CN214861869U - 一种三氯氢硅的尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于尾气处理领域，特别涉及一种三氯氢硅的尾气处理装置，旋风除尘器进气口连接尾气管道，旋风除尘器出气口经换热器连接至光催化反应器，出料口连接至硅粉回收罐，光催化反应器出气口连接至吸收塔，吸收塔设有第一喷淋器，酸罐通过第一循环泵连接第一喷淋器，吸收塔出液口连接至酸罐，吸收塔出气口连接至碱洗塔，碱洗塔设有第二喷淋器，碱罐通过第二循环泵连接第二喷淋器，碱洗塔出液口连接至碱罐，碱洗塔出气口连接至水洗塔，水洗塔设有第三喷淋器，第三喷淋器的进水口连接喷淋水管网，水洗塔底部出水口连接至污水管网，水洗塔顶部设有排空管。该尾气处理装置能够回收尾气余热及可再利用组分，节能环保，提高了能源及原料利用率。

Description

一种三氯氢硅的尾气处理装置

技术领域

本实用新型属于尾气处理领域，特别涉及一种三氯氢硅的尾气处理装置。

背景技术

三氯氢硅又称硅氯仿，常用作高分子有机硅化合物的原料，是生产多晶硅的重要原料。三氯氢硅生产系统的尾气中可能含有未反应完全的氯气、氢气和硅粉及氮气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅等物质，而且三氯氢硅合成炉温度较高，尾气含热量大，直接排放会对环境造成重大破坏。因此，三氯氢硅尾气的综合处理成为三氯氢硅合成工艺是否环保的节能标志，也是多晶硅企业一直关注的重要问题。目前，三氯氢硅的尾气处理多数还只是进行简单地氢氧化钠溶液淋洗的处理方法，耗碱量大，尾气中的可再利用组分不能有效回收，降低了原料的利用率，提高了生成成本，难以适应企业的发展需求。

实用新型内容

针对上述情况，本实用新型设计了一种三氯氢硅的尾气处理装置，对尾气余热及可再利用组分进行有效回收。

为了实现以上目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种三氯氢硅的尾气处理装置，包括旋风除尘器、硅粉回收罐、换热器、光催化反应器、吸收塔、酸罐、碱洗塔、碱罐和水洗塔，所述旋风除尘器的进气口连接至三氯氢硅尾气管道，旋风除尘器的出气口连接至换热器，旋风除尘器的出料口连接至硅粉回收罐，换热器的出气口连接至光催化反应器，光催化反应器的出气口连接至吸收塔，吸收塔顶部设置有第一喷淋器，所述酸罐通过第一循环泵连接至第一喷淋器，吸收塔的出液口连接至酸罐，吸收塔的出气口连接至碱洗塔，碱洗塔顶部设置有第二喷淋器，所述碱罐通过第二循环泵连接至第二喷淋器，碱洗塔的出液口连接至碱罐，碱洗塔的出气口连接至水洗塔，水洗塔顶部设置有第三喷淋器，第三喷淋器的进水口连接至喷淋水管网，水洗塔底部出水口连接至污水管网，水洗塔顶部设置有排空管。

优选地，所述换热器为列管式热交换器，换热器上设置有冷水入口和热水出口，回收三氯氢硅尾气中的余热。

优选地，所述吸收塔、碱洗塔和水洗塔均为玻璃钢洗涤塔，洗涤塔内设置有多层填料层，玻璃钢洗涤塔耐酸碱腐蚀，填料层可增强洗涤吸收效果。

优选地，所述酸罐顶部设置有喷淋水补水口，补水口上设置有第一进液阀，酸罐底部设置有第一排液管，第一排液管上设置有第一出液阀。

优选地，所述碱罐顶部设置有氢氧化钠补碱口，补碱口上设置有第二进液阀，碱罐底部设置有第二排液管，第二排液管上设置有第二出液阀。

优选地，所述酸罐和碱罐均为钢衬四氟储罐，强度高，耐酸碱腐蚀，所述第一循环泵和第二循环泵均采用氟塑料离心泵,第一循环泵和第二循环泵的进水口上分别设置有第一过滤器和第二过滤器，抗腐蚀，防堵塞，安全稳定。

本实用新型还包括能够使其正常使用的其它组件，均为本领域的常规手段，另外，本实用新型中未加限定的装置或组件，例如：旋风除尘器、光催化反应器、洗涤塔填料和排空管等，均采用本领域的现有技术。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型提供的三氯氢硅的尾气处理装置能够对尾气余热及可再利用组分进行有效回收，节能、减排、降耗，避免尾气排空造成的环境污染，提高能源及原料利用率，降低生产成本，增加企业经济效益。

附图说明

图1为实施例中三氯氢硅的尾气处理装置的结构示意图。

图中：1、旋风除尘器；2、硅粉回收罐；3、换热器；4、光催化反应器；5、吸收塔；6、酸罐；7、碱洗塔；8、碱罐；9、水洗塔；10、第一喷淋器；11、第一循环泵；12、第二喷淋器；13、第二循环泵；14、第三喷淋器；15、排空管；16、第一进液阀；17、第一出液阀；18、第二进液阀；19、第二出液阀。

具体实施方式

下面将结合具体的实施例，对本实用新型的技术方案进行清晰完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例

如图1所示，一种三氯氢硅的尾气处理装置，包括旋风除尘器1、硅粉回收罐2、换热器3、光催化反应器4、吸收塔5、酸罐6、碱洗塔7、碱罐8和水洗塔9，所述旋风除尘器的进气口连接至三氯氢硅尾气管道，旋风除尘器的出气口连接至换热器，旋风除尘器的出料口连接至硅粉回收罐，换热器的出气口连接至光催化反应器，光催化反应器的出气口连接至吸收塔，吸收塔顶部设置有第一喷淋器10，所述酸罐通过第一循环泵11连接至第一喷淋器，吸收塔的出液口连接至酸罐，吸收塔的出气口连接至碱洗塔，碱洗塔顶部设置有第二喷淋器12，所述碱罐通过第二循环泵13连接至第二喷淋器，碱洗塔的出液口连接至碱罐，碱洗塔的出气口连接至水洗塔，水洗塔顶部设置有第三喷淋器14，第三喷淋器的进水口连接至喷淋水管网，水洗塔底部出水口连接至污水管网，水洗塔顶部设置有排空管15。

所述换热器为列管式热交换器，换热器上设置有冷水入口和热水出口，回收三氯氢硅尾气中的余热。

所述吸收塔、碱洗塔和水洗塔均为玻璃钢洗涤塔，洗涤塔内设置有多层填料层，塔体耐酸碱腐蚀，填料层增大气液接触面积，增强洗涤吸收效果。

所述酸罐顶部设置有喷淋水补水口，补水口上设置有第一进液阀16，酸罐底部设置有第一排液管，第一排液管上设置有第一出液阀17，尾气中的残余氯气和氢气在光催化反应器的光照条件下反应生成氯化氢气体，氯化氢气体及二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，经吸收塔吸收与水生成盐酸、硅氧烷等物质进入酸罐，随着吸收塔不断循环喷淋吸收，酸罐内液体浓度逐渐升高，需定期对酸罐进行排液补水操作。

所述碱罐顶部设置有氢氧化钠补碱口，补碱口上设置有第二进液阀18，碱罐底部设置有第二排液管，第二排液管上设置有第二出液阀19，尾气中经吸收塔未完全吸收的残余氯化氢等，在碱洗塔进一步被氢氧化钠溶液碱洗吸收，生产氯化钠等物质进入碱罐，随着碱罐内液体浓度逐渐升高和碱性逐渐下降，需定期对碱罐进行排液补碱操作。

所述酸罐和碱罐均为钢衬四氟储罐，储罐机械强度高，耐酸碱，抗腐蚀，安全性高，使用寿命长；所述第一循环泵和第二循环泵均采用氟塑料离心泵,第一循环泵和第二循环泵的进水口上分别设置有第一过滤器20和第二过滤器21，耐酸碱腐蚀，防堵塞，工作稳定性高。

本实用新型的技术方案并不限于上述具体实施例的限制，在不偏离所说明实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何技术变形，均落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：包括旋风除尘器、硅粉回收罐、换热器、光催化反应器、吸收塔、酸罐、碱洗塔、碱罐和水洗塔，所述旋风除尘器的进气口连接至三氯氢硅尾气管道，旋风除尘器的出气口连接至换热器，旋风除尘器的出料口连接至硅粉回收罐，换热器的出气口连接至光催化反应器，光催化反应器的出气口连接至吸收塔，吸收塔顶部设置有第一喷淋器，所述酸罐通过第一循环泵连接至第一喷淋器，吸收塔的出液口连接至酸罐，吸收塔的出气口连接至碱洗塔，碱洗塔顶部设置有第二喷淋器，所述碱罐通过第二循环泵连接至第二喷淋器，碱洗塔的出液口连接至碱罐，碱洗塔的出气口连接至水洗塔，水洗塔顶部设置有第三喷淋器，第三喷淋器的进水口连接至喷淋水管网，水洗塔底部出水口连接至污水管网，水洗塔顶部设置有排空管。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述换热器为列管式热交换器，换热器上设置有冷水入口和热水出口。

3.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述吸收塔、碱洗塔和水洗塔均为玻璃钢洗涤塔，吸收塔、碱洗塔和水洗塔内均设置有多层填料层。

4.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述酸罐顶部设置有喷淋水补水口，补水口上设置有第一进液阀，酸罐底部设置有第一排液管，第一排液管上设置有第一出液阀。

5.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述碱罐顶部设置有氢氧化钠补碱口，补碱口上设置有第二进液阀，碱罐底部设置有第二排液管，第二排液管上设置有第二出液阀。

6.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述酸罐和碱罐均为钢衬四氟储罐，所述第一循环泵和第二循环泵均采用氟塑料离心泵,第一循环泵和第二循环泵的进水口上分别设置有第一过滤器和第二过滤器。

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