CN214813762U - 用于圆盘状铝钪靶材的整平装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及铝钪靶材领域，具体是一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，包括支撑台、多个可活动的垫块、可伸缩的整平机构；整平机构设置在支撑台上，整平机构的伸缩方向垂直于支撑台的台面；支撑台上设置有圆环槽，多个垫块分别可活动的设置在圆环槽内，相邻的两个垫块之间留有间距；垫块上设置有定位部件，其中，定位部件用于将圆盘状铝钪靶材定位在垫块上，圆盘状铝钪靶材的轮廓位于垫块的轮廓内；任一个垫块分别能够沿着圆环槽移动至整平机构和支撑台之间。相对于现有技术中的靶材与整平构件的定位方式，本实用新型的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，操作的步骤减少，进而操作的时间减少，从而提高了多个铝钪靶材相对整平构件的定位效率。

Description

用于圆盘状铝钪靶材的整平装置

技术领域

本实用新型涉及铝钪靶材领域，具体是一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置。

背景技术

现有技术中，提供了一种靶材整平装置，其申请号为：201620435977.0。其中，具体公开了工作台、主轴、整平构件(包括升降油缸和整平块)，整平构件可沿着X轴方向移动，以及主轴可带动整平构件沿着Y轴方向移动，从而当靶材设置在工作台上时，可通过移动主轴(Y轴)和整平构件(X轴)将整平构件移动至靶材的上方(Z轴方向)进行定位操作，然后通过升降油缸控制整平块对靶材进行整平。

现有技术总的一种靶材整平装置，在多个靶材分别设置在同一个工作台上时，工作人员需要操作整平构件分别与任一个靶材进行定位操作，也就是说，工作人员需要多次的控制主轴的移动过程、整平构件的移动过程，才能够实现对每一个靶材的定位，整平构件相对于靶材的定位时间比较长，从而导致该一种靶材整平装置的定位效率低。

实用新型内容

为解决现有技术总的一种靶材整平装置，工作人员需要多次的控制主轴的移动过程、整平构件的移动过程，才能够实现对每一个靶材的定位，整平构件相对于靶材的定位时间比较长，从而导致该一种靶材整平装置的定位效率低的技术问题，本实用新型提供一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

根据本实用新型的一个方面，提供一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，包括支撑台、多个可活动的垫块、可伸缩的整平机构；

所述整平机构设置在所述支撑台上，其中，所述整平机构的伸缩方向垂直于所述支撑台的台面；

所述支撑台上设置有圆环槽，其中，多个所述垫块分别可活动的设置在所述圆环槽内，相邻的两个垫块之间留有间距；

所述垫块上设置有定位部件，其中，所述定位部件用于将所述圆盘状铝钪靶材定位在所述垫块上，所述铝钪靶材的轮廓位于所述垫块的轮廓内；

任一个所述垫块分别能够沿着所述圆环槽移动至所述整平机构和所述支撑台之间，其中，所述整平机构具有舒张状态和收缩状态，当所述整平机构呈舒张状态时，所述整平机构和所述垫块的间距减小，当所述整平机构呈收缩状态时，所述整平机构和所述垫块的间距增大。

进一步的，所述定位部件具体为多个可伸缩的定位块；

多个所述定位块分别设置在同一个定位圆周上，其中，沿着所述定位圆周的顺时针或逆时针方向，相邻的两个定位块的间距相同；

所述定位圆周具有圆心处，其中，任一个所述定位块分别具有舒张状态和收缩状态，当任一个所述定位块呈舒张状态时，所述定位块的舒张方向指向所述圆心处。

进一步的，所述定位块包括固定螺栓、活动压块、固定压块、螺旋弹簧、导向部件和连接螺栓；

所述固定压块通过固定螺栓设置在所述垫块上；

所述活动压块通过连接螺栓可活动的连接于所述固定压块，其中，所述活动压块和所述固定压块之间设置有导向部件和螺旋弹簧，所述导向部件的其中一端可设置在所述活动压块上，所述导向部件的其中另一端可活动的穿透所述固定压块，所述螺旋弹簧套设在所述导向部件上，所述螺旋弹簧的两端分别可接触所述固定压块和所述导向部件。

进一步的，所述圆环槽内设置有第一齿圈和第二齿圈；

所述垫块呈圆盘状；

所述第一齿圈和所述第二齿圈分别呈圆环状，所述第一齿圈的直径大于所述第二齿圈的直径，所述第一齿圈和所述第二齿圈同轴设置在所述圆环槽内，其中，所述第一齿圈相对于所述圆环槽呈可转动状态，所述第二齿圈相对于所述圆环槽呈固定状态；

所述第一齿圈设置有内齿圈，所述第二齿圈设置有外齿圈，所述垫块设置在所述第一齿圈和所述第二齿圈之间，其中，所述垫块上的外齿圈分别与所述第一齿圈的内齿圈和所述第二齿圈的外齿圈啮合。

进一步的，还包括驱动机构；

所述驱动机构至少包括驱动齿轮；

所述第一齿圈上还设置有外齿圈，所述驱动齿轮和所述外齿圈啮合。

进一步的，所述驱动机构还包括电机和减速机；

所述减速机具有输入端和输出端，所述电机的电机轴同轴连接于所述输入端，所述驱动齿轮同轴连接于所述输出端。

进一步的，还包括轴承；

所述第一齿圈通过所述轴承呈可转动状态的设置在所述圆环槽内。

进一步的，还包括键销；

所述第二齿圈上设置有第二键槽，其中，所述第二键槽和所述第二齿圈的内环面相交；

所述支撑台上设置有第三键槽，其中，所述第三键槽和所述圆环槽相通；

当所述第二键槽和所述第三键槽相通时，所述键销的其中一部分可设置在所述第二键槽内，所述键销的其中另一部分可设置在所述第三键槽内。

进一步的，所述圆环槽内还设置有承压块和多个万向滚珠；

多个所述万向滚珠分别呈固定状态的设置在所述圆环槽内，其中，任一个万向滚珠分别具有滚珠部件，多个所述滚珠部件的其中一点设置在同一个支撑平面上，所述整平机构的伸缩方向垂直于所述支撑平面；

所述承压块呈圆柱状，所述承压块固定设置在所述圆环槽内，其中，所述承压块的其中一端的端面为承压端面，所述承压端面和所述支撑平面共面，或者所述支撑平面设置在所述承压端面和所述整平机构之间、且所述承压端面与所述支撑平面之间的间距小于四分之一的所述滚珠部件的半径。

进一步的，还包括控制机构；

所述控制机构和所述驱动机构电性连接，其中，所述控制机构用于所述驱动机构的启停。

上述技术方案具有如下优点或者有益效果：

本实用新型提供的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，通过将整平机构相对于支撑台上的圆环槽形成定位、以及通过圆环槽限制任一个垫块的移动方向、以及通过在垫块上设置定位部件，使得铝钪靶材通过定位部件设置在垫块上时，铝钪靶材相对于垫块形成了第一次定位，进而通过移动垫块，使得铝钪靶材能够沿着圆环槽移动到整平机构和支撑台之间，铝钪靶材相对于整平机构形成了第二次定位；尤其在多个垫块上分别设置有铝钪靶材的情况下，工作人员仅需要按照垫块沿着圆环槽的移动次序，依次的将任一个垫块移动到整平机构和支撑台之间，即可形成多个铝钪靶材分别相对于整平机构的定位；相对于现有技术中的靶材与整平构件的定位方式，本实施例的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，操作的步骤减少，进而操作的时间减少，从而提高了多个铝钪靶材相对整平构件的定位效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置的其中一个视角的一部分结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的定位部件的分体结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的定位部件的分体结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的第一齿圈、第二齿圈和轴承的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置的一部分结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置的一部分结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的垫块和定位部件的结构示意图；

图9为本实用新型实施例提供的整平机构的结构示意图；

图10为本实用新型实施例提供的万向滚珠的结构示意图；

图11为图6的A部放大图；

图12为本实用新型实施例提供的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置的电性连接图。

具体实施方式

实施例1：

在本实施例中，参见图1、图2、图6、图7、图8、图9，提供一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，包括支撑台1、多个可活动的垫块2、可伸缩的整平机构3；

整平机构3设置在支撑台1上，其中，整平机构3的伸缩方向垂直于支撑台1的台面；

支撑台1上设置有圆环槽4，其中，多个垫块2分别可活动的设置在圆环槽4内，相邻的两个垫块2之间留有间距；

垫块2上设置有定位部件5，其中，定位部件5用于将圆盘状铝钪靶材定位在垫块2上，铝钪靶材的轮廓位于垫块2的轮廓内；

任一个垫块2分别能够沿着圆环槽4移动至整平机构3和支撑台1之间，其中，整平机构3具有舒张状态和收缩状态，当整平机构3呈舒张状态时，整平机构3和垫块2的间距减小，当整平机构3呈收缩状态时，整平机构3和垫块2的间距增大。

其中，整平机构3设置在支撑台1上；整平机构3可以采用现有技术(除了特别指出的现有技术的名称之外，以下内容中，现有技术均为一种靶材整平装置，其申请号为：201620435977.0)中的方式，例如：主轴和整平构件(包括升降油缸和整平块)，整平块可以通过升降油缸的驱动而进行升降操作；但是，该主轴应当作为龙门架的一部分，且主轴相对于支撑台1呈固定的、不可移动的状态，可以使得整平机构3相对于圆环槽4形成定位。也就是说，整平机构3进行伸缩运动的方向，和圆环槽4应当形成相互垂直且相交的状态，从而其中一个垫块2通过圆环槽4移动到整平机构3和支撑台1之间的位置时，整平机构3相对于垫块2形成定位。

当前述的垫块2上设置有铝钪靶材时，整平块在下降的过程中，整平块可接触到其中一个垫块2上的铝钪靶材，整平块在升降油缸的继续驱动下对铝钪铝钪靶材施加压力；此时，铝钪靶材的其中一面受到了整平块的压力，铝钪靶材的其中另一面受到了垫块2和支撑台1的反作用力，从而实现铝钪靶材的整平过程。

优选的，整平块应当设置为圆柱状或圆饼状，从而使得整平块能够在覆盖铝钪靶材(以下简称铝钪靶材)的同时，从而减少整平块的重量，且能够适应圆盘状的铝钪靶材的形状；更优选的，可以针对厚度不同的靶材设置整平块，例如，如果铝钪靶材的厚度比较薄，且矮于定位部件5，那么，整平块的轮廓应当小于铝钪靶材的轮廓，从而使得整平块接触到铝钪靶材时，整平块的轮廓可完全容纳在铝钪靶材的轮廓内，避免整平块被前述的定位部件5干扰；又如，如果铝钪靶材的厚度比较厚、且高于定位部件5，那么，整平块的轮廓可略大于铝钪靶材的轮廓，从而使得整平块接触到铝钪靶材时，整平块的轮廓可完全覆盖铝钪靶材的轮廓，但又避免了被定位部件5干扰。

铝钪靶材可设置在任一个垫块2上，由于垫块2上设置有定位部件5，从而使得铝钪靶材相对于垫块2本身形成了第一次定位。

以及，任一个垫块2可分别通过圆环槽4移动到整平机构3和支撑台1之间，例如：当支撑台1的台面沿着水平方向设置时，垫块2的下方为支撑台1，垫块2的上方为整平机构3，从而使得垫块2本身相对于整平机构3形成了第二次的定位，间接的使得位于垫块2上的铝钪靶材相对于整平机构3形成了定位。

多个垫块2分别设置在圆环槽4内，使得圆环槽4限制了多个垫块2的移动方向；也就数说，任一个垫块2分别仅能够在圆环槽4内进行移动，并且沿着圆环槽4的顺时针或逆时针方向进行移动时，任一个垫块2必然能够移动到整平机构3和支撑台1之间。

应当理解的是，为了减少相邻的两个垫块2之间的摩擦，应当将相邻的两个垫块2之间留有间距，从而避免垫块2的直接摩擦；与之对应的是，应当同样减少垫块2和圆环槽4之间的摩擦，即，垫块2和圆环槽4之间应当留有间隙。

铝钪靶材可以通过定位部件5设置在垫块2上，但是，铝钪靶材应当完全容纳在垫块2的轮廓内，也就是说，铝钪靶材不能够超出垫块2的轮廓，否则，铝钪靶材可能造成与支撑台1发生摩擦的负面效果。具体的，根据选取的定位部件5的不同，可以限定铝钪靶材的尺寸，从而避免尺寸过大的铝钪靶材设置在本实施例中的垫块2上。

以下内容针对于一个铝钪靶材进行定位的场景对比：

现有技术中，当一个靶材设置在工作台上时，工作人员需要操控其主轴沿着Y轴移动，并且还需要操控其整平构件沿着X轴移动，才能够使得整平构件相对于一个靶材形成定位。

而在本实施例中，工作人员只需要操控设置有铝钪靶材的垫块2移动到整平机构3和支撑台1之间，即可形成铝钪靶材相对于整平机构3的定位。相对于现有技术，至少减少了一次沿着X轴或Y轴移动的过程。

以下内容正对于多个铝钪靶材进行定位的场景对比：

现有技术中，当多个靶材分别设置在工作台上时，工作人员需要对第一个靶材进行定位，即工作人员需要至少操作一次主轴沿着Y轴移动，以及至少操作一次整平构件沿着X轴移动，从而形成对第一个靶材的定位；接着，工作人员还需要进行第二个靶材、第三个靶材……分别进行定位，也就是说，工作人员需要多次操作主轴沿着Y轴移动，以及，多次操作整平构件沿着X轴移动，从而分别形成对第二个靶材、第三个靶材……的定位。

而在本实施例中，工作人员只需要操控设置有铝钪靶材的多个垫块2，依次移动到整平机构3和支撑台1之间，即可形成任一个铝钪靶材相对于整平机构3的定位。相对于现有技术，至少减少了多次的沿着X轴或Y轴移动的过程。

根据前文所有内容的描述，已经可以得知，本实施例的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，通过将整平机构相对于支撑台上的圆环槽形成定位、以及通过圆环槽限制任一个垫块的移动方向、以及通过在垫块上设置定位部件，使得铝钪靶材通过定位部件设置在垫块上时，铝钪靶材相对于垫块形成了第一次定位，进而通过移动垫块，使得铝钪靶材能够沿着圆环槽移动到整平机构和支撑台之间，铝钪靶材相对于整平机构形成了第二次定位；尤其在多个垫块上分别设置有铝钪靶材的情况下，工作人员仅需要按照垫块沿着圆环槽的移动次序，依次的将任一个垫块移动到整平机构和支撑台之间，即可形成多个铝钪靶材分别相对于整平机构的定位；相对于现有技术中的靶材与整平构件的定位方式，本实施例的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，操作的步骤减少，进而操作的时间减少，从而提高了多个铝钪靶材相对整平构件的定位效率。

进一步的，在本实施例中，参见图3、图4、图8，定位部件5具体为多个可伸缩的定位块；

多个定位块分别设置在同一个定位圆周上，其中，沿着定位圆周的顺时针或逆时针方向，相邻的两个定位块的间距相同；

定位圆周具有圆心处，其中，任一个定位块分别具有舒张状态和收缩状态，当任一个定位块呈舒张状态时，定位块的舒张方向指向圆心处。

任一个定位块应当突出于垫块2的表面，从而使得多个定位块的其中一面和垫块2的表面分别对铝钪靶材形成限制作用，其中，当铝钪靶材设置在多个定位块之间时，铝钪靶材的底部接触到垫块2的表面，而铝钪靶材的侧部可分别接触多个定位块、或者铝钪靶材的侧部可接触其中一部分定位块、或者铝钪靶材的侧部可分别与任一个定位块留有间隙。

由于本实施例的定位对象之一是圆盘状的铝钪靶材，所以，将多个定位块分别设置在同一个定位圆周上，从而便于尺寸匹配的铝钪靶材可以设置在多个定位块之间。

多个定位块中，相邻的两个定位块的间距相同；例如：当四个定位块分别设置在同一个定位圆周上时，相邻的两个定位块分别与定位圆周的圆心形成90°夹角，从而使得相邻的两个定位块沿着定位圆周的间距为四分之一的定位圆周的长度；又如：当留个定位块分别设置在同一个定位圆周上时，相邻的两个定位块分别与定位圆周的圆心形成60°夹角，从而使得相邻的两个定位块沿着定位圆周的间距为六分之一的定位圆周的长度。采用这种设置方式，便于将多个定位块相对于垫块2进行定位和固定，从而使得多个定位块所限制的铝钪靶材相对于垫块2的定位更加精确。

本实施例中的定位块为具有伸缩功能的定位块。具有伸缩功能的定位块，其应当包括固定部和伸缩部，其中，固定部相对于垫块2为固定连接状态，而伸缩部相对于垫块2呈活动连接状态。当多个具有伸缩功能的定位块实际设置在垫块2上、且铝钪靶材设置在多个具有伸缩功能的定位块之间时，任一个定位块分别能够与铝钪靶材接触；也就是说，任一个定位块的伸缩部相对于固定部呈舒张状态时，伸缩部的舒张方向为沿着固定部指向定位圆周的圆形方向，反之，任一个定位块的伸缩部相对于固定部呈收缩状态时，伸缩部的收缩方向为沿着定位圆周的圆心指向固定部的方向；采用这种设置方式，可以使得每一个定位块的伸缩部分别能够接触到铝钪靶材的侧部，从而使得铝钪靶材通过多个定位块固定在垫块2的表面。铝钪靶材可以受到多个定位块的挤压，从而能够更好的固定在垫块2上，当垫块2在移动的过程中(尤其是从启动到静止的过程、以及静止到启动的过程)，避免铝钪靶材相对于垫块2出现位移，从而避免铝钪靶材的其中一个表面(铝钪靶材与垫块2接触的表面)相对于垫块2形成摩擦而造成损伤。

进一步的，在本实施例中，为了便于本领域技术人员的理解，提出一种优选的定位块，该定位块适合应用在本实施例的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置中。

具体的，参见图3或图4，定位块包括固定螺栓501、活动压块502、固定压块503、螺旋弹簧504、导向部件505和连接螺栓506；

固定压块503通过固定螺栓501设置在垫块2上；

活动压块502通过连接螺栓506可活动的连接于固定压块503，其中，活动压块502和固定压块503之间设置有导向部件505和螺旋弹簧504，导向部件505的其中一端可设置在活动压块502上，导向部件505的其中另一端可活动的穿透固定压块503，螺旋弹簧504套设在导向部件505上，螺旋弹簧504的两端分别可接触固定压块503和导向部件505。

其中，固定压块503上设置有定位通孔508，与之对应的是，在垫块2的其中一个表面设置有螺纹孔，固定螺栓501可穿透固定压块503上的定位通孔508、再与垫块2上的螺纹孔连接，从而形成固定压块503相对于垫块2的固定连接状态。

以及，在固定压块503上设置有连接通孔507，与之对应的是，在活动压块502上设置螺纹盲孔509，连接螺栓506可穿透固定压块503上的连接通孔507、且连接于活动压块502上的螺纹盲孔509即可；这种设置下，活动压块502通过连接螺栓506相对于固定压块503呈可活动状态，但同时呈不可脱离状态，除非将连接螺栓506与螺纹盲孔509分离。

还有，在活动压块502和固定压块503之间设置有导向部件505；导向部件505可以采用现有技术中的多种方式，包括但不限于导向杆、导向柱(销)等；在本实施例中，提供一种优选的导向部件505，其包括第一钉头部510和第二钉头部511，第一钉头部510和第二钉头部511之间留有第一间距，在第一钉头部510或第二钉头部511的其中一个端面上设置有导向杆514，导向杆514与第一钉头部510和第二钉头部511同轴：与之对应的是，在前述的活动压块502上设置有导向槽512，第一钉头部510可插入到导向槽512内，第二钉头部511和导向杆514应当设置在导向槽512的外部；在固定压块503上还应当设置有导向孔513，导向杆514可穿透该导向孔513，从而在活动压块502相对于固定压块503呈收缩状态时，活动压块502可通过导向孔513相对于导向杆514形成滑动状态，使得活动压块502逐渐的接近固定压块503，反之，在活动压块502相对于固定压块503呈舒张状态时，活动压块502可通过导向孔513相对于导向杆514形成活动状态，使得活动压块502逐渐的远离固定压块503。由于前面已经提出，活动压块502通过连接螺栓506相对于固定压块503呈不可脱离的状态，从而使得导向杆514相对于导向孔513呈不可脱离状态，除非前述的连接螺栓506和螺纹盲孔509分离。

此外，螺旋弹簧504套设在导向部件505上，且螺旋弹簧504设置在活动压块502和固定压块503之间；具体的，前述的第一钉头部510设置为可插入到导向槽512内，第一钉头部510的作用是定位和定向作用，定位作用是将导向部件505通过导向槽512相对于活动压块502进行定位，定向作用是将设置在第二钉头部511上的导向杆514相对于前述的导向孔513进行定向，以及，此时的第二钉头部511，还具有垫片的作用，而螺旋弹簧504套设在导向杆514上，螺旋弹簧504的其中一端可接触到第二钉头部511，螺旋弹簧504的其中另一端可接触到活动压块502；这种设置方式下，当活动压块502和固定压块503呈收缩状态时，活动压块502挤压螺旋弹簧504，螺旋弹簧504产生轴向形变，但是，螺旋弹簧504的径向受到了导向杆514的限制，从而避免螺旋弹簧504在径向产生过量的形变；以及，在螺旋弹簧504安装或拆卸的过程中，由于螺旋弹簧504的其中一端接触到第二钉头部511，从而避免螺旋弹簧504的其中一端卡合在前述的导向槽512内，造成螺旋弹簧504的损伤。

在实际应用本实施例的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置时，圆盘状的铝钪靶材通过前述的定位块设置在垫块2上，并且通过前述的整平机构3进行整平的过程中，整平机构3对于铝钪靶材施加压力，铝钪靶材受到压力而产生形变，其中一部分的形变方向为沿着铝钪靶材的轴向(即铝钪靶材至垫块2的方向)，而其中另一部分的形变方向为沿着铝钪靶材的径向(即沿着铝钪靶材至定位块的方向)，所以，如果出现铝钪靶材沿着径向发生形变的现象(例如，半径或直径增大)，则可通过前述的活动垫块2相对于固定垫块2产生收缩状态，吸收铝钪靶材作用在定位块上的能量，而避免‘定位块’本身对铝钪靶材造成伤害。

进一步的，在本实施例中，如何让多个垫块2在圆环槽4内进行移动，成为要解决的技术问题之一。

参见图5、图6、图7，本实施例采取的技术方案为，圆环槽4内设置有第一齿圈6和第二齿圈7；

垫块2呈圆盘状；

第一齿圈6和第二齿圈7分别呈圆环状，第一齿圈6的直径大于第二齿圈7的直径，第一齿圈6和第二齿圈7同轴设置在圆环槽4内，其中，第一齿圈6相对于圆环槽4呈可转动状态，第二齿圈7相对于圆环槽4呈固定状态；

第一齿圈6设置有内齿圈，第二齿圈7设置有外齿圈，垫块2设置在第一齿圈6和第二齿圈7之间，其中，垫块2上的外齿圈分别与第一齿圈6的内齿圈和第二齿圈7的外齿圈啮合。

其中，第一齿圈6和第二齿圈7同轴设置，且第二齿圈7相对于圆环槽4呈固定设置状态，而第一齿圈6相对于圆环槽4呈可转动设置状态；并且，第一齿圈6的内齿圈和第二齿圈7的外齿圈分别可与垫块2的外齿圈啮合，当第一齿圈6相对于圆环槽4呈活动状态时，第一齿圈6驱动垫块2，使得垫块2在第一齿圈6和第二齿圈7之间呈自转动状态的相对于圆环槽4进行移动，且垫块2的移动路径为圆环槽4所限制的路径。

采用第一齿圈6和第二齿圈7分别与垫块2啮合，第一齿圈6可驱动垫块2产生自转，且垫块2在自转时，垫块2本身相对于第二齿圈7形成公转，从而使得垫块2呈转动状态的沿着圆环槽4进行移动，由于本实施例的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其作用的对象是圆盘状的铝钪靶材，且具有圆盘状的铝钪垫块2，圆盘状的铝钪靶材通过前述的定位块定位在垫块2上，使得铝钪靶材相对于垫块2可形成同轴状态，当铝钪靶材通过垫块2而移动到整平机构3和支撑台1之间时，铝钪靶材依然可与整平机构3形成定位状态。

进一步的，在本实施例中，如何驱动第一齿圈6相对于圆环槽4呈可转动状态，优选的采用如下方案。

参见图1、图6、图7、图12，还包括驱动机构8；

驱动机构8至少包括驱动齿轮801；

第一齿圈6上还设置有外齿圈，驱动齿轮801和外齿圈啮合。

驱动机构8通过驱动齿轮801和第一齿圈6的外齿圈啮合，当驱动齿轮801通过驱动机构8的动能输出而产生转动时，驱动齿轮801可带动第一齿圈6进行转动，反之，当驱动齿轮801停止转动时(即驱动机构8停止输出动能时)，第一齿圈6停止转动。

进一步的，参见图1、图6、图12在本实施例中，驱动机构8还包括电机802和减速机803；

减速机803具有输入端和输出端，电机802的电机802轴同轴连接于输入端，驱动齿轮801同轴连接于输出端。

其中，电机802的作用是提出输出动能，从而能够驱动前述的驱动齿轮801进行转动；减速机803的作用是接收电机802的输出动能，并且按照预设的齿轮比输出作用到驱动齿轮801的动能；驱动齿轮801可通过减速机803获得转速比较小而转矩或转速，从而在设计本实施例的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置时，可以针对不同型号的铝钪靶材和/或垫块2，通过改变减速机803的型号而获得不同的转矩和转速，以适应垫块2和/或铝钪靶材的转速要求。

进一步的，如何实现第一齿圈6相对于圆环槽4呈可转动状态，减小第一齿圈6相对于圆环槽4的摩擦，优选的采用如下方案实现。

参见图5，还包括轴承9；

第一齿圈6通过轴承9呈可转动状态的设置在圆环槽4内。

具体的，在第一齿圈6上设置有圆环状的凸缘，凸缘和第一齿圈6同轴设置、且凸缘相对于第一齿圈6的突出方向为沿着第一齿圈6的圆心至第一齿圈6的圆周方向；轴承9呈圆环状，且轴承9设置在圆环槽4内，沿着轴承9的径向，将第一齿圈6设置在轴承9上，此时，第一齿圈6的凸缘接触到轴承9的其中一面，而第一齿圈6的齿部可穿透轴承9；这种设置下，第一齿圈6可通过轴承9相对于圆环槽4转动，且通过轴承9减少了与圆环槽4的摩擦；此外，前述的驱动齿轮801可与穿透轴承9的第一齿圈6的外齿圈啮合，驱动齿轮801和轴承9之间互不干扰。

进一步的，如何实现第二齿圈7相对于圆环槽4呈固定连接状态，优选的采用如下方案实现。

参见图11，还包括键销10；

第二齿圈7上设置有第二键槽701，其中，第二键槽701和第二齿圈7的内环面相交；

支撑台1上设置有第三键槽101，其中，第三键槽101和圆环槽4相通；

当第二键槽701和第三键槽101相通时，键销10的其中一部分可设置在第二键槽701内，键销10的其中另一部分可设置在第三键槽101内。

当第二齿圈7相对于圆环槽4产生转动趋势时，第二齿圈7通过第二检测受到键销10的阻挡，而键销10通过第三键槽101受到支撑台1的阻挡，从而使得第二齿圈7在圆周方向上相对于支撑台1形成了固定状态，间接的使得第二齿圈7相对于圆环槽4形成了固定状态。

进一步的，为了减少前述的垫块2在转动和移动过程中，出现垫块2与圆环槽4(支撑台1)的直接摩擦的技术问题，优选的采用如下方案实现。

参见图2、图7、图10，圆环槽4内还设置有承压块11和多个万向滚珠12；

多个万向滚珠12分别呈固定状态的设置在圆环槽4内，其中，任一个万向滚珠12分别具有滚珠部件，多个滚珠部件的其中一点设置在同一个支撑平面上，整平机构3的伸缩方向垂直于支撑平面；

承压块11呈圆柱状，承压块11固定设置在圆环槽4内，其中，承压块11的其中一端的端面为承压端面，承压端面和支撑平面共面，或者支撑平面设置在承压端面和整平机构3之间、且承压端面与支撑平面之间的间距小于四分之一的滚珠部件的半径。

其中，第一种方案为：多个万向滚珠12的其中一点设置在同一个支撑平面上，且该支撑平面与承压块11的承压端面共面，这种方案下，垫块2可通过多个万向滚珠12在圆环槽4内相对于支撑台1呈滑动状态，从而减少了垫块2与支撑台1之间的摩擦，同时，垫块2可以平滑的从万向滚珠12上平移到承压块11的承压端面上，从而当前述的整平机构3对于铝钪靶材施加压力时，铝钪靶材的其中一面可受到整平机构3的压力，而铝钪靶材的其中另一面可受到来自支撑台1和承压块11的反作用力，这种方式可以避免铝钪靶材的其中另一面受到万向滚珠12的反作用力而产生形变，从而避免铝钪靶材在受到整平机构3的压力时对铝钪靶材形成伤害。

第二种方案为：多个万向滚珠12的其中一点设置在同一个支撑平面上，且该支撑平面与承压块11的承压端面之间具有合理的间距；区别于前述的第一种方案，垫块2从万向滚珠12移动至承压块11的过程中，略微的出现沿着垫块2至支撑台1方向的移动过程，且在垫块2从承压块11移动至万向滚珠12的过程中，略微的出现沿着支撑台1至垫块2方向的移动过程，这种设置方式可以适应型号不同的铝钪靶材(主要是厚度)和型号不同的垫块2(主要是厚度)，使得铝钪靶材和垫块2的组合物具有更加宽广的设计空间。

进一步的，参见图12，在本实施例中，还包括控制机构13；

控制机构13和驱动机构8电性连接，其中，控制机构13用于驱动机构8的启停。

控制机构13可以采用如PLC控制机构或单片机控制机构，这是本领域技术人员的公知常识，这里不在赘述。

采用控制机构13，可以控制驱动机构8的启停，其目的是，通过控制驱动机构8的启停而实现控制垫块2相对于圆环槽4的活动或静止，以便于垫块2按照预设条件移动到整平机构3和支撑台1之间。例如：可以采用限位传感器的方式，比如红外传感器，在垫块2上设置有反光部件，而在支撑台1上设置有红外收发器，通过红外收发器和反光部件形成信号触发机构，当控制机构13接收到信号触发机构的触发信号时，断开驱动机构8的电能，从而控制其中一个垫块2移动到整平机构3和支撑台1之间的预设位置而静止。

此外，还可以通过控制机构13通过时间参数控制驱动机构8的启停，例如：计算出任一个垫块2的位移时间，该位移时间为：沿着顺时针或逆时针方向，当其中一个垫块2(在先垫块2)位于整平机构3和支撑台1之间时，在后垫块2通过驱动机构8和第一齿圈6、第二齿圈7的驱动而到达在先垫块2处的时间长度；控制机构13根据所有的位移时间进行间歇的启停驱动机构8，从而实现任一个垫块2在到达整平机构3和支撑台1之间的预设位置而静止。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，包括支撑台(1)、多个可活动的垫块(2)、可伸缩的整平机构(3)；

所述整平机构(3)设置在所述支撑台(1)上，其中，所述整平机构(3)的伸缩方向垂直于所述支撑台(1)的台面；

所述支撑台(1)上设置有圆环槽(4)，其中，多个所述垫块(2)分别可活动的设置在所述圆环槽(4)内，相邻的两个垫块(2)之间留有间距；

所述垫块(2)上设置有定位部件(5)，其中，所述定位部件(5)用于将所述圆盘状铝钪靶材定位在所述垫块(2)上，所述铝钪靶材的轮廓位于所述垫块(2)的轮廓内；

任一个所述垫块(2)分别能够沿着所述圆环槽(4)移动至所述整平机构(3)和所述支撑台(1)之间，其中，所述整平机构(3)具有舒张状态和收缩状态，当所述整平机构(3)呈舒张状态时，所述整平机构(3)和所述垫块(2)的间距减小，当所述整平机构(3)呈收缩状态时，所述整平机构(3)和所述垫块(2)的间距增大。

2.根据权利要求1所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述定位部件(5)具体为多个可伸缩的定位块；

多个所述定位块分别设置在同一个定位圆周上，其中，沿着所述定位圆周的顺时针或逆时针方向，相邻的两个定位块的间距相同；

所述定位圆周具有圆心处，其中，任一个所述定位块分别具有舒张状态和收缩状态，当任一个所述定位块呈舒张状态时，所述定位块的舒张方向指向所述圆心处。

3.根据权利要求2所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述定位块包括固定螺栓(501)、活动压块(502)、固定压块(503)、螺旋弹簧(504)、导向部件(505)和连接螺栓(506)；

所述固定压块(503)通过固定螺栓(501)设置在所述垫块(2)上；

所述活动压块(502)通过连接螺栓(506)可活动的连接于所述固定压块(503)，其中，所述活动压块(502)和所述固定压块(503)之间设置有导向部件(505)和螺旋弹簧(504)，所述导向部件(505)的其中一端可设置在所述活动压块(502)上，所述导向部件(505)的其中另一端可活动的穿透所述固定压块(503)，所述螺旋弹簧(504)套设在所述导向部件(505)上，所述螺旋弹簧(504)的两端分别可接触所述固定压块(503)和所述导向部件(505)。

4.根据权利要求1所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述圆环槽(4)内设置有第一齿圈(6)和第二齿圈(7)；

所述垫块(2)呈圆盘状；

所述第一齿圈(6)和所述第二齿圈(7)分别呈圆环状，所述第一齿圈(6)的直径大于所述第二齿圈(7)的直径，所述第一齿圈(6)和所述第二齿圈(7)同轴设置在所述圆环槽(4)内，其中，所述第一齿圈(6)相对于所述圆环槽(4)呈可转动状态，所述第二齿圈(7)相对于所述圆环槽(4)呈固定状态；

所述第一齿圈(6)设置有内齿圈，所述第二齿圈(7)设置有外齿圈，所述垫块(2)设置在所述第一齿圈(6)和所述第二齿圈(7)之间，其中，所述垫块(2)上的外齿圈分别与所述第一齿圈(6)的内齿圈和所述第二齿圈(7)的外齿圈啮合。

5.根据权利要求4所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，还包括驱动机构(8)；

所述驱动机构(8)至少包括驱动齿轮(801)；

所述第一齿圈(6)上还设置有外齿圈，所述驱动齿轮(801)和所述外齿圈啮合。

6.根据权利要求5所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述驱动机构(8)还包括电机(802)和减速机(803)；

所述减速机(803)具有输入端和输出端，所述电机(802)的电机(802)轴同轴连接于所述输入端，所述驱动齿轮(801)同轴连接于所述输出端。

7.根据权利要求4所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，还包括轴承(9)；

所述第一齿圈(6)通过所述轴承(9)呈可转动状态的设置在所述圆环槽(4)内。

8.根据权利要求4所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，还包括键销(10)；

所述第二齿圈(7)上设置有第二键槽，其中，所述第二键槽和所述第二齿圈(7)的内环面相交；

所述支撑台(1)上设置有第三键槽，其中，所述第三键槽和所述圆环槽(4)相通；

当所述第二键槽和所述第三键槽相通时，所述键销(10)的其中一部分可设置在所述第二键槽内，所述键销(10)的其中另一部分可设置在所述第三键槽内。

9.根据权利要求1所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述圆环槽(4)内还设置有承压块(11)和多个万向滚珠(12)；

多个所述万向滚珠(12)分别呈固定状态的设置在所述圆环槽(4)内，其中，任一个万向滚珠(12)分别具有滚珠部件，多个所述滚珠部件的其中一点设置在同一个支撑平面上，所述整平机构(3)的伸缩方向垂直于所述支撑平面；

所述承压块(11)呈圆柱状，所述承压块(11)固定设置在所述圆环槽(4)内，其中，所述承压块(11)的其中一端的端面为承压端面，所述承压端面和所述支撑平面共面，或者所述支撑平面设置在所述承压端面和所述整平机构(3)之间、且所述承压端面与所述支撑平面之间的间距小于四分之一的所述滚珠部件的半径。

10.根据权利要求5所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，还包括控制机构(13)；

所述控制机构(13)和所述驱动机构(8)电性连接，其中，所述控制机构(13)用于所述驱动机构(8)的启停。

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