CN214736080U - 一种化学气相沉积设备 - Google Patents
一种化学气相沉积设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN214736080U CN214736080U CN202120966363.6U CN202120966363U CN214736080U CN 214736080 U CN214736080 U CN 214736080U CN 202120966363 U CN202120966363 U CN 202120966363U CN 214736080 U CN214736080 U CN 214736080U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixedly connected
- pull rope
- fixing plate
- vapor deposition
- chemical vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 18
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，包括机体，所述机体中开设有反应腔，所述反应腔的中设有晶圆承载基座、导轮、U形卡杆、第一固定板和搭板，所述晶圆承载基座的顶端开设有第一卡槽，所述晶圆承载基座的左右两端均开设有第二卡槽。本实用新型通过设置转盘、第一拉绳和第二拉绳，当需要对晶圆承载基座的表面清洗时，同时转动两个转盘，转盘使第一卷轮和第二卷轮转动，第一卷轮对第一拉绳收卷，从而使第一弹簧收缩，U形卡杆与第一卡槽脱离，第二卷轮对第二拉绳收卷，使卡块与第二卡槽脱离卡接，从而便于将晶圆承载基座快速拆卸下来。
Description
技术领域
本实用新型涉及化工制造技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积设备。
背景技术
在半导体制造工业中，化学气相沉积是应用最为广泛的用来承载多种材料的技术手段，化学气相沉积是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。在将沉积的材料取出时，难免会使部分沉积材料洒落至晶圆承载基座的表面，从而需要定期对晶圆承载基座进行清洗。
但是，目前，大多数化学气相沉积设备，都是通过焊接或者螺栓将晶圆承载基座固定安装到机体的反应腔中，不便于将晶圆承载基座拆卸下来，导致清洗起来非常麻烦。
为此，我们提出来一种化学气相沉积设备解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中大多数化学气相沉积设备，都是通过焊接或者螺栓将晶圆承载基座固定安装到机体的反应腔中，不便于将晶圆承载基座拆卸下来，导致清洗起来非常麻烦的问题，而提出的一种化学气相沉积设备。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种化学气相沉积设备，包括机体，所述机体中开设有反应腔，所述反应腔的中设有晶圆承载基座、导轮、U形卡杆、第一固定板和搭板，所述晶圆承载基座的顶端开设有第一卡槽，所述晶圆承载基座的左右两端均开设有第二卡槽，所述导轮上套接有第一拉绳，所述第一拉绳上套设有第一弹簧，两个所述搭板相互远离的一端固定连接有第二固定板，两个所述第二固定板相互远离的一端固定连接有第二弹簧、第二拉绳和滑杆，所述机体左右两端的外壁均固定连接有L形块，所述L形块上转动连接有转轴，所述转轴上过盈配合有转盘、第一卷轮和第二卷轮。
可选地，所述U形卡杆与第一卡槽卡接，所述第一弹簧的一端与U形卡杆固定连接，所述第一弹簧的另一端与第一固定板固定连接，所述第一固定板固定连接在机体上。
可选地，所述第二卡槽中卡接有卡块，两个所述卡块相互远离的一端与第二固定板固定连接，所述卡块呈矩形结构。
可选地，多个所述第二弹簧在第二固定板上呈均匀对称分布，所述第二弹簧的一端固定连接有机体的内壁上，所述第二弹簧的另一端与第二固定板固定连接。
可选地，所述第一拉绳与第一卷轮绕接，所述第二拉绳与第二卷轮绕接，所述第一拉绳的一端与U形卡杆固定连接，所述第一拉绳的另一端固定连接在第一卷轮的外壁上，所述第二拉绳的一端与第二固定板固定连接，所述第二拉绳的另一端固定连接在第二卷轮的外壁上。
可选地，所述转盘和L形块均开设有限位孔，多个所述限位孔在转盘上呈周向均匀分布，所述限位孔中卡接有第一限位块，所述滑杆滑动连接在机体上，所述滑杆的一端贯穿机体并固定连接有第二限位块。
与现有技术相比，本实用新型具备以下优点：
1、本实用新型通过设置卡块和U形卡杆，使用时，在第一弹簧的弹性作用下，U形卡杆与第一卡槽卡接，在第二弹簧的弹性作用下，卡块与第二卡槽卡接，同时搭板对晶圆承载基座的底端进行支撑，从而将晶圆支撑基座快速牢固的安装到反应腔中，便于使用。
2、本实用新型通过设置转盘、第一拉绳和第二拉绳，当需要对晶圆承载基座的表面清洗时，同时转动两个转盘，转盘使第一卷轮和第二卷轮转动，第一卷轮对第一拉绳收卷，从而使第一弹簧收缩，U形卡杆与第一卡槽脱离，第二卷轮对第二拉绳收卷，使卡块与第二卡槽脱离卡接，从而便于将晶圆承载基座快速拆卸下来。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型结构正视图。
图中：1机体、2反应腔、3第一拉绳、4第一固定板、5第一弹簧、6U形卡杆、7晶圆承载基座、8第一卡槽、9第二卡槽、10卡块、11搭板、12第二固定板、13导轮、14滑杆、15第一限位块、16第二拉绳、17L形块、18转盘、19第二限位块、20第一卷轮、21第二卷轮、22转轴、23限位孔、24第二弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种化学气相沉积设备，包括机体1，机体1上设有门体，机体1中开设有反应腔2，反应腔2的中设有晶圆承载基座7、导轮13、U形卡杆6、第一固定板4和搭板11，搭板11与晶圆承载基座7的底端接触连接，晶圆承载基座7的顶端开设有第一卡槽8，晶圆承载基座7的左右两端均开设有第二卡槽9，第二卡槽9中卡接有卡块10，卡块10呈矩形结构，两个卡块10相互远离的一端与第二固定板12固定连接，导轮13上套接有第一拉绳3，第一拉绳3上套设有第一弹簧5，两个搭板11相互远离的一端固定连接有第二固定板12，两个第二固定板12相互远离的一端固定连接有第二弹簧24、第二拉绳16和滑杆14。
机体1左右两端的外壁均固定连接有L形块17，L形块17上转动连接有转轴22，转轴22上过盈配合有转盘18、第一卷轮20和第二卷轮21，转盘18和L形块17均开设有限位孔23，多个限位孔23在转盘18上呈周向均匀分布。
限位孔23中卡接有第一限位块15，滑杆14滑动连接在机体1上，滑杆14的一端贯穿机体1并固定连接有第二限位块19。
U形卡杆6与第一卡槽8卡接，第一弹簧5的一端与U形卡杆6固定连接，第一弹簧5的另一端与第一固定板4固定连接，第一固定板4固定连接在机体1上。
多个第二弹簧24在第二固定板12上呈均匀对称分布，第二弹簧24的一端固定连接有机体1的内壁上，第二弹簧24的另一端与第二固定板12固定连接。
第一拉绳3与第一卷轮20绕接，第二拉绳16与第二卷轮21绕接，第一拉绳3的一端与U形卡杆6固定连接，第一拉绳3的另一端固定连接在第一卷轮20的外壁上，第二拉绳16的一端与第二固定板12固定连接，第二拉绳16的另一端固定连接在第二卷轮21的外壁上。
工作原理如下：
使用时，如图1，在第一弹簧5的弹性作用下，U形卡杆6与第一卡槽8卡接，在第二弹簧24的弹性作用下，卡块10与第二卡槽9卡接，搭板11对晶圆承载基座7进行支撑，从而将晶圆承载基座7快速安装到机体1的反应腔2中。
当需要对晶圆承载基座7进行清洗时，首先转动转盘18，转盘18同时使第一卷轮20和第二卷轮21转动，第一卷轮20对第一拉绳3收卷，从而使第一弹簧5收缩，进而使U形卡杆6与第一卡槽8脱离，第二卷轮21对第二拉绳16收卷，从而使第二弹簧24收缩，进而使卡块10与第二卡槽9脱离卡接，然后将第一限位块15卡接到限位孔23中，对转盘限位18，从而便于将晶圆承载基座7快速拆卸下来，清洗更加便捷。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种化学气相沉积设备，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)中开设有反应腔(2)，所述反应腔(2)的中设有晶圆承载基座(7)、导轮(13)、U形卡杆(6)、第一固定板(4)和搭板(11)，所述晶圆承载基座(7)的顶端开设有第一卡槽(8)，所述晶圆承载基座(7)的左右两端均开设有第二卡槽(9)，所述导轮(13)上套接有第一拉绳(3)，所述第一拉绳(3)上套设有第一弹簧(5)，两个所述搭板(11)相互远离的一端固定连接有第二固定板(12)，两个所述第二固定板(12)相互远离的一端固定连接有第二弹簧(24)、第二拉绳(16)和滑杆(14)，所述机体(1)左右两端的外壁均固定连接有L形块(17)，所述L形块(17)上转动连接有转轴(22)，所述转轴(22)上过盈配合有转盘(18)、第一卷轮(20)和第二卷轮(21)。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述U形卡杆(6)与第一卡槽(8)卡接，所述第一弹簧(5)的一端与U形卡杆(6)固定连接，所述第一弹簧(5)的另一端与第一固定板(4)固定连接，所述第一固定板(4)固定连接在机体(1)上。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述第二卡槽(9)中卡接有卡块(10)，两个所述卡块(10)相互远离的一端与第二固定板(12)固定连接，所述卡块(10)呈矩形结构。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，多个所述第二弹簧(24)在第二固定板(12)上呈均匀对称分布，所述第二弹簧(24)的一端固定连接有机体(1)的内壁上，所述第二弹簧(24)的另一端与第二固定板(12)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述第一拉绳(3)与第一卷轮(20)绕接，所述第二拉绳(16)与第二卷轮(21)绕接，所述第一拉绳(3)的一端与U形卡杆(6)固定连接，所述第一拉绳(3)的另一端固定连接在第一卷轮(20)的外壁上，所述第二拉绳(16)的一端与第二固定板(12)固定连接，所述第二拉绳(16)的另一端固定连接在第二卷轮(21)的外壁上。
6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述转盘(18)和L形块(17)均开设有限位孔(23)，多个所述限位孔(23)在转盘(18)上呈周向均匀分布，所述限位孔(23)中卡接有第一限位块(15)，所述滑杆(14)滑动连接在机体(1)上，所述滑杆(14)的一端贯穿机体(1)并固定连接有第二限位块(19)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120966363.6U CN214736080U (zh) | 2021-05-08 | 2021-05-08 | 一种化学气相沉积设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120966363.6U CN214736080U (zh) | 2021-05-08 | 2021-05-08 | 一种化学气相沉积设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214736080U true CN214736080U (zh) | 2021-11-16 |
Family
ID=78619632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120966363.6U Expired - Fee Related CN214736080U (zh) | 2021-05-08 | 2021-05-08 | 一种化学气相沉积设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214736080U (zh) |
-
2021
- 2021-05-08 CN CN202120966363.6U patent/CN214736080U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104300748A (zh) | 电机定子铁芯的拉模嵌线机 | |
| CN214736080U (zh) | 一种化学气相沉积设备 | |
| CN210255610U (zh) | 一种轴承内外圈滚道防磷化设备 | |
| CN111673105A (zh) | 一种气缸套车床加工新型定位装置 | |
| CN204179883U (zh) | 电机定子铁芯的拉模嵌线机 | |
| JP5814040B2 (ja) | 可動配線配管接続装置 | |
| CN207873180U (zh) | 一种新型管材钻孔装置 | |
| CN112853340A (zh) | 一种车辆轮毂涂装生产用钝化装置 | |
| CN211470390U (zh) | 一种电缆卷绕装置 | |
| CN209889957U (zh) | 一种用于电力工程中多角度线缆切断装置 | |
| CN216542723U (zh) | 一种柱状金属材料外周加工设备 | |
| CN210682809U (zh) | 一种服装纺织设备用线材输料装置 | |
| CN208116275U (zh) | 一种二极管pn结水垢的清洗装置 | |
| CN211795277U (zh) | 一种便于固定样品的纺织品留样架 | |
| CN209759772U (zh) | 一种用于纺纱棉织品的清洗装置 | |
| CN214771617U (zh) | 一种风管机用贴海绵工装 | |
| CN211763074U (zh) | 一种保持架生产用胎具 | |
| CN212929361U (zh) | 一种自动化专业机房设备支架 | |
| CN215031459U (zh) | 一种盾构机高强度专用轴承套圈清洗装置 | |
| CN209880558U (zh) | 一种晶圆洗边装置 | |
| CN218826406U (zh) | 一种高速线缆编织机 | |
| CN219951265U (zh) | 一种高效活塞头环槽镀铬设备 | |
| CN221038020U (zh) | 一种轴承振动检测机构 | |
| CN214881910U (zh) | 一种弹簧生产用电镀装置 | |
| CN215903304U (zh) | 一种用于机器人生产加工的零部件抛光装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20211116 |