CN214819849U - 一种单晶硅切削液控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种单晶硅切削液控制装置，涉及单晶硅制造技术领域。该单晶硅切削液控制装置包括储液箱（1）、阀门一（4）和阀门二（5），所述储液箱（1）的一端依次连接送液泵（2）、电子流量阀（3）和喷头及其导轨（6），喷头及其导轨（6）的数量为二个，并联安装于线切割机的两侧，阀门一（4）设置在电子流量阀（3）和喷头及其导轨（6）之间，阀门二（5）设置在阀门一（4）和喷头及其导轨（6）之间，位于其中一个喷头及其导轨（6）所在的支管上，所述储液箱（1）的另一端依次连接下方连接回水泵（9）、过滤器（8）和集水槽（7）。本实用新型能有效控制断线及产品划伤，解决了单晶硅片切割质量不稳定的技术问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，具体涉及一种单晶硅切削液控制装置。
背景技术
硅是最常见、应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。目前单晶硅切片多使用线切割方法。在专利CN201510730862.4中公开了一种多线切割机用切削液循环装置，包括、过滤机、第一沉淀桶、第二沉淀桶；溢流口溢出的切削液先经第一沉淀桶沉淀，然后再经过滤机过滤，过滤机过滤后的切削液再经第二沉淀桶沉淀，最后再进入储水桶内进行循环使用，切削液经沉淀、过滤、再沉淀后具有良好的水质，从而使得切削液循环使用时不会产生大量的泡沫，减小了切削液循环系统的用水量。但是不能很好的控制切削液流量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供了一种单晶硅切削液控制装置。通过设置送液泵、电子流量阀、阀门一、阀门二和喷头及其导轨，在起料过程中可以有效地控制断线及产品划伤。解决了单晶硅片切割质量不稳定的技术问题。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：
一种单晶硅切削液控制装置，包括储液箱、阀门一和阀门二，其中：
所述储液箱的一端依次连接送液泵、电子流量阀和喷头及其导轨；
所述喷头及其导轨的数量为二个，并联安装于线切割机的两侧；
所述阀门一设置在电子流量阀和喷头及其导轨之间；
所述阀门二设置在阀门一和喷头及其导轨之间，位于其中一个喷头及其导轨所在的支管上；
所述储液箱的另一端依次连接下方连接回水泵、过滤器和集水槽。
可选或优选地，所述阀门二设置在靠近起料窗口的支管上。
可选或优选地，所述集水槽位于线切割工作台的正下方。
可选或优选地，所述集水槽为锥形结构。
可选或优选地，所述过滤器为厢式压滤器。
基于上述技术方案，可产生如下技术效果：
本实用新型提供的一种单晶硅切削液控制装置，适用于单晶硅线切割机。本实用新型通过设置送液泵、电子流量阀、阀门一、阀门二和喷头及其导轨，能配合线切割进程，实时调整切削液的供给角度和流量，在起料过程中可以有效地控制断线及产品划伤。解决了单晶硅片切割质量不稳定的技术问题。
附图说明
图1 为本实用新型的结构示意图；
图中：1-储液箱，2-送液泵，3-电子流量阀，4-阀门一，5-阀门二，6-喷头及其导轨，7-集水槽，8-过滤器，9-回水泵。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。
如图1所示：
本实用新型提供了一种单晶硅切削液控制装置,包括储液箱1、阀门一4和阀门二5，其中：
所述储液箱1的一端依次连接送液泵2、电子流量阀3和喷头及其导轨6；
所述喷头及其导轨6的数量为二个，并联安装于线切割机的两侧；
所述阀门一4设置在电子流量阀3和喷头及其导轨6之间；
所述阀门二5设置在阀门一4和喷头及其导轨6之间，位于其中一个喷头及其导轨6所在的支管上；
所述储液箱1的另一端依次连接下方连接回水泵9、过滤器8和集水槽7。
作为可选或优选地实施方式，所述阀门二5设置在靠近起料窗口的支管上。
作为可选或优选地实施方式，所述集水槽7位于线切割工作台的正下方。
作为可选或优选地实施方式，所述集水槽7为锥形结构。
作为可选或优选地实施方式，所述过滤器8为厢式压滤器。
本实用新型提供的单晶硅切削液控制装置的工作过程如下：在切割单晶硅片时，将待切割的单晶硅棒安装到位，设定相关切割工作参数，位于两侧的喷头及其导轨6将根据相关工艺参数额的设定，在电子流量阀3、阀门一4、阀门二5的控制下向单晶硅棒喷射出切削液，切削液会流向位于底部的集水槽7，在回水泵9的驱动下经过滤器8回流进储液箱1。
Claims (5)
1.一种单晶硅切削液控制装置，其特征在于：包括储液箱（1）、阀门一（4）和阀门二（5），其中：所述储液箱（1）的一端依次连接送液泵（2）、电子流量阀（3）和喷头及其导轨（6）；
所述喷头及其导轨（6）的数量为二个，并联安装于线切割机的两侧；
所述阀门一（4）设置在电子流量阀（3）和喷头及其导轨（6）之间；
所述阀门二（5）设置在阀门一（4）和喷头及其导轨（6）之间，位于其中一个喷头及其导轨（6）所在的支管上；
所述储液箱（1）的另一端依次连接下方连接回水泵（9）、过滤器（8）和集水槽（7）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅切削液控制装置，其特征在于：所述阀门二（5）设置在靠近起料窗口的支管上。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅切削液控制装置，其特征在于：所述集水槽（7）位于线切割工作台的正下方。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅切削液控制装置，其特征在于：所述集水槽（7）为锥形结构。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅切削液控制装置，其特征在于：所述过滤器（8）为厢式压滤器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121051836.6U CN214819849U (zh) | 2021-05-17 | 2021-05-17 | 一种单晶硅切削液控制装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121051836.6U CN214819849U (zh) | 2021-05-17 | 2021-05-17 | 一种单晶硅切削液控制装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN214819849U true CN214819849U (zh) | 2021-11-23 |
Family
ID=78774621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121051836.6U Active CN214819849U (zh) | 2021-05-17 | 2021-05-17 | 一种单晶硅切削液控制装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214819849U (zh) |
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2021
- 2021-05-17 CN CN202121051836.6U patent/CN214819849U/zh active Active
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