CN214770940U

CN214770940U - 一种靶材打磨防护装置

Info

Publication number: CN214770940U
Application number: CN202022722132.9U
Authority: CN
Inventors: 曹兴民
Original assignee: Suzhou Luonaer Material Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Luonaer Material Technology Co ltd
Priority date: 2020-11-23
Filing date: 2020-11-23
Publication date: 2021-11-19
Anticipated expiration: 2030-11-23

Abstract

本实用新型公开了一种靶材打磨防护装置，涉及打磨装置技术领域，具体为一种靶材打磨防护装置，包括支撑台，所述支撑台的左侧固定安装有正反转电机，且正反转电机的输出轴固定安装有调节丝杆，且调节丝杆的外部螺纹套接有调节底座，所述调节底座的内部固定套装有驱动电机。该靶材打磨防护装置，通过正反转电机带动调节丝杆转动带动调节底座以及驱动电机移动，使驱动电机外部二级密封管的一端与辅助防护套管相互接触，在驱动电机带动输出轴上的打磨盘转动对靶材杆一端进行打磨时，通过一级密封管、二级密封管以及辅助防护套管进行防护，防止打磨时粉尘颗粒粘附在靶材杆中段对靶材杆造成影响，提高靶材杆打磨后的质量。

Description

一种靶材打磨防护装置

技术领域

本实用新型涉及打磨装置技术领域，具体为一种靶材打磨防护装置。

背景技术

在显示面板例如G8.6代液晶面板制造领域ITO镀膜制程中，由于玻璃长宽小于旋转靶材的长度，镀膜时靶材中下部分蚀刻速度较顶部快，会造成旋转靶材顶部与中下部分存在段差，段差的存在导致局部成膜不均匀，影响良率。

相关技术中，通常会使用手持打磨机对靶材顶部进行打磨，以消除靶材顶部与中下部分的段差。但是在对靶材端面打磨时，被砂轮高速旋转甩出的靶材颗粒容易粘附于靶材中段，造成靶材污染，导致靶材质量降低，此外，打磨过程中产生的粉尘颗粒会向外部逸散，对周围环境造成影响，同时对工作人员造成危害，为此，我们提出一种靶材打磨防护装置以解决上述提出的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种靶材打磨防护装置，具有提高靶材加工质量、提高防护性能等优点，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上提高靶材加工质量、提高防护性能的目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种靶材打磨防护装置，包括支撑台，所述支撑台的左侧固定安装有正反转电机，且正反转电机的输出轴固定安装有调节丝杆，且调节丝杆的外部螺纹套接有调节底座，所述调节底座的内部固定套装有驱动电机，且驱动电机的输出轴上固定安装有打磨盘，所述驱动电机的外部固定套装有一级密封管，且一级密封管的外部固定安装有固定环，所述一级密封管的外部活动套接有二级密封管，所述固定环的侧面活动安装有导向杆，且导向杆的一端与二级密封管固定连接，所述导向杆的外部活动套接有压缩弹簧，所述支撑台顶部的后方固定安装有处理箱，且处理箱的侧面固定安装有吸气泵，所述吸气泵的输入端固定安装有导气管，且导气管的一端与二级密封管固定连接，所述处理箱的内部卡接有过滤板，所述支撑台内部的左侧固定安装有三爪卡盘，且三爪卡盘的中部固定安装有靶材杆，且靶材杆的外部固定安装有辅助防护套管。

优选的，所述调节丝杆位于调节底座前后两侧的中部，所述调节底座的底部活动安装有滑轮，所述调节底座下方支撑台的顶部开设有与滑轮相互配合的滑槽。

优选的，所述驱动电机与三爪卡盘处于同一中轴线上，所述驱动电机输出轴上打磨盘的直径值大于靶材杆的直径值。

优选的，所述导向杆、压缩弹簧均匀分布于二级密封管的一端，所述二级密封管的内径值与一级密封管的外径值相同，所述二级密封管的外径值与辅助防护套管的外径值相同。

优选的，所述过滤板均匀分布于处理箱的内部，所述处理箱的内部设置有与过滤板相互配合的卡槽，所述处理箱的顶部设置有防护顶板，且防护顶板的顶部设置有锁扣。

优选的，所述辅助防护套管的内部固定套装有橡胶套，所述辅助防护套管的外部螺纹套接有锁紧螺杆。

本实用新型提供了一种靶材打磨防护装置，具备以下有益效果：

1、该靶材打磨防护装置，通过正反转电机带动调节丝杆转动带动调节底座以及驱动电机移动，使驱动电机外部二级密封管的一端与辅助防护套管相互接触，在驱动电机带动输出轴上的打磨盘转动对靶材杆一端进行打磨时，通过一级密封管、二级密封管以及辅助防护套管进行防护，防止打磨时粉尘颗粒粘附在靶材杆中段对靶材杆造成影响，提高靶材杆打磨后的质量，另外通过导向杆外部的压缩弹簧对二级密封管施加弹力，保证在驱动电机带动打磨盘移动对靶材杆打磨时二级密封管一端始终与辅助防护套管接触，保证了二级密封管防护性能。

2、该靶材打磨防护装置，在驱动电机带动打磨盘转动对靶材杆端面打磨时，通过吸气泵将二级密封管内部打磨产生的粉尘吸入处理箱内部，通过处理箱内部的过滤板对粉尘进行过滤吸附处理，防止粉尘向外部逸散对环境造成影响，同时防止粉尘对工作人员造成危害，提高该装置的防护性能。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型调节底座侧面的结构示意图；

图3为本实用新型一级密封管外部的结构示意图；

图4为本实用新型调节底座的结构示意图。

图中：1、支撑台；2、正反转电机；3、调节丝杆；4、调节底座；5、驱动电机；6、打磨盘；7、一级密封管；8、二级密封管；9、导向杆；10、压缩弹簧；11、固定环；12、处理箱；13、吸气泵；14、导气管；15、过滤板；16、三爪卡盘；17、辅助防护套管；18、靶材杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种靶材打磨防护装置，包括支撑台1，支撑台1的左侧固定安装有正反转电机2，且正反转电机2的输出轴固定安装有调节丝杆3，且调节丝杆3的外部螺纹套接有调节底座4，调节丝杆3位于调节底座4前后两侧的中部，调节底座4的底部活动安装有滑轮，调节底座4下方支撑台1的顶部开设有与滑轮相互配合的滑槽，通过正反转电机2带动调节丝杆3转动带动调节底座4与驱动电机5、打磨盘6移动对靶材杆18端面进行打磨，保证了该装置的有效性，通过调节底座4底部的滑轮对调节底座4支撑，防止调节底座4长时间压迫调节丝杆3导致调节丝杆3弯折，另外通过滑槽对滑轮以及调节底座4进行限制，保证了调节底座4移动时的稳定性，调节底座4的内部固定套装有驱动电机5，且驱动电机5的输出轴上固定安装有打磨盘6，驱动电机5与三爪卡盘16处于同一中轴线上，驱动电机5输出轴上打磨盘6的直径值大于靶材杆18的直径值，驱动电机5与三爪卡盘16处于同一中轴线上，保证在驱动电机5带动打磨盘6移动时可以对靶材杆18进行打磨，保证了该组织的有效性，另外打磨盘6直径值大于靶材杆18的直径值，保证打磨盘6可以对靶材杆18端面全方位进行打磨，驱动电机5的外部固定套装有一级密封管7，且一级密封管7的外部固定安装有固定环11，一级密封管7的外部活动套接有二级密封管8，固定环11的侧面活动安装有导向杆9，且导向杆9的一端与二级密封管8固定连接，导向杆9的外部活动套接有压缩弹簧10，导向杆9、压缩弹簧10均匀分布于二级密封管8的一端，二级密封管8的内径值与一级密封管7的外径值相同，二级密封管8的外径值与辅助防护套管17的外径值相同，在驱动电机5带动输出轴上的打磨盘6转动对靶材杆18一端进行打磨时，通过一级密封管7、二级密封管8以及辅助防护套管17进行防护，防止打磨时粉尘颗粒粘附在靶材杆18中段对靶材杆18造成影响，提高靶材杆18打磨后的质量，通过导向杆9外部的压缩弹簧10对二级密封管8施加弹力，保证在打磨中驱动电机5带动打磨盘6移动时，二级密封管8一端始终与辅助防护套管17接触，保证了二级密封管8防护性能与有效性，支撑台1顶部的后方固定安装有处理箱12，且处理箱12的侧面固定安装有吸气泵13，吸气泵13的输入端固定安装有导气管14，且导气管14的一端与二级密封管8固定连接，处理箱12的内部卡接有过滤板15，支撑台1内部的左侧固定安装有三爪卡盘16，且三爪卡盘16的中部固定安装有靶材杆18，且靶材杆18的外部固定安装有辅助防护套管17，过滤板15均匀分布于处理箱12的内部，处理箱12的内部设置有与过滤板15相互配合的卡槽，处理箱12的顶部设置有防护顶板，且防护顶板的顶部设置有锁扣，在驱动电机5带动打磨盘6转动对靶材杆18端面打磨时，通过吸气泵13将二级密封管8内部打磨产生的粉尘吸入处理箱12内部，通过处理箱12内部的过滤板15对粉尘进行过滤吸附处理，防止粉尘向外部逸散对环境造成影响，同时防止粉尘对工作人员造成危害，提高该装置的防护性能，辅助防护套管17的内部固定套装有橡胶套，辅助防护套管17的外部螺纹套接有锁紧螺杆，通过在辅助防护套管17的外部加装橡胶套，提高了辅助防护套管17与靶材杆18接触面的密封性，防止粉尘向外部逸散，保证了该装置的有效性。

综上，该靶材打磨防护装置，使用时，将靶材杆18安装在三爪卡盘16内部，并通过锁紧螺杆将辅助防护套管17安装在靶材杆18一端，通过驱动电机5带动打磨盘6转动对靶材杆18一端进行打磨，通过正反转电机2带动调节丝杆3转动，带动调节底座4以及驱动电机5移动，使驱动电机5外部二级密封管8的一端与辅助防护套管17接触，通过导向杆9外部的压缩弹簧10对二级密封管8施加弹力，保证在打磨驱动电机5移动时二级密封管8始终与辅助防护套管17接触，通过一级密封管7、二级密封管8以及辅助防护套管17防护，防止粉尘向外部逸散，吸气泵13工作将二级密封管8内部粉尘吸入处理箱12内部，通过过滤板15对粉尘进行过滤吸附，然后将处理后的气体排出，即可。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种靶材打磨防护装置，包括支撑台（1），其特征在于：所述支撑台（1）的左侧固定安装有正反转电机（2），且正反转电机（2）的输出轴固定安装有调节丝杆（3），且调节丝杆（3）的外部螺纹套接有调节底座（4），所述调节底座（4）的内部固定套装有驱动电机（5），且驱动电机（5）的输出轴上固定安装有打磨盘（6），所述驱动电机（5）的外部固定套装有一级密封管（7），且一级密封管（7）的外部固定安装有固定环（11），所述一级密封管（7）的外部活动套接有二级密封管（8），所述固定环（11）的侧面活动安装有导向杆（9），且导向杆（9）的一端与二级密封管（8）固定连接，所述导向杆（9）的外部活动套接有压缩弹簧（10），所述支撑台（1）顶部的后方固定安装有处理箱（12），且处理箱（12）的侧面固定安装有吸气泵（13），所述吸气泵（13）的输入端固定安装有导气管（14），且导气管（14）的一端与二级密封管（8）固定连接，所述处理箱（12）的内部卡接有过滤板（15），所述支撑台（1）内部的左侧固定安装有三爪卡盘（16），且三爪卡盘（16）的中部固定安装有靶材杆（18），且靶材杆（18）的外部固定安装有辅助防护套管（17）。

2.根据权利要求1所述的一种靶材打磨防护装置，其特征在于：所述调节丝杆（3）位于调节底座（4）前后两侧的中部，所述调节底座（4）的底部活动安装有滑轮，所述调节底座（4）下方支撑台（1）的顶部开设有与滑轮相互配合的滑槽。

3.根据权利要求1所述的一种靶材打磨防护装置，其特征在于：所述驱动电机（5）与三爪卡盘（16）处于同一中轴线上，所述驱动电机（5）输出轴上打磨盘（6）的直径值大于靶材杆（18）的直径值。

4.根据权利要求1所述的一种靶材打磨防护装置，其特征在于：所述导向杆（9）、压缩弹簧（10）均匀分布于二级密封管（8）的一端，所述二级密封管（8）的内径值与一级密封管（7）的外径值相同，所述二级密封管（8）的外径值与辅助防护套管（17）的外径值相同。

5.根据权利要求1所述的一种靶材打磨防护装置，其特征在于：所述过滤板（15）均匀分布于处理箱（12）的内部，所述处理箱（12）的内部设置有与过滤板（15）相互配合的卡槽，所述处理箱（12）的顶部设置有防护顶板，且防护顶板的顶部设置有锁扣。

6.根据权利要求1所述的一种靶材打磨防护装置，其特征在于：所述辅助防护套管（17）的内部固定套装有橡胶套，所述辅助防护套管（17）的外部螺纹套接有锁紧螺杆。