。

本实用新型提供如下技术方案：一种ITO玻璃布线刻蚀机，包括机箱，所述机箱的内部设有加工室和底部容纳室，所述加工室的正面开有进出料口，所述加工室的内前侧壁位于进出料口处滑动安装有安全门，所述进出料口的左右内侧壁均固定安装有安全光栅，所述加工室的内顶壁固定安装有X向运动系统，所述X向运动系统的下方安装有Y向运动系统，所述Y向运动系统的下方安装有激光蚀刻装置，所述加工室的内底壁固定安装有移动加工平台，所述加工室的内顶壁固定安装玻璃表面清理装置，所述加工室的后侧壁贯通有安装孔并通过安装孔卡接安装有吸尘盒，所述吸尘盒的后侧连接有吸尘软管，所述吸尘软管的另一端与粉尘废气处理模组连接，所述粉尘废气处理模组固定设在底部容纳室的内部，所述机箱上镶嵌安装有工控机。

其中，所述移动加工平台包括第一电动滑台，所述第一电动滑台上方滑动安装有下机台，所述下机台的顶部固定安装有第二电动滑台，所述第二电动滑台的顶部固定安装有玻璃放置台，所述玻璃放置台的内顶壁向下开有X向定位槽和Y向定位槽，所述X向定位槽和所述Y向定位槽的内腔中分别滑动安装有X向定位块和Y向定位块，所述X向定位块和所述Y向定位块的顶部和底部之间贯通有螺孔，所述螺孔与锁紧螺栓螺纹连接，所述玻璃放置台的顶面位于所述X向定位槽和所述Y向定位槽旁边的位置设有长度刻度线；通过第一电动滑台和第二电动滑台可带动玻璃放置台向前移动至机箱的外侧，方便将玻璃放置在玻璃放置台上或从玻璃放置台上取下。

其中，所述玻璃表面清理装置包括电动升降杆，所述电动升降杆的底部固定安装有底部安装座，所述底部安装座的底部固定安装有静电吸附装置和除静电毛刷，所述静电吸附装置的内腔中安装有若干静电吸附片。

其中，所述粉尘废气处理模组包括抽风机，所述抽风机的输入端与吸尘软管连接固定，所述抽风机的输出端与输送软管连接固定，所述输送软管的另一端与集尘箱连接固定，所述集尘箱的内腔中设有集尘抽屉，所述集尘箱的右侧壁固定安装有粉尘过滤盒，所述粉尘过滤盒的内部安装有三层过滤网，所述粉尘过滤盒的右端与废气处理箱通过管道连接，所述废气处理箱的内腔中设有水过滤腔和活性炭过滤腔，所述废气处理箱的进气口连接有进气管，所述废气处理箱的右侧连接有排气管；水过滤腔和活性炭过滤腔之间设有通口，通口的内侧设有阻拦网用于阻拦活性炭防止其掉落到水过滤腔中。

其中，所述吸尘盒的内腔中固定安装有抽风扇安装架，所述抽风扇安装架上安装有抽风扇电机，所述抽风扇电机的输出轴与风扇叶片固定连接。

其中，所述安全门上卡接有观察窗，所述安全门的前壁固定安装有安全门推拉扣手；通过观察窗可观察加工室内部的工作情况，通过安全门推拉扣手推动安全门打开。

其中，所述底部容纳室的前侧铰接有底部平开门，所述底部平开门的前壁固定安装有平开门推拉把手，所述底部容纳室的右侧壁贯通有排气口；打开平开门即可将集尘抽屉抽出进行清理，哈克对底部容纳室中的其他装置进行维修。

其中，所述机箱的前侧壁转动安装有桌板；桌板用于承托工控机用的键盘和鼠标。

本实用新型的有益效果是：

本装置设有移动加工平台，通过第一电动滑台和第二电动滑台可带动玻璃放置台向前移动至机箱的外侧，相较于放置台固定设置在机箱内部的方式，更方便将玻璃放置在玻璃放置台上或从玻璃放置台上取下。

使用扳手拧松X向定位块和Y向定位块上的锁紧螺栓，并根据所需刻蚀的ITO玻璃的长宽尺寸调节X向定位块和Y向定位块在X向定位槽和Y向定位槽中的位置，通过X向定位槽和Y向定位槽旁边的长度刻度线可帮助确定X向定位块和Y块定位块的位置，使前后两组X向定位块之间和左右两组Y向定位块之间均以玻璃放置台的中心位置为对称点对称，调节完毕后，重新拧紧锁紧螺栓，随后即可将待刻蚀的ITO玻璃放置在X向定位块和Y向定位块之间，使ITO玻璃位于玻璃放置台的正中，方便了对ITO玻璃的定位工作，且可在一定范围内适用于不同尺寸的ITO玻璃。

当第一电动滑台和第二电动滑台带动玻璃放置台连同上面的玻璃从机箱的外侧向工作位置移动时，电动升降杆带动底部安装座下降，使除静电毛刷与ITO玻璃的表面接触且静电吸附装置靠近ITO玻璃的表面，通过除静电毛刷对ITO玻璃表面附着的灰尘进行刷除，同时静电吸附装置中持续通电的静电吸附片利用静电对除静电毛刷刷下的灰尘进行吸附，达到去除ITO玻璃表面灰尘，防止灰尘影响刻蚀加工质量的目的。

刻蚀的过程中，安全光栅、抽风扇电机和抽风机运行，安全光栅在感应到有人将手靠近安全门时，将感应信号传输至工控机，工控机控制X向运动系统、Y向运动系统和激光蚀刻装置停止运行，避免打开安全门后激光蚀刻装置继续运行造成安全事故；

抽风扇电机和抽风机运行利用风扇叶片和抽风机的吸力将激光蚀刻产生的粉尘和废气通过吸尘盒吸入吸尘软管中，并通过输送软管输入集尘箱中，在粉尘过滤盒中三层过滤网的作用下，粉尘被阻挡在集尘箱内部并落入集尘抽屉中，而废气通过进气管输入水过滤腔中，利用水对废气中的有害成分进行吸附，而不溶于水的有害成分则进入活性炭过滤腔，通过活性炭进行吸附，经过水和活性炭的吸附处理后的气体通过排气管排出，并通过排气口排出至机箱的外部，减少蚀刻产生的废气在机箱内聚集对工作人员的健康造成的危害。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。

附图说明

图1为本实用新型正视剖视结构示意图；

图2为本实用新型未显示玻璃表面清理装置的正视剖视结构示意图；

图3为本实用新型左视剖视结构示意图；

图4为本实用新型正视结构示意图；

图5为本实用新型中玻璃放置台的俯视结构示意图；

图6为本实用新型中玻璃放置台的正视剖视结构示意图；

图7为本实用新型中玻璃表面清理装置的左视剖视结构示意图；

图8为本实用新型中吸尘盒的左视剖视结构示意图。

图中：1、机箱；2、加工室；3、底部容纳室；4、安全门；5、安全光栅；6、X向运动系统；7、Y向运动系统；8、激光蚀刻装置；9、移动加工平台；10、第一电动滑台；11、下机台；12、第二电动滑台；13、玻璃放置台；14、X向定位槽；15、Y向定位槽；16、X向定位块；17、Y向定位块；18、锁紧螺栓；19、长度刻度线；20、玻璃表面清理装置；21、电动升降杆；22、底部安装座；23、静电吸附装置；24、静电吸附片；25、除静电毛刷；26、吸尘盒；27、抽风扇电机；28、风扇叶片；29、吸尘软管；30、粉尘废气处理模组；31、抽风机；32、输送软管；33、集尘箱；34、集尘抽屉；35、粉尘过滤盒；36、过滤网；37、废气处理箱；38、水过滤腔；39、活性炭过滤腔；40、进气管；41、排气管；42、底部平开门；43、排气口；44、工控机；45、桌板。

具体实施方式

请参阅图1-图8，本实用新型提供以下技术方案：一种ITO玻璃布线刻蚀机，包括机箱1，所述机箱1的内部设有加工室2和底部容纳室3，所述加工室2的正面开有进出料口，所述加工室2的内前侧壁位于进出料口处滑动安装有安全门4，所述进出料口4的左右内侧壁均固定安装有安全光栅5，所述加工室2的内顶壁固定安装有X向运动系统6，所述X向运动系统6的下方安装有Y向运动系统7，所述Y向运动系统7的下方安装有激光蚀刻装置8，所述加工室2的内底壁固定安装有移动加工平台9，所述加工室2的内顶壁固定安装玻璃表面清理装置20，所述加工室2的后侧壁贯通有安装孔并通过安装孔卡接安装有吸尘盒26，所述吸尘盒26的后侧连接有吸尘软管29，所述吸尘软管29的另一端与粉尘废气处理模组30连接，所述粉尘废气处理模组30固定设在底部容纳室3的内部，所述机箱1上镶嵌安装有工控机44。

本实施方案中：

所述移动加工平台9包括第一电动滑台10，所述第一电动滑台10上方滑动安装有下机台11，所述下机台11的顶部固定安装有第二电动滑台12，所述第二电动滑台12的顶部固定安装有玻璃放置台13，所述玻璃放置台13的内顶壁向下开有X向定位槽14和Y向定位槽15，所述X向定位槽14和所述Y向定位槽15的内腔中分别滑动安装有X向定位块16和Y向定位块17，所述X向定位块16和所述Y向定位块17的顶部和底部之间贯通有螺孔，所述螺孔与锁紧螺栓18螺纹连接，所述玻璃放置台13的顶面位于所述X向定位槽14和所述Y向定位槽15旁边的位置设有长度刻度线19；通过第一电动滑台10和第二电动滑台12可带动玻璃放置台13向前移动至机箱1的外侧，方便将玻璃放置在玻璃放置台13上或从玻璃放置台13上取下。

所述玻璃表面清理装置20包括电动升降杆21，所述电动升降杆21的底部固定安装有底部安装座22，所述底部安装座22的底部固定安装有静电吸附装置23和除静电毛刷25，所述静电吸附装置23的内腔中安装有若干静电吸附片24。

所述粉尘废气处理模组30包括抽风机31，所述抽风机31的输入端与吸尘软管29连接固定，所述抽风机31的输出端与输送软管32连接固定，所述输送软管32的另一端与集尘箱33连接固定，所述集尘箱33的内腔中设有集尘抽屉34，所述集尘箱33的右侧壁固定安装有粉尘过滤盒35，所述粉尘过滤盒35的内部安装有三层过滤网36，所述粉尘过滤盒35的右端与废气处理箱37通过管道连接，所述废气处理箱37的内腔中设有水过滤腔38和活性炭过滤腔39，所述废气处理箱37的进气口连接有进气管40，所述废气处理箱37的右侧连接有排气管41；水过滤腔38和活性炭过滤腔39之间设有通口，通口的内侧设有阻拦网用于阻拦活性炭防止其掉落到水过滤腔38中。

所述吸尘盒26的内腔中固定安装有抽风扇安装架，所述抽风扇安装架上安装有抽风扇电机27，所述抽风扇电机27的输出轴与风扇叶片28固定连接。

所述安全门4上卡接有观察窗，所述安全门4的前壁固定安装有安全门推拉扣手；通过观察窗可观察加工室2内部的工作情况，通过安全门推拉扣手推动安全门4打开。

所述底部容纳室3的前侧铰接有底部平开门42，所述底部平开门42的前壁固定安装有平开门推拉把手，所述底部容纳室3的右侧壁贯通有排气口43；打开平开门42即可将集尘抽屉34抽出进行清理，哈克对底部容纳室3中的其他装置进行维修。

所述机箱1的前侧壁转动安装有桌板45；桌板用于承托工控机44用的键盘和鼠标。

本实用新型的工作原理及使用流程：在进行上料时，打开安全门4，通过工控机44控制第一电动滑台10带动下机台11连同第二电动滑台12、玻璃放置台13向前运动至第一电动滑台10运动范围的最前处，随后第二电动滑台12带动玻璃放置台13向前移动至第二电动滑台12运动范围的最前处，此时玻璃放置台13移动至机箱1外部，工人使用扳手拧松X向定位块16和Y向定位块17上的锁紧螺栓18，并根据所需刻蚀的ITO玻璃的长宽尺寸调节X向定位块16和Y向定位块17在X向定位槽14和Y向定位槽15中的位置，通过X向定位槽14和Y向定位槽15旁边的长度刻度线19可帮助确定X向定位块16和Y块定位块17的位置，使前后两组X向定位块16之间和左右两组Y向定位块17之间均以玻璃放置台13的中心位置为对称点对称，调节完毕后，重新拧紧锁紧螺栓18，随后即可将待刻蚀的ITO玻璃放置在X向定位块16和Y向定位块17之间，使ITO玻璃位于玻璃放置台13的正中，放置完毕后，通过工控机44控制移动加工平台13复位，在移动加工平台13复位的过程中，电动升降杆21带动底部安装座22下降，使除静电毛刷25与ITO玻璃的表面接触且静电吸附装置23靠近ITO玻璃的表面，通过除静电毛刷25对ITO玻璃表面附着的灰尘进行刷除，同时静电吸附装置23中持续通电的静电吸附片24利用静电对除静电毛刷25刷下的灰尘进行吸附，达到去除ITO玻璃表面灰尘，防止灰尘影响刻蚀加工质量的目的，当移动加工平台9复位并关闭安全门4后，通过工控机44控制X向运动系统6和Y向运动系统7配合带动激光蚀刻装置8按程序设定的运动轨迹运行，利用激光蚀刻装置8中的激光发生器对ITO玻璃的表面进行刻蚀，刻蚀的过程中，安全光栅5、抽风扇电机27和抽风机31运行，安全光栅5在感应到有人将手靠近安全门4时，将感应信号传输至工控机44，工控机44控制X向运动系统6、Y向运动系统7和激光蚀刻装置8停止运行，避免打开安全门4后激光蚀刻装置8继续运行造成安全事故，而抽风扇电机27和抽风机31运行利用风扇叶片28和抽风机31的吸力将激光蚀刻产生的粉尘和废气通过吸尘盒26吸入吸尘软管29中，并通过输送软管32输入集尘箱33中，在粉尘过滤盒35中三层过滤网36的作用下，粉尘被阻挡在集尘箱33内部并落入集尘抽屉34中，而废气通过进气管40输入水过滤腔38中，利用水对废气中的有害成分进行吸附，而不溶于水的有害成分则进入活性炭过滤腔39，通过活性炭进行吸附，经过水和活性炭的吸附处理后的气体通过排气管41排出，并通过排气口43排出至机箱1的外部，当蚀刻完成后，安全光栅5停止工作，打开安全门4后，通过工控机44控制第一电动滑台10和第二电动滑台12将玻璃放置台13移动至机箱1的外侧，即可将玻璃取下并进行下一块玻璃的安装，玻璃的安装和拆卸均可以在机箱1的外侧进行，提升了上料和下料的便利性。

Claims

1.一种ITO玻璃布线刻蚀机，其特征在于：包括机箱，所述机箱的内部设有加工室和底部容纳室，所述加工室的正面开有进出料口，所述加工室的内前侧壁位于进出料口处滑动安装有安全门，所述进出料口的左右内侧壁均固定安装有安全光栅，所述加工室的内顶壁固定安装有X向运动系统，所述X向运动系统的下方安装有Y向运动系统，所述Y向运动系统的下方安装有激光蚀刻装置，所述加工室的内底壁固定安装有移动加工平台，所述加工室的内顶壁固定安装玻璃表面清理装置，所述加工室的后侧壁贯通有安装孔并通过安装孔卡接安装有吸尘盒，所述吸尘盒的后侧连接有吸尘软管，所述吸尘软管的另一端与粉尘废气处理模组连接，所述粉尘废气处理模组固定设在底部容纳室的内部，所述机箱上镶嵌安装有工控机。

2.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃布线刻蚀机，其特征在于：所述移动加工平台包括第一电动滑台，所述第一电动滑台上方滑动安装有下机台，所述下机台的顶部固定安装有第二电动滑台，所述第二电动滑台的顶部固定安装有玻璃放置台，所述玻璃放置台的内顶壁向下开有X向定位槽和Y向定位槽，所述X向定位槽和所述Y向定位槽的内腔中分别滑动安装有X向定位块和Y向定位块，所述X向定位块和所述Y向定位块的顶部和底部之间贯通有螺孔，所述螺孔与锁紧螺栓螺纹连接，所述玻璃放置台的顶面位于所述X向定位槽和所述Y向定位槽旁边的位置设有长度刻度线。

3.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃布线刻蚀机，其特征在于：所述玻璃表面清理装置包括顶部安装座，所述顶部安装座的底部固定安装有电动升降杆，所述电动升降杆的底部固定安装有底部安装座，所述底部安装座的底部固定安装有静电吸附装置和除静电毛刷，所述静电吸附装置的内腔中安装有若干静电吸附片。

4.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃布线刻蚀机，其特征在于：所述粉尘废气处理模组包括抽风机，所述抽风机的输入端与吸尘软管连接固定，所述抽风机的输出端与输送软管连接固定，所述输送软管的另一端与集尘箱连接固定，所述集尘箱的内腔中设有集尘抽屉，所述集尘箱的右侧壁固定安装有粉尘过滤盒，所述粉尘过滤盒的内部安装有三层过滤网，所述粉尘过滤盒的右端与废气处理箱通过管道连接，所述废气处理箱的内腔中设有水过滤腔和活性炭过滤腔，所述废气处理箱的进气口连接有进气管，所述废气处理箱的右侧连接有排气管。

5.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃布线刻蚀机，其特征在于：所述吸尘盒的内腔中固定安装有抽风扇安装架，所述抽风扇安装架上安装有抽风扇电机，所述抽风扇电机的输出轴与风扇叶片固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃布线刻蚀机，其特征在于：所述安全门上卡接有观察窗，所述安全门的前壁固定安装有安全门推拉扣手。

7.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃布线刻蚀机，其特征在于：所述底部容纳室的前侧铰接有底部平开门，所述底部平开门的前壁固定安装有平开门推拉把手，所述底部容纳室的右侧壁贯通有排气口。

8.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃布线刻蚀机，其特征在于：所述机箱的前侧壁转动安装有桌板。