CN214848538U - 一种装载装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种装载装置，包括：载台；晶圆盒，其置于所述载台上，并用于装载晶圆；以及防护罩，其用于围设在所述晶圆盒的外围；其中，所述防护罩设置在所述载台上，所述防护罩可相对所述载台主动移动，以靠近或远离所述晶圆盒。本实用新型通过在载台上设置防护罩，防护罩可相对载台主动移动，当需要在载台上取放晶圆盒时，防护罩可朝着远离晶圆盒的方向移动，以便取放晶圆盒；当无需取放晶圆盒时，防护罩可朝着晶圆盒移动，并围设在其外围，有效避免了作业人员误接触晶圆盒，从而提高生产安全性，提高生产效率。

Description

一种装载装置

技术领域

本申请涉及激光标识技术领域，尤其涉及一种装载装置。

背景技术

随着激光加工技术的不断进步，激光器的运用领域得到不断拓展。近年来，在晶圆制造领域也越来越多的运用到光刻技术，针对晶圆制造领域，许多公司都推出了晶圆激光标记产品。现有技术中，装有晶圆的晶圆盒通常直接放置在载台上，机械手可自晶圆盒取出待标记的晶圆或放入标记后的晶圆。然而在实际操作中，晶圆盒存在误碰触的情况，由于晶圆盒直接放置在载台上，在碰触后晶圆盒易掉落载台或者发生偏移，从而造成晶圆损伤；且当晶圆盒偏移后，机械手难以精准的对晶圆进行取放，从而影响自动化作业，不利于提高生产效率。

实用新型内容

针对上述技术中存在的不足之处，本申请提供了一种装载装置，其能够避免作业人员误触碰晶圆盒。

为解决上述技术问题，本申请采用的技术方案是：一种装载装置，包括：载台；晶圆盒，其置于所述载台上，并用于装载晶圆；以及防护罩，其用于围设在所述晶圆盒的外围；其中，所述防护罩设置在所述载台上，所述防护罩可相对所述载台主动移动，以靠近或远离所述晶圆盒。

进一步地，所述载台内设置有与所述防护罩相接的升降组件，所述升降组件驱动所述防护罩靠近或远离所述晶圆盒。

进一步地，所述升降组件包括驱动电机、与所述驱动电机传动连接的丝杆以及配接在所述丝杆上的丝杆螺母，所述丝杆沿着所述防护罩的移动方向设置，所述丝杆螺母与所述防护罩相接。

进一步地，所述升降组件还包括固定在所述载台上的滑轨和与所述滑轨滑动配接的滑块，所述滑轨沿着所述防护罩的移动方向设置，所述防护罩与所述滑块相接。

进一步地，所述滑轨数量为两根，且分别位于所述丝杆的两侧，所述滑块数量对应为两个。

进一步地，所述防护罩包括防护罩主体，所述防护罩主体包括安装框架和多块透明板，多块所述透明板嵌合在所述安装框架中，以围合形成容置所述晶圆盒的透明腔体。

进一步地，所述防护罩包括：防护罩主体，其围设在所述晶圆盒外围；以及传动架，其置于所述载台内，并与所述升降组件相接；其中，所述载台上设置有沿着所述防护罩移动方向开设的避位槽，所述传动架部分穿过所述避位槽并与所述防护罩主体相接。

进一步地，所述载台的台面上设置有定位所述晶圆盒的定位结构。

进一步地，所述定位结构为设置在所述载台的台面上的多个定位块，所述定位块间配合围成定位所述晶圆盒的定位空间；或者，所述定位结构为开设在所述载台的台面上的定位槽，所述晶圆盒的底部嵌设在所述定位槽内；或者，所述定位结构为凸设在所述载台的台面上的多个固定脚，所述晶圆盒的底部成型有多个与所述固定脚相适配的凹陷部，所述固定脚嵌设在所述凹陷部内。

进一步地，所述晶圆盒包括用于存放不同尺寸的晶圆的第一晶圆盒和第二晶圆盒，所述载台的台面上设置有定位所述第一晶圆盒的第一定位结构以及定位所述第二晶圆盒的第二定位结构。

本申请与现有技术相比，其有益效果是：本实用新型通过在载台上设置防护罩，防护罩可相对载台主动移动，当需要在载台上取放晶圆盒时，防护罩可朝着远离晶圆盒的方向移动，以便取放晶圆盒；当无需取放晶圆盒时，防护罩可朝着晶圆盒移动，并围设在其外围，有效避免了作业人员误接触晶圆盒，从而提高生产安全性，提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1是本实用新型装载装置的结构示意图。

图2是本实用新型中升降组件与防护罩的装配示意图。

图3是本实用新型中载台与防护罩的装配结构示意图。

图4是本实用新型中载台的台面的结构示意图。

图5是本实用新型中第一晶圆盒与载台的安装示意图。

图6是本实用新型中第二晶圆盒与载台的安装示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图，对本申请的具体实施方式做详细的说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请中的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

如图1和图5所示，对应于本实用新型一种较佳实施例的装载装置，包括载台100；晶圆盒200，其置于载台100上，并用于装载晶圆201；以及防护罩300，其用于围设在晶圆盒200的外围；其中，防护罩300设置在载台100上，防护罩300可相对载台100主动移动，以靠近或远离晶圆盒200。

本实用新型通过在载台100上设置防护罩300，防护罩300可相对载台100主动移动，当需要在载台100上取放晶圆盒200时，防护罩300可朝着远离晶圆盒200的方向移动，以便取放晶圆盒200；当无需取放晶圆盒200时，防护罩300可朝着晶圆盒200移动，并围设在其外围，有效避免了作业人员误接触晶圆盒200，从而提高生产安全性，提高生产效率。

进一步地，参照图2和图3所示，载台100内设置有与防护罩300相接的升降组件400，升降组件400可驱动防护罩300移动，以靠近或远离晶圆盒200。具体的，升降组件400包括驱动电机41、与驱动电机41传动连接的丝杆42以及配接在丝杆42上的丝杆螺母43，丝杆螺母43与防护罩300相接，驱动电机41可驱动丝杆42转动，进而带动丝杆螺母43和防护罩300沿着丝杆42的长度方向移动。在本实施例中，丝杆42沿着Z轴方向(即竖直方向)设置，以减小安装空间。诚然，升降组件400还可采用气动方式，例如采用驱动气缸(图未示)，驱动气缸与防护罩300相接，以推动防护罩300沿Z轴方向移动。

进一步地，升降组件400还包括固定在载台100上的滑轨44和与滑轨44滑动配接的滑块45，滑轨44与丝杆42平行设置，防护罩300与滑块45相接，以使丝杆螺母43带动防护罩300移动的同时，受到滑轨44的引导，从而提高防护罩300移动的可靠性。滑轨44数量为两根，且分别位于丝杆42的两侧，相应的，滑块45数量对应为两个。

进一步地，参照图1和图2所示，防护罩300包括防护罩主体31和传动架32，防护罩主体31围设在晶圆盒200的外围，传动架32置于载台100内，并分别与丝杆螺母43和滑块45相接。载台100上设置有沿着防护罩300移动方向开设的避位槽101，传动架32部分穿过避位槽101并与防护罩主体31相接。

防护罩主体31包括安装框架311和多块透明板312。安装框架311与传动架32相接。多块透明板312嵌合在安装框架311中，以围合形成容置晶圆盒200的透明腔体，作业人员可透过防护罩300直接观察到晶圆盒200，以便了解晶圆盒200内的晶圆201情况。透明板312具体可采用玻璃、透明塑料等材质。

进一步地，参照图4至图6所示，载台100的台面上设置定位结构，以便对晶圆盒200进行定位，使得机械手可精准的对晶圆盒200内的晶圆201进行取放。定位结构为设置在载台100的台面104上的多个定位块，定位块间配合围成定位晶圆盒200的定位空间；或者，定位结构为开设在载台100的台面104上的定位槽，晶圆盒200的底部嵌设在定位槽内；或者，定位结构为凸设在载台100的台面104上的多个固定脚102，晶圆盒200的底部成型有多个与固定脚102相适配的凹陷部202，固定脚102嵌设在凹陷部202内。

在本实施例中，晶圆盒200包括第一晶圆盒200a和第二晶圆盒200b，其中，第一晶圆盒200a用于存放较小尺寸的晶圆201，第二晶圆盒200b用于存放较大尺寸的晶圆201，作业人员可根据需要来更换晶圆盒200。第一晶圆盒200a上开设有第一取放口203，第二晶圆盒200b上开设有第二取放口204。载台100的台面上设置有定位第一晶圆盒200a的第一定位结构以及定位第二晶圆盒200b的第二定位结构。诚然，在其他实施例中，晶圆盒200可以设置3个、4个或者更多，本申请在此不作具体限定。

在本实施例中，第一定位结构采用定位块的方式实现第一晶圆盒200a的定位。具体的，第一定位结构包括第一定位块205和与第一定位块205相对设置的第二定位块206，第一定位块205数量为两个，且位于同一侧，第二定位块206的数量为两个且位于同一侧，第一定位块205和第二定位块206分别位于第一晶圆盒200a的边角位置。

第一定位块205开设有抵接槽2051，抵接槽2051包括第一抵接面2052和第二抵接面2053，两个抵接槽2051的第一抵接面2052相对设置，以限制第一晶圆盒200a在X轴方向上的移动；第二定位块206包括第三抵接面2061，第二抵接面2053与第三抵接面2061相对设置，以限制第一晶圆盒200a在Y轴方向上的移动。

由于第二晶圆盒200b的底面积较大，优选的，第二定位结构采用凹陷部202和固定脚102的方式进行定位。具体的，第二晶圆盒200b的底部凸设有多个凸块207，多个凸块207内均成型有凹陷部202，载台100的台面104上对应凸设有嵌设在凹陷部202内的固定脚102。在本实施例中，凹陷部202数量为三个，其中两个凹陷部202位于同侧，另一个位于该侧的对立侧，且位于同侧的两个凹陷部202的中间位置。

进一步地，参照图3所示，载台100还包括用于与激光标记设备(图未示)的壳体(图未示)相抵靠的安装基板103。晶圆盒200具有取放口的一侧朝向安装基板103，安装基板103对应取放口位置处开设有开口1031，以供机械手依次经开口1031和取放口进出晶圆盒200。

综上所述，本实用新型通过在载台上设置可自主移动的防护罩，防护罩能够在装载装置作业时围设在晶圆盒外围，有效避免了作业人员误触晶圆盒，从而提高生产安全性，提高生产效率；

本实用新型的载台上设置有多个定位结构，以分别对应多种用于容纳不同尺寸晶圆的晶圆盒，提高载台的通用性。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种装载装置，其特征在于：包括：

载台(100)；

晶圆盒(200)，其置于所述载台(100)上，并用于装载晶圆(201)；以及

防护罩(300)，其用于围设在所述晶圆盒(200)的外围；

其中，所述防护罩(300)设置在所述载台(100)上，所述防护罩(300)可相对所述载台(100)主动移动，以靠近或远离所述晶圆盒(200)。

2.根据权利要求1所述的装载装置，其特征在于：所述载台(100)内设置有与所述防护罩(300)相接的升降组件(400)，所述升降组件(400)驱动所述防护罩(300)靠近或远离所述晶圆盒(200)。

3.根据权利要求2所述的装载装置，其特征在于：所述升降组件(400)包括驱动电机(41)、与所述驱动电机(41)传动连接的丝杆(42)以及配接在所述丝杆(42)上的丝杆螺母(43)，所述丝杆(42)沿着所述防护罩(300)的移动方向设置，所述丝杆螺母(43)与所述防护罩(300)相接。

4.根据权利要求3所述的装载装置，其特征在于：所述升降组件(400)还包括固定在所述载台(100)上的滑轨(44)和与所述滑轨(44)滑动配接的滑块(45)，所述滑轨(44)沿着所述防护罩(300)的移动方向设置，所述防护罩(300)与所述滑块(45)相接。

5.根据权利要求4所述的装载装置，其特征在于：所述滑轨(44)数量为两根，且分别位于所述丝杆(42)的两侧，所述滑块(45)数量对应为两个。

6.根据权利要求1所述的装载装置，其特征在于：所述防护罩(300)包括防护罩主体(31)，所述防护罩主体(31)包括安装框架(311)和多块透明板(312)，多块所述透明板(312)嵌合在所述安装框架(311)中，以围合形成容置所述晶圆盒(200)的透明腔体。

7.根据权利要求2所述的装载装置，其特征在于：所述防护罩(300)包括：

防护罩主体(31)，其围设在所述晶圆盒(200)外围；以及

传动架(32)，其置于所述载台(100)内，并与所述升降组件(400)相接；

其中，所述载台(100)上设置有沿着所述防护罩(300)移动方向开设的避位槽(101)，所述传动架(32)部分穿过所述避位槽(101)并与所述防护罩主体(31)相接。

8.根据权利要求1所述的装载装置，其特征在于：所述载台(100)的台面(104)上设置有定位所述晶圆盒(200)的定位结构。

9.根据权利要求8所述的装载装置，其特征在于：所述定位结构为设置在所述载台(100)的台面(104)上的多个定位块，所述定位块间配合围成定位所述晶圆盒(200)的定位空间；或者，所述定位结构为开设在所述载台(100)的台面(104)上的定位槽，所述晶圆盒(200)的底部嵌设在所述定位槽内；或者，所述定位结构为凸设在所述载台(100)的台面(104)上的多个固定脚(102)，所述晶圆盒(200)的底部成型有多个与所述固定脚(102)相适配的凹陷部(202)，所述固定脚(102)嵌设在所述凹陷部(202)内。

10.根据权利要求8所述的装载装置，其特征在于：所述晶圆盒(200)包括用于存放不同尺寸的晶圆(201)的第一晶圆盒(200a)和第二晶圆盒(200b)，所述载台(100)的台面上设置有定位所述第一晶圆盒(200a)的第一定位结构以及定位所述第二晶圆盒(200b)的第二定位结构。

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