CN214689589U - 防侧翻的推车 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种防侧翻的推车，包括车体、行驶轮和辅助支撑装置，其中车体包含至少两层货架和与货架刚性连接以支撑货架的支撑部，行驶轮安装于支撑部的底部，以带动所述车体移动，辅助支撑装置安装于所述支撑部上，以在车体行驶方向的两侧能够支撑车体。在推车遇到地面凸起、不平整时，通过辅助支撑装置的支撑，增加了推车的侧向稳定性，能够防止推车侧翻，提高推车运送半导体元件如晶圆等物品的平稳性。

Description

防侧翻的推车

技术领域

本申请涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种防侧翻的推车。

背景技术

在半导体产品制造过程中，通常采用推车来运输半导体元件。例如，FAB(芯片加工厂)中推车是必用的生产工具，由于运输时遇到地板凸起、运输操作不当或移动速度过快等都可能导致推车的侧翻，使得推车里的半导体元件掉落，造成半导体元件损坏。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种防侧翻的推车，以提高推车运输的侧向稳定性。

为了解决上述问题，本申请采用以下技术方案予以实现：

一种防侧翻的推车，其特征在于，包括：

车体，所述车体包含至少两层货架，和与所述货架刚性连接以支撑所述或货架的支撑部；

行驶轮，安装于所述支撑部的底部，以带动所述车体移动；以及

辅助支撑装置，安装于所述支撑部上，以在所述车体行驶方向的两侧能够支撑所述车体。

进一步地，两组所述辅助支撑装置分别安装于所述车体尾部的两侧；或，

所述推车包括设置所述车体上的扶手，所述辅助支撑装置设置在所述车体靠近所述扶手的一端。

进一步地，所述辅助支撑装置包括：辅助撑杆，与所述车体转动连接；以及限位构件，配置为使得所述辅助撑杆具有向外展开支撑的第一状态和向内收拢于所述车体的第二状态。

进一步地，所述限位构件包括：限位块，设置在所述车体上，配置为对所述辅助撑杆的转动范围进行限位；以及

弹性件，配置为使得所述辅助撑杆稳定地处于所述第一状态或稳定地处于所述第二状态。

进一步地，所述弹性件为弹簧，所述弹簧的第一端与所述车体或与所述限位块连接，所述弹簧的第二端与所述辅助撑杆连接，所述第一端的连接点与所述辅助撑杆的转动连接点的连线位于所述第一状态与所述第二状态的转动范围之间，所述弹簧两端之间的距离大于所述弹簧的初始长度。

进一步地，所述限位块上形成有容纳腔，所述弹性件为设置在所述容纳腔内的弹性扣件，所述弹性扣件配置为能够扣压所述辅助撑杆使得所述辅助撑杆稳定地位于所述容纳腔中。

进一步地，所述辅助撑杆包括：辅助杆，一端与所述车体转动连接；以及

辅助件，安装在所述辅助杆的另一端。

进一步地，所述辅助撑杆位于第一状态时，所述辅助件的高度高于所述行驶轮，所述辅助件与所述行驶轮的高度差为预设值。

进一步地，所述辅助件为辅助轮，所述辅助轮安装在所述辅助杆的另一端；或，所述辅助件为滚珠，所述滚珠可滚动地安装在所述辅助杆的另一端；或

所述辅助件为弹性体，所述弹性体连接在所述辅助杆的另一端。

本申请实施例提供的防侧翻的推车，包括车体、行驶轮和辅助支撑装置，其中行驶轮安装于车体的底部，以带动车体移动，辅助支撑装置安装于所述车体上，以在车体的两侧能够支撑车体。推车遇到地面凸起或不平整时，通过辅助支撑装置支撑在车体的两侧，增加了推车的侧向稳定性，防止推车侧翻，从而提高了推车运输半导体元件如晶圆等物品的平稳性。

附图说明

图1为本申请实施例提供的一种防侧翻的推车的主视图；以及

图2为图1中一种防侧翻的推车的右视图；

附图标记说明：

1-车体，2-行驶轮，3-辅助支撑装置，1A-车体尾部，11-扶手，12-货架，13-支撑部，31-辅助撑杆，31A-辅助杆，31B-辅助件，32-限位构件，32A-限位块，32B-弹性件，32C-容纳腔，E-第一状态，F-第二状态。

具体实施方式

下面结合附图对本申请的具体实施方式进行详细的描述。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的技术特征可以相互组合，具体实施方式中的详细描述应理解为本申请宗旨的解释说明，不应视为对本申请的不当限制。

在本申请的描述中，所涉及的术语“第一/第二”仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定次序，可以理解地，“第一/第二”在允许的情况下可以互换特定的顺序或先后次序，以使这里描述的本申请实施例能够以除了在这里图示或描述的以外的顺序实施。

应该理解的是，方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。需要理解的是，这些方位术语仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

如图1～2所示，本申请实施例提供的一种防侧翻的推车，包括车体1、行驶轮2和辅助支撑装置3。其中，车体1包括至少两层货架12和与货架刚性连接以支撑货架12的支撑部13，用于承载物品，例如承载半导体元件晶圆等，行驶轮2安装于支撑部13的底部，以带动车体1移动，辅助支撑装置3安装于支撑部13上，以在车体1行驶方向的两侧能够支撑车体1。例如，辅助支撑装置3可以设置在车体1的前部两侧或前端部，和/或，设置在车体1的尾部两侧或尾端部，均能在车体1的两侧支撑车体1。辅助支撑装置3可以与车体1固定连接，即辅助支撑装置3与车体1位置关系不变。辅助支撑装置3也可以与车体1可转动地连接，使得辅助支撑装置3具有处于向外展开能够支撑的第一稳定状态和处于向内收拢于车体1的第二稳定状态。

在一具体的应用场景中，例如在半导体制造过程中，需要用推车运送晶圆等元件，当FAB地面的接缝板翘起时，通过辅助支撑装置3能够在车体1的两侧提供支撑，可以提高推车的侧向稳定性，防止推车侧翻，从而避免晶圆的损坏。

在一实施例中，两组辅助支撑装置3分别安装于车体尾部1A的两侧。当移动推车路过地板凸起时，位于车体前部的行驶轮2首先与地板凸起接触，速度过快时推车有倾翻的趋势，通过车体尾部1A的两侧的辅助支撑装置3，能够提供给推车抑制倾翻的支撑，降低推车往左、往右两侧侧翻的风险，提高推车两侧的稳定性。

在一实施例中，推车包括设置车体1上的扶手11，运输人员可以通过车体 1上的扶手11推动推车朝着行驶方向移动，以符合人机工程，便于运输人员操作推车。进一步地，辅助支撑装置3设置在车体1靠近扶手11的一端。具体的，运输人员握住扶手11，向前推动推车移动，辅助支撑装置3设置在车体1靠近扶手11的一端，在车体1前部的行驶轮2遇到地板凸起时，可以通过靠近扶手 11的一端、位于车体1后部的辅助支撑装置3防止推车侧翻，便于增加推车的稳定性，降低晶圆等物品侧翻被污染或损坏的风险。

在一实施例中，车体1包括至少两层货架12。车体1通过多层货架12可以一次运输大批量晶圆，提高运输效率。但多层货架12导致推车的重心变高，增大推车侧翻的风险，通过辅助支撑装置3则能提高推车的平稳性，降低推车侧翻的风险。具体地，扶手11设置在多层货架12的上部，以符合人机工程，便于运输人员直立行走。

在一实施例中，辅助支撑装置3包括辅助撑杆31和限位构件32。其中，辅助撑杆31与车体1转动连接，限位构件32配置为使得辅助撑杆31具有向外展开支撑的第一状态E和向内收拢于车体1的第二状态F。具体的，限位构件 32使得辅助撑杆31处于第一状态E时，辅助撑杆31向外展开支撑，使得辅助支撑装置2可以对推车提供支撑，提高了推车的平稳性，防止侧翻。限位构件 32使得辅助撑杆31处于第二状态F时，辅助撑杆31向内收拢于车体1，使得辅助支撑装置2节省推车所占的空间，从而相对地扩大了推车周围空间，保障推车周围的通过性，增加防侧翻的推车结构的应用范围和使用场景。

在一实施例中，限位构件32包括限位块32A和弹性件32B。其中，限位块32A设置在车体1上，且限位块32A配置为对辅助撑杆31的转动范围进行限位，弹性件32B配置为使得辅助撑杆31稳定地处于第一状态E或稳定地处于第二状态F。通过设置在车体1上的限位块32A的限位作用，使得辅助撑杆 31在一定的范围内转动，从而使辅助撑杆31在不同的情况下处于第一状态E 或第二状态F。通过弹性件32B的弹性作用力，使得辅助撑杆31稳定地处于第一状态E或第二状态F，从而使得在无其他外部操作时，辅助撑杆31稳定地维持在其中的一个状态。

在一实施例中，弹性件32B为弹簧，弹簧的第一端与车体1或与限位块32A 连接，弹簧的第二端与辅助撑杆31连接，第一端的连接点与辅助撑杆31的转动连接点的连线位于第一状态E与第二状态F的转动范围之间，弹簧两端之间的距离大于弹簧的初始长度。通过弹簧一端与车体或者限位块32A连接，另一端连接辅助撑杆31，弹簧两端之间距离大于弹簧的初始长度，从而在弹簧处于弹性作用力下，使得保持辅助撑杆31能够稳定的处于第一状态E或者第二状态F。

在一实施例中，限位块32A上形成有容纳腔32C，弹性件32B为设置在容纳腔32C内的弹性扣件，弹性扣件配置为能够扣压辅助撑杆31使得辅助撑杆 31稳定地位于容纳腔32C中。通过在容纳腔32C内的弹性扣件，使得辅助撑杆 31在容纳腔中转动，并且弹性扣件的扣压辅助撑杆31，能够使辅助撑杆在容纳腔32C中转动时，能够稳定地处于第一状态E或者第二状态F。

在一实施例中，辅助撑杆31包括辅助杆31A和辅助件31B。其中，辅助杆31A的一端与车体1转动连接，辅助件31B安装在辅助杆31A的另一端。具体地，在需要辅助支撑装置3进行辅助支撑时，通过辅助杆31A和连接在辅助杆31A一端的辅助件31B，增加了推车的支撑点，有效提高了推车的稳定性，防止侧翻。

在一实施例中，辅助件31B为辅助轮，辅助轮可滚动地与辅助杆31A的另一端连接。辅助轮可以为定向轮也可以为万向轮。辅助轮在支撑推车时，与地面进行滚动接触，减少推车的移动阻力，使推车更加便捷的移动，还确保推车的稳定性。

在一实施例中，辅助件31B为滚珠，滚珠可滚动地安装在辅助杆31A的另一端。滚珠能够朝任意方向移动，从而支撑推车，还可以使推车朝其他方向移动。

在一实施例中，辅助件31为弹性体，弹性体固定连接在辅助杆31A的另一端。弹性体的柔性作用，使推车移动时遇到地面凸起，能够缓冲推车越过地面凸起时的震动，提高推车的稳定性，防止推车侧翻。

在一实施例中，辅助撑杆31位于第一状态E时，辅助件31B的高度高于行驶轮2，辅助件31B与行驶轮2的高度差为预设值。例如，预设值为3～10毫米。具体的，辅助件31B的高度稍高于行驶轮2，不影响推车在平坦地面的正常移动，当推车移动至地面凸起时，在推车倾斜的过程中，辅助件31B又能够支撑推车，维持推车的稳定，防止推车侧翻，造成晶圆的掉落或损坏。

以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其进行限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域技术人员来说，依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请所要求保护的技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种防侧翻的推车，其特征在于，包括：

车体，包含至少两层货架、与所述货架刚性连接以支撑所述货架的支撑部；

行驶轮，安装于所述支撑部的底部，以带动所述车体移动；以及

辅助支撑装置，安装于所述支撑部上，以在所述车体行驶方向的两侧能够支撑所述车体。

2.根据权利要求1所述的推车，其特征在于，两组所述辅助支撑装置分别安装于所述车体尾部的两侧；或，

所述推车包括设置所述车体上的扶手，所述辅助支撑装置设置在所述车体靠近所述扶手的一端。

3.根据权利要求1或2所述的推车，其特征在于，所述辅助支撑装置包括：

辅助撑杆，与所述车体转动连接；以及

限位构件，配置为使得所述辅助撑杆具有向外展开支撑的第一状态和向内收拢于所述车体的第二状态。

4.根据权利要求3所述的推车，其特征在于，所述限位构件包括：

限位块，设置在所述车体上，配置为对所述辅助撑杆的转动范围进行限位；以及

弹性件，配置为使得所述辅助撑杆稳定地处于所述第一状态或稳定地处于所述第二状态。

5.根据权利要求4所述的推车，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述弹簧的第一端与所述车体或与所述限位块连接，所述弹簧的第二端与所述辅助撑杆连接，所述第一端的连接点与所述辅助撑杆的转动连接点的连线位于所述第一状态与所述第二状态的转动范围之间，所述弹簧两端之间的距离大于所述弹簧的初始长度。

6.根据权利要求4所述的推车，其特征在于，所述限位块上形成有容纳腔，所述弹性件为设置在所述容纳腔内的弹性扣件，所述弹性扣件配置为能够扣压所述辅助撑杆使得所述辅助撑杆稳定地位于所述容纳腔中。

7.根据权利要求3所述的推车，其特征在于，所述辅助撑杆包括：

辅助杆，一端与所述车体转动连接；以及

辅助件，安装在所述辅助杆的另一端。

8.根据权利要求7所述的推车，其特征在于，所述辅助撑杆位于第一状态时，所述辅助件的高度高于所述行驶轮，所述辅助件与所述行驶轮的高度差为预设值。

9.根据权利要求7所述的推车，其特征在于，所述辅助件为辅助轮，所述辅助轮安装在所述辅助杆的另一端；或，

所述辅助件为滚珠，所述滚珠可滚动地安装在所述辅助杆的另一端；或

所述辅助件为弹性体，所述弹性体连接在所述辅助杆的另一端。

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