CN214635481U - 标气提供装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了标气提供装置，所述标气提供装置包括第一腔体和渗透管，所述渗透管设置在所述第一腔体内；还包括：第一气体经过第一定量单元后被多级温控单元调整温度，之后送所述第一腔体；第二气体经过第二定量单元定量；所述第一腔体和所述第二定量单元的出口分别连通所述混合腔。本实用新型具有标气含量稳定等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体配制，特别涉及标气提供装置。
背景技术
目前，标准气体发生装置通常有两种技术路线：
1.利用比例稀释的方法，把钢瓶标准气稀释为目标浓度的气体，其缺点主要是：
A.外置的钢瓶体积大，使用不方便；
B.耗气量大，需要经常更换，不够经济；
C.钢瓶气体的标准浓度会在整个使用过程变化，整个标准气体发生装置的产生的准确度不高。
2.采用渗透原理的标准气体发生装置，原理上渗透管的渗透速度会在压力温度恒定的条件下保持稳定，但是现有的渗透原理的校准装置在渗透炉的温度控制上都是采用对渗透管的安装结构进行控制，默认安装结构就是渗透温度，在该条件下计算渗透率和渗透浓度，然后通过非温控的稀释气体，稀释产生标准浓度，其缺点是：
非温控的稀释气体会导致渗透管的温度不均匀，不稳定会导致渗透率不准确。
实用新型内容
为解决上述现有技术方案中的不足，本实用新型提供了一种标气提供装置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：
标气提供装置，所述标气提供装置包括第一腔体和渗透管，所述渗透管设置在所述第一腔体内；所述标气提供装置还包括：
第一定量单元及多级温控单元，第一气体经过所述第一定量单元后被所述多级温控单元调整温度，之后送所述第一腔体；
第二定量单元，第二气体经过所述第二定量单元定量；
混合腔，所述第一腔体和所述第二定量单元的出口分别连通所述混合腔。
与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：
1.标气稳定；
利用多级温控，使得第一气体(载气)的温度逐步加热到渗透管的目标气体渗透温度，使得渗透管的温度稳定，渗透速率稳定，提高标气的稳定性；
第一气体(载气)和第二气体(稀释气)均经过定量，进一步地提高了标气的稳定性；
混合腔的结构设计，提高了第一气体、第二气体和目标气体的混合均匀性；
2.耗气量小；
渗透管在恒温下渗透稳定，目标气体的流量小，也无需大流量的第二气体；第一气体作为载气使用，无需大流量。
附图说明
参照附图，本实用新型的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本实用新型的技术方案，而并非意在对本实用新型的保护范围构成限制。图中：
图1是根据本实用新型实施例的标气提供装置的结构示意图。
具体实施方式
图1和以下说明描述了本实用新型的可选实施方式以教导本领域技术人员如何实施和再现本实用新型。为了教导本实用新型技术方案，已简化或省略了一些常规方面。本领域技术人员应该理解源自这些实施方式的变型或替换将在本实用新型的范围内。本领域技术人员应该理解下述特征能够以各种方式组合以形成本实用新型的多个变型。由此，本实用新型并不局限于下述可选实施方式，而仅由权利要求和它们的等同物限定。
实施例1：
图1给出了本实用新型实施例的标气提供装置的结构示意图，如图1所示，所述标气提供装置包括：
第一腔体31和渗透管32，所述渗透管32设置在所述第一腔体31内；
控温单元，所述控温单元用于控制所述第一腔体31内的温度，使得渗透管32的渗透速率稳定，目标气体的输出流量稳定；
第一定量单元11及多级温控单元，第一气体经过所述第一定量单元11后被所述多级温控单元调整温度，之后送所述第一腔体31；
第二定量单元12，第二气体经过所述第二定量单元12定量；
混合腔40，所述第一腔体31和所述第二定量单元12的出口分别连通所述混合腔40。
为了提高控温精度和降低控温难度，进一步地，所述多级温控单元包括：
传输管20，所述传输管20内分为至少二个部分，沿着第一气体的流动方向，各个部分的内径变小；
加热器，所述加热器用于加热各个部分内的第一气体。
为了提高气体混合的均匀性，进一步地，所述混合腔包括：
第二腔体，所述第二腔体被隔离件隔离为第一部分41、第二部分42和第三部分43；第一腔体31和所述第二定量单元12的出口分别连通所述第一部分41；
第一管道，所述第一管道的一端连通所述第一部分41，另一端延伸到所述第二部分42内；
第二管道，所述第二管道的一端连通所述第三部分43，另一端延伸到所述第二部分42内。
为了提高混合均匀性，进一步地，沿着从所述第一部41分到第二部分42的方向上，第一部分41和第二部分42间的第一隔离件的内径变小，内径最小处连通所述第一管道；
沿着从所述第二部分42到第三部分43的方向上，第二部分42和第三部分43间的第二隔离件的内径变大，内径最小处连通所述第二管道。
为了提高加热效率，进一步地，所述传输管内具有蜂窝状传输通道。
实施例2：
根据本实用新型实施例1的标气提供装置的应用例。
在该应用例中，如图1所示，第一气体依次流经第一定量单元11(流量计)和传输管20，之后进入第一腔体31内；在传输管20内，气体通道为蜂窝状，且在第一气体传输方向上，传输管分为三段21-23，且内径逐渐变小；加热器用于独立地加热各段内第一气体，使得在气体流动方向上，各段内的温度逐渐升高，在最后一段23，第一气体的温度达到第一腔体31内渗透管32的温度；
在第一腔体31内，渗透管32被加热并维持在一温度，使得在第一气体的吹扫下，渗透管32内目标气体的释放稳定，第一气体和目标气体的混合气进入混合腔40内；
第二气体经过第二定量单元12(流量计)后进入混合腔40；
第二腔体被隔离件隔离为第一部分41、第二部分42和第三部43分；第一腔体和所述第二定量单元12的出口分别连通所述第一部分41；沿着从所述第一部分41到第二部分42的方向上，第一部分41和第二部分42间的第一隔离件的内径变小，内径最小处连通第一管道；沿着从所述第二部分42到第三部分43的方向上，第二部分42和第三部分43间的第二隔离件的内径变大，内径最小处连通第二管道；第一管道的一端连通所述第一部分41，另一端延伸到所述第二部分42内；第二管道的一端连通所述第三部分43，另一端延伸到所述第二部分42内。
Claims (5)
1.标气提供装置，所述标气提供装置包括第一腔体和渗透管，所述渗透管设置在所述第一腔体内；其特征在于，所述标气提供装置还包括：
第一定量单元及多级温控单元，第一气体经过所述第一定量单元后被所述多级温控单元调整温度，之后送所述第一腔体；
第二定量单元，第二气体经过所述第二定量单元定量；
混合腔，所述第一腔体和所述第二定量单元的出口分别连通所述混合腔。
2.根据权利要求1所述的标气提供装置，其特征在于，所述多级温控单元包括：
传输管，所述传输管内分为至少二个部分，沿着第一气体的流动方向，各个部分的内径变小；
加热器，所述加热器用于加热各个部分内的第一气体。
3.根据权利要求1所述的标气提供装置，其特征在于，所述混合腔包括：
第二腔体，所述第二腔体被隔离件隔离为第一部分、第二部分和第三部分；第一腔体和所述第二定量单元的出口分别连通所述第一部分；
第一管道，所述第一管道的一端连通所述第一部分，另一端延伸到所述第二部分内；
第二管道，所述第二管道的一端连通所述第三部分，另一端延伸到所述第二部分内。
4.根据权利要求3所述的标气提供装置，其特征在于，沿着从所述第一部分到第二部分的方向上，第一部分和第二部分间的第一隔离件的内径变小，内径最小处连通所述第一管道；
沿着从所述第二部分到第三部分的方向上，第二部分和第三部分间的第二隔离件的内径变大，内径最小处连通所述第二管道。
5.根据权利要求2所述的标气提供装置，其特征在于，所述传输管内具有蜂窝状传输通道。
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