CN214894893U

CN214894893U - 新型串口通信协议自动点测机

Info

Publication number: CN214894893U
Application number: CN202121310451.7U
Authority: CN
Inventors: 方廷宇; 游礼仲; 许忠信; 张峰; 李东冉; 唐守庄
Original assignee: Shandong Qiangmao Electronic Technology Co ltd
Current assignee: Shandong Qiangmao Electronic Technology Co ltd
Priority date: 2021-06-11
Filing date: 2021-06-11
Publication date: 2021-11-26
Anticipated expiration: 2031-06-11

Abstract

本实用新型提供了一种新型串口通信协议自动点测机。该技术方案对传感器的承载模式及其定位机构进行了集中改进。具体来看，本实用新型以机台起到基础承载作用，在机台上设置带有升降架的滑车，承载臂插接在升降架上，其前端固定有传感器；基于这种构造，可自由调节传感器的高度及其前后位置，还可利用滑车将传感器上的探头在槽体中自由定位，定位完毕后可通过锁紧螺钉及顶丝予以固定，从而充分扩展了设备的运动自由度。此外，本实用新型在探头下端设置了扩展槽，可利用其安装带有滑轮的定位杆，当探头沿槽体平移时，滑轮可全程与待测晶圆接触，起到定位作用，使线性检测时探头的稳定性更好，有助于保证检测精度。

Description

新型串口通信协议自动点测机

技术领域

本实用新型涉及晶圆品质控制技术领域，具体涉及一种新型串口通信协议自动点测机。

背景技术

在晶圆质检工作中，点测机是重要的检测设备。点测机可广泛应用于LED晶圆检测、生物研究、军工行业、科学研究、玻璃行业、宝石研究、光伏产业、特殊光源检测等领域。

点测机通过图像匹配、识别、定位等过程，获取蓝膜上课识别晶粒的物理位置，同时生成该蓝膜上LED晶粒点测得原理是将大载有大量LED晶粒的待测蓝膜(扩散分离后)放入测试台(wafer)上，经真空吸附固定后，LED晶粒自动点测台的视觉系统对蓝膜上的LED晶粒进行全片扫描，LED晶粒的逻辑位置图(MAP)，根据LED晶粒的物理位置，控制待测的晶粒移动到测针下，使LED晶粒的两极与测针接触，提供测试回路；同时将逻辑位置发送给LED晶粒测试仪，实现自动测试，并将测试结果保存到用于管理测试资料的数据库系统中。现有技术中，常规点测机的运动自由度较为局限，而且其定位精度相对较低，不利于提高检测准确性。

发明内容

本实用新型旨在针对现有技术的技术缺陷，提供一种新型串口通信协议自动点测机，以解决常规电测机的自由度较为局限、定位精度较低等技术问题。

为实现以上技术目的，本实用新型采用以下技术方案：

新型串口通信协议自动点测机，包括机台，滑车，锁紧螺钉，升降架，承载臂，顶丝，传感器，探头，槽体，限位块，扩展槽，其中，在机台上设置有滑车，在机台上、位于滑车旁侧的位置丝接有锁紧螺钉，在滑车上设置有升降架，在升降架上插接有承载臂，在升降架上、位于承载臂上方的位置丝接有顶丝，在承载臂上固定连接有传感器，在传感器的下端具有探头，在机台上、位于探头下方的位置具有槽体，在探头上固定连接有限位块，限位块的至少一部分位于机台的、除槽体以外的台面上方，在探头的下端设置有扩展槽。

作为优选，还包括定位杆和滑轮，其中定位杆固定连接在扩展槽中，在定位杆的下端设置有滑轮，滑轮的轴线方向与槽体的延伸方向相互垂直。

作为优选，机台包括承载平台和若干支撑腿，所述若干支撑腿固定连接在所述承载平台底端。

作为优选，在承载臂的下端还固定连接有若干照明灯具。

作为优选，还包括控制台，所述控制台与传感器通信连接。

在以上技术方案中，机台用于起到基础承载作用；滑车用于在机台上平移滑动，从而将探头定位至槽体中的不同位置；锁紧螺钉用于对滑车的位置起到固定作用；升降架用于调节承载臂的高度；承载臂用于承载传感器，由于承载臂可在升降架上伸缩，因而可调节传感器的前后位置；顶丝用于对承载臂在升降架上的前后位置予以固定；传感器为常规的检测元件，探头为其既有的组成部分，用于对下方的晶圆进行检测；槽体用于容纳待测的晶圆；限位块用于限制探头的下行位置，避免探头过度下行压坏晶圆；扩展槽可用于安装定位杆；定位杆用于设置滑轮；滑轮用于同待测晶圆直接接触，基于滑轮的存在，当探头沿槽体平移、按直线轨迹进行检测时，滑轮可全程与待测晶圆接触，起到定位作用，避免平移过程中探头发生大幅上下抖动，从而确保了稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的主视图；

图2是本实用新型的侧视图；

图3是当增设定位杆及滑轮后，定位杆及滑轮局部的结构示意图；

图中：

1、机台 2、滑车 3、锁紧螺钉 4、升降架

5、承载臂 6、顶丝 7、传感器 8、探头

9、槽体 10、限位块 11、扩展槽 12、定位杆

13、滑轮。

具体实施方式

以下将对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。为了避免过多不必要的细节，在以下实施例中对属于公知的结构或功能将不进行详细描述。以下实施例中所使用的近似性语言可用于定量表述，表明在不改变基本功能的情况下可允许数量有一定的变动。除有定义外，以下实施例中所用的技术和科学术语具有与本实用新型所属领域技术人员普遍理解的相同含义。

实施例1

新型串口通信协议自动点测机，如图1～3所示，包括机台1，滑车2，锁紧螺钉3，升降架4，承载臂5，顶丝6，传感器7，探头8，槽体9，限位块10，扩展槽11，其中，在机台1上设置有滑车2，在机台1上、位于滑车2旁侧的位置丝接有锁紧螺钉3，在滑车2上设置有升降架4，在升降架4上插接有承载臂5，在升降架4上、位于承载臂5上方的位置丝接有顶丝6，在承载臂5上固定连接有传感器7，在传感器7的下端具有探头8，在机台1上、位于探头8下方的位置具有槽体9，在探头8上固定连接有限位块10，限位块10的至少一部分位于机台1的、除槽体9以外的台面上方，在探头8的下端设置有扩展槽11。

该设备的结构特点如下：机台1用于起到基础承载作用；滑车2用于在机台1上平移滑动，从而将探头8定位至槽体9中的不同位置；锁紧螺钉3用于对滑车2的位置起到固定作用；升降架4用于调节承载臂5的高度；承载臂5用于承载传感器7，由于承载臂5可在升降架4上伸缩，因而可调节传感器7的前后位置；顶丝6用于对承载臂5在升降架4上的前后位置予以固定；传感器7为常规的检测元件，探头8为其既有的组成部分，用于对下方的晶圆进行检测；槽体9用于容纳待测的晶圆；限位块10用于限制探头8的下行位置，避免探头8过度下行压坏晶圆；扩展槽11可用于安装定位杆12。

实施例2

同时，还包括定位杆12和滑轮13，其中定位杆12固定连接在扩展槽11中，在定位杆12的下端设置有滑轮13，滑轮13的轴线方向与槽体9的延伸方向相互垂直。机台1包括承载平台和若干支撑腿，所述若干支撑腿固定连接在所述承载平台底端。在承载臂5的下端还固定连接有若干照明灯具。还包括控制台，所述控制台与传感器7通信连接。在以上技术方案中，增设了定位杆12及滑轮13，其中，定位杆12用于设置滑轮13；滑轮13用于同待测晶圆直接接触，基于滑轮13的存在，当探头8沿槽体9平移、按直线轨迹进行检测时，滑轮13可全程与待测晶圆接触，起到定位作用，避免平移过程中探头8发生大幅上下抖动，从而确保了稳定性。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型。凡在本实用新型的申请范围内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.新型串口通信协议自动点测机，其特征在于包括机台(1)，滑车(2)，锁紧螺钉(3)，升降架(4)，承载臂(5)，顶丝(6)，传感器(7)，探头(8)，槽体(9)，限位块(10)，扩展槽(11)，其中，在机台(1)上设置有滑车(2)，在机台(1)上、位于滑车(2)旁侧的位置丝接有锁紧螺钉(3)，在滑车(2)上设置有升降架(4)，在升降架(4)上插接有承载臂(5)，在升降架(4)上、位于承载臂(5)上方的位置丝接有顶丝(6)，在承载臂(5)上固定连接有传感器(7)，在传感器(7)的下端具有探头(8)，在机台(1)上、位于探头(8)下方的位置具有槽体(9)，在探头(8)上固定连接有限位块(10)，限位块(10)的至少一部分位于机台(1)的、除槽体(9)以外的台面上方，在探头(8)的下端设置有扩展槽(11)。

2.根据权利要求1所述的新型串口通信协议自动点测机，其特征在于，还包括定位杆(12)和滑轮(13)，其中定位杆(12)固定连接在扩展槽(11)中，在定位杆(12)的下端设置有滑轮(13)，滑轮(13)的轴线方向与槽体(9)的延伸方向相互垂直。

3.根据权利要求1所述的新型串口通信协议自动点测机，其特征在于，机台(1)包括承载平台和若干支撑腿，所述若干支撑腿固定连接在所述承载平台底端。

4.根据权利要求1所述的新型串口通信协议自动点测机，其特征在于，在承载臂(5)的下端还固定连接有若干照明灯具。

5.根据权利要求1所述的新型串口通信协议自动点测机，其特征在于，还包括控制台，所述控制台与传感器(7)通信连接。