CN214895111U - 一种电子气体纯度分析检测控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及气体纯度分析技术领域，公开的一种电子气体纯度分析检测控制装置，包括：气源接口、气体冷凝调压器，气体分析控制仪，所述气源接口通过气体冷凝调压器与气体分析控制仪连通；气体分析控制仪第一控制端分别与气体冷凝调压器输出端管道连接的电磁阀及气体冷凝调压器相连；气体分析控制仪气体尾端通过管路与尾气过滤器连通。本实用新型能够满足电子气体的纯度分析、检测及控制，其结构简单，操作方便，生产成本低，使用效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体纯度分析技术领域，尤其涉及一种电子气体纯度分析检测控制装置。
背景技术
目前，半导体工业用的气体统称电子气体，电子气体如氟化物蚀刻气体，要求纯度达99.999%，才能满足半导体刻蚀二氧化硅的工艺。当电子气体的纯度不够，就未达到半导体行业的使用要求，为此需要对灌装的电子气体进行纯度分析检测。
发明内容
本实用新型目的是为了解决现有技术中存在的问题，提供一种电子气体纯度分析检测控制装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种电子气体纯度分析检测控制装置，包括：气源接口、气体冷凝调压器，气体分析控制仪，所述气源接口通过气体冷凝调压器与气体分析控制仪连通；气体分析控制仪第一控制端分别与气体冷凝调压器输出端管道连接的电磁阀及气体冷凝调压器相连；气体分析控制仪气体尾端通过管路与尾气过滤器连通。
一种电子气体纯度分析检测控制装置，所述气体冷凝调压器由调压泵和冷疑器串联组成。
一种电子气体纯度分析检测控制装置，所述气体分析控制仪由流量器、分子膜和分析控制器组成，流量器通过分子膜过滤器与和分析控制器联通组成。
一种电子气体纯度分析检测控制装置，所述尾气过滤器4为吸附式过滤器。
由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下优越性：
一种电子气体纯度分析检测控制装置，通过气源接口、气体冷凝调压器传输至气体分析控制仪，经气体分析控制仪检测、分析，达到纯度标准，控制电磁阀向气瓶充气。当检测纯度不达标时，气体分析控制仪可以关闭气体冷凝调压器。本实用新型能够满足电子气体的纯度分析、检测及控制，其结构简单，生产成本低，操作方便，使用效果好。
附图说明
图1为电子气体纯度分析检测控制装置的结构示意图。
图中：气源接口1、气体冷凝调压器2，气体分析控制仪3包括流量器3.1、分子膜过滤器3.2和分析控制器3.3，尾气过滤器4，电磁阀5，气压阀6，气瓶7。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
如图1所示，一种电子气体纯度分析检测控制装置，包括：气源接口1、气体冷凝调压器2，气体分析控制仪3，所述气源接口1通过气体冷凝调压器2与气体分析控制仪3连通；气体分析控制仪3第一控制端分别与气体冷凝调压器2输出端管道连接的电磁阀5及气体冷凝调压器2相连；气体分析控制仪3气体尾端通过管路与尾气过滤器4连通。
所述气体冷凝调压器2由调压泵和冷疑器串联组成。调压泵用于输送和调压，冷疑器用于部分气体的冷疑；
所述气体分析控制仪3由流量器3.1、分子膜过滤器3.2和分析控制器3.3组成，流量器3.1通过分子膜过滤器3.2与和分析控制器3.3联通组成。通过流量器3.1计量及分子膜过滤器3.2过滤的电子气体，送至分析控制器3.3处理，分析控制器3.3由气体分析屏显示和控制器组成。所述尾气过滤器4为吸附式过滤器。
使用时，首先对电子气体纯度进行分析检测，电子气体通过气源接口1、气体冷凝调压器2传输至气体分析控制仪3，气体分析控制仪3经检测、分析，达到纯度标准，控制电磁阀5导通，通过气压阀6向气瓶7充气。同时气体分析控制仪3对分析检测的气体通过吸附式过滤器过滤，排出，进入大气。当检测纯度不达标时，气体分析控制仪3可以关闭气体冷凝调压器2，停止充气。
Claims (4)
1.一种电子气体纯度分析检测控制装置，其特征是：包括：气源接口（1）、气体冷凝调压器（2），气体分析控制仪（3），所述气源接口（1）通过气体冷凝调压器（2）与气体分析控制仪（3）连通；气体分析控制仪（3）第一控制端分别与气体冷凝调压器（2）输出端管道连接的电磁阀（5）及气体冷凝调压器（2）相连；气体分析控制仪（3）气体尾端通过管路与尾气过滤器（4）连通。
2.根据权利要求1所述的一种电子气体纯度分析检测控制装置，其特征是：所述气体冷凝调压器（2）由调压泵和冷疑器串联组成。
3.根据权利要求1所述的一种电子气体纯度分析检测控制装置，其特征是：所述气体分析控制仪（3）由流量器（3.1）、分子膜（3.2）和分析控制器组成，流量器（3.1）通过分子膜（3.2）过滤器与和分析控制器（3.3）联通组成。
4.根据权利要求1所述的一种电子气体纯度分析检测控制装置，其特征是：所述尾气过滤器（4）为吸附式过滤器。
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| CN202120376084.4U CN214895111U (zh) | 2021-02-19 | 2021-02-19 | 一种电子气体纯度分析检测控制装置 |
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Publications (1)
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2021
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