CN214699287U - 一种用于半导体制造设备的钟摆阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于半导体制造设备的钟摆阀，包括：阀体外壳、调节电动机、密封板、从动齿轮、电机外壳以及电动机，阀体外壳的下表面安装有电机外壳，电机外壳的内部安装有调节电动机，调节电动机的上表面安装有密封板，阀体外壳的上表面开设有阀孔，阀体外壳的内部安装有密封块，阀体外壳的内部安装有支撑槽，支撑槽的内部安装有压缩弹簧,与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过增加电动机、主动齿轮、从动齿轮、支撑槽、压缩弹簧以及压紧钉，实现当调节好密封板的通气量，只需要打开电动机，就能够使得压紧钉向下平移，从而压紧钉压紧密封板，使得密封板紧贴阀体外壳，以此提升密封力。

Description

一种用于半导体制造设备的钟摆阀

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，特别涉及一种用于半导体制造设备的钟摆阀。

背景技术

目前，一般在半导体元件的制造工程中，为了给真空反应室等需要真空的空间达到真空状态，需要连接真空泵去抽吸反应室内的空气。在连接上述反应室与真空泵的连接管上安装钟摆阀，从而开关连接管，控制真空泵的抽吸状态。

但是,现有半导体设备用钟摆锤由电动机的正、逆旋转使振子板向左、右进行圆弧运动开关阀门调节气体量。结束调节气体量的工程后，为了将阀门完全封闭在振子板将连接管关闭时，由空气压动作的汽缸将密封板向振子板侧贴紧，振子板在反应室与泵之间的压力比动密封板的空气压更大时，密封板无法移动，存在不能密封连接管的问题。而且用空气压移动密封板，有所需动作时间较长，信赖性下降等问题点。因此，现在亟需一种用于半导体制造设备的钟摆阀。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种用于半导体制造设备的钟摆阀，通过增加电动机、主动齿轮、从动齿轮、支撑槽、压缩弹簧以及压紧钉，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种用于半导体制造设备的钟摆阀，包括：阀体外壳、调节电动机、密封板、从动齿轮、电机外壳以及电动机，所述阀体外壳的下表面安装有电机外壳，所述电机外壳的内部安装有调节电动机，所述调节电动机的上表面安装有密封板，所述阀体外壳的上表面开设有阀孔，所述阀体外壳的内部安装有密封块，所述阀体外壳的内部安装有支撑槽，所述支撑槽的内部安装有压缩弹簧，所述压缩弹簧的内侧安装有压紧钉，所述阀体外壳的内部安装有电动机，所述电动机的下表面安装有主动齿轮，所述阀体外壳的内部安装有从动齿轮。

作为一优选的实施方式，所述调节电动机的上表面安装有调节电机轴，所述调节电机轴的上表面安装有密封板，所述调节电机轴贯穿阀体外壳的下表面，所述密封板贯穿阀孔的横截面。

作为一优选的实施方式，所述密封块安装在阀体外壳内部下表面，并且安装在阀孔的圆周表面上，所述密封板安装在密封块的上方，所述阀孔左端和右端的阀体外壳内部分别安装有两个支撑槽，并且支撑槽安装在密封板的上方。

作为一优选的实施方式，每个支撑槽的内部都安装有压缩弹簧，所述压紧钉共有两个，分别安装在两个压缩弹簧的内侧，并且都贯穿与其对应的支撑槽的下表面。

作为一优选的实施方式，所述从动齿轮安装在阀孔圆周表面上的阀体外壳内部，并且从动齿轮安装在压紧钉的上方，所述从动齿轮与阀孔圆周表面的阀体外壳接触面上开设有螺纹，所述阀体外壳内部的上表面安装有电动机，所述电动机的下表面安装有压紧电机轴，所述压紧电机轴的圆周表面上安装有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮相互啮合，并且主动齿轮安装在从动齿轮右端面的下端。

采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：通过增加电动机、主动齿轮、从动齿轮、支撑槽、压缩弹簧以及压紧钉，实现当调节好密封板的通气量，只需要打开电动机，就能够使得压紧钉向下平移，从而压紧钉压紧密封板，使得密封板紧贴阀体外壳，以此提升密封力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种用于半导体制造设备的钟摆阀的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种用于半导体制造设备的钟摆阀的仰视图。

图3为图1中A部分的放大图。

图中，1-阀体外壳、2-阀孔、3-电机外壳、4-调节电动机、5-密封板、6-密封块、7-螺纹、8-从动齿轮、9-压紧钉、10-支撑槽、11-压缩弹簧、12-电动机、13-主动齿轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体制造设备的钟摆阀，包括：阀体外壳1、调节电动机4、密封板5、从动齿轮8、电机外壳3以及电动机12，阀体外壳1的下表面安装有电机外壳3，电机外壳3的内部安装有调节电动机4，调节电动机4的上表面安装有密封板5，阀体外壳1的上表面开设有阀孔2，阀体外壳1的内部安装有密封块6，阀体外壳1的内部安装有支撑槽10，支撑槽10的内部安装有压缩弹簧11，压缩弹簧11的内侧安装有压紧钉9，阀体外壳1的内部安装有电动机12，电动机12的下表面安装有主动齿轮13，阀体外壳1的内部安装有从动齿轮8。

调节电动机4的上表面安装有调节电机轴，调节电机轴的上表面安装有密封板5，调节电机轴贯穿阀体外壳1的下表面，密封板5贯穿阀孔2的横截面。

密封块6安装在阀体外壳1内部下表面，并且安装在阀孔2的圆周表面上，密封板5安装在密封块6的上方，阀孔2左端和右端的阀体外壳1内部分别安装有两个支撑槽10，并且支撑槽10安装在密封板5的上方，密封块6采用的是橡胶材质，橡胶具有一定的弹性能够更好的进行密封。

每个支撑槽10的内部都安装有压缩弹簧11，压紧钉9共有两个，分别安装在两个压缩弹簧11的内侧，并且都贯穿与其对应的支撑槽10的下表面，压紧钉9的圆周表面的下端靠近阀孔2的一端突出于压紧钉9，并且与阀体外壳1接触，能够在压紧密封板5时提升密封能力，使得气流无法进入阀体。

从动齿轮8安装在阀孔2圆周表面上的阀体外壳1内部，并且从动齿轮8安装在压紧钉9的上方，从动齿轮8与阀孔2圆周表面的阀体外壳1接触面上开设有螺纹7，阀体外壳1内部的上表面安装有电动机12，电动机12的下表面安装有压紧电机轴，压紧电机轴的圆周表面上安装有主动齿轮13，主动齿轮13与从动齿轮8相互啮合，并且主动齿轮13安装在从动齿轮8右端面的下端，电动机12和调节电动机4使用的都是伺服电机，伺服电机具有较高的精度能够准确控制密闭板在阀孔2的通气量，并且能够准确到达压紧密封板5的零界点。

做为本实用新型的一个实施例：当需要调节阀孔2的通气量时，首先打开调节电动机4，调节电机轴转动带动密封板5进行转动，从而改变阀孔2的通气量，当调节好通气量以后打开电动机12，压紧电机轴转动带动主动齿轮13转动，主动齿轮13转动带动从动齿轮8转动，由于从动齿轮8与阀体外壳1通过螺纹7连接，所以当从动齿轮8转动时会向下平移，从动齿轮8向下平移会压住压紧钉9，并且带动压紧钉9向下平移，这时压缩弹簧11就会被压缩，直到压紧钉9与密封板5接触并且压住密封板5，这时就能够将密封板5压紧，从而减小通气量的误差，当需要转动密封板5时，先控制电动机12翻转，使得从动齿轮8向上平移，这时压缩弹簧11就会反弹，使得压紧钉9向上平移，从而与密封板5分离。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于半导体制造设备的钟摆阀，包括：阀体外壳、调节电动机、密封板、从动齿轮、电机外壳以及电动机，其特征在于：所述阀体外壳的下表面安装有电机外壳，所述电机外壳的内部安装有调节电动机，所述调节电动机的上表面安装有密封板，所述阀体外壳的上表面开设有阀孔，所述阀体外壳的内部安装有密封块，所述阀体外壳的内部安装有支撑槽，所述支撑槽的内部安装有压缩弹簧，所述压缩弹簧的内侧安装有压紧钉，所述阀体外壳的内部安装有电动机，所述电动机的下表面安装有主动齿轮，所述阀体外壳的内部安装有从动齿轮。

2.如权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于：所述调节电动机的上表面安装有调节电机轴，所述调节电机轴的上表面安装有密封板，所述调节电机轴贯穿阀体外壳的下表面，所述密封板贯穿阀孔的横截面。

3.如权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于：所述密封块安装在阀体外壳内部下表面，并且安装在阀孔的圆周表面上，所述密封板安装在密封块的上方，所述阀孔左端和右端的阀体外壳内部分别安装有两个支撑槽，并且支撑槽安装在密封板的上方。

4.如权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于：每个支撑槽的内部都安装有压缩弹簧，所述压紧钉共有两个，分别安装在两个压缩弹簧的内侧，并且都贯穿与其对应的支撑槽的下表面。

5.如权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于：所述从动齿轮安装在阀孔圆周表面上的阀体外壳内部，并且从动齿轮安装在压紧钉的上方，所述从动齿轮与阀孔圆周表面的阀体外壳接触面上开设有螺纹，所述阀体外壳内部的上表面安装有电动机，所述电动机的下表面安装有压紧电机轴，所述压紧电机轴的圆周表面上安装有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮相互啮合，并且主动齿轮安装在从动齿轮右端面的下端。

Images