CN214515659U - 双流体分配作业xyz微调装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种双流体分配作业xyz微调装置，包括：z向微调机构，z向微调机构具有第一固定部和沿z轴移动的z向移动部，z向移动部上设有第一流体分配器；y向微调机构，y向微调机构具有第二固定部和沿y轴移动的y向移动部，第二固定部和第一固定部相对固定设置；x向微调机构，x向微调机构设在y向移动部上，x向微调机构具有沿x轴移动的x向移动部；x向粗调机构，x向粗调机构设在x向移动部上，x向粗调机构上设有可沿x轴移动的第二流体分配器。本实用新型利用y向微调机构、x向微调机构和x向粗调机构来调节第二流体分配器与第一流体分配器的相对位置关系，实现了两个产品相对位置改变时依然能够对两个产品同时加工。

Description

双流体分配作业xyz微调装置

技术领域

本实用新型属于三维微调装置技术领域，具体涉及一种双流体分配作业xyz微调装置。

背景技术

芯片进行点胶加工时，为加快点胶效率，通常需要对两个芯片进行同时点胶，而由于芯片在加工传输过程中位置会发生移动，导致两个需要被同时加工的芯片相对位置发生改变，导致现有技术中相对固定的双流体分配作业点胶机无法完成点胶加工。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种双流体分配作业xyz微调装置，该双流体分配作业xyz微调装置具有同时对相对位置变化的两个产品进行点胶的优点。

根据本实用新型实施例的双流体分配作业xyz微调装置，包括：z向微调机构，所述z向微调机构具有第一固定部和沿z轴移动的z向移动部，所述z向移动部上设有第一流体分配器；y向微调机构，所述y向微调机构具有第二固定部和沿y轴移动的y向移动部，所述第二固定部和所述第一固定部相对固定设置；x向微调机构，所述x向微调机构设在所述y向移动部上，所述x向微调机构具有沿x轴移动的x向移动部；x向粗调机构，所述x向粗调机构设在所述x向移动部上，所述x向粗调机构上设有可沿x轴移动的第二流体分配器。

本实用新型的有益效果是，本实用新型通过设置z向微调机构来调节第一流体分配器，利用y向微调机构、x向微调机构和x向粗调机构来调节第二流体分配器与第一流体分配器的相对位置关系，实现了两个产品相对位置改变时依然能够对着两个产品进行同时加工。

根据本实用新型一个实施例，所述第二固定部包括：y向微调机构定位板，所述y向微调机构定位板具有yz定位面和xz定位面，所述y向微调机构定位板设在Z向直线电机运动装置的一侧，所述yz定位面和所述xz定位面均与所述Z向直线电机运动装置相贴；y向微调机构安装座，所述y向微调机构安装座设在所述y向微调机构定位板的一侧。

根据本实用新型一个实施例，所述y向微调机构还包括：y向导向装置，所述y向导向装置的轴线与y轴平行，所述y向导向装置的一侧与所述y向微调机构安装座相连，所述y向导向装置的另一侧与所述y向移动部相连；y向调节装置，所述y向调节装置的一端设在所述y向微调机构安装座上，所述y向调节装置的另一端与所述y向移动部相连，以驱动所述y向移动部沿y向导向装置移动。

根据本实用新型一个实施例，所述y向移动部为y向微调机构滑动板，所述y向微调机构滑动板与所述x向微调机构相连。

根据本实用新型一个实施例，所述x向微调机构包括：x向微调机构安装座，所述x向微调机构安装座与所述y向微调机构滑动板相连；x向移动部，所述x向移动部为x向微调机构滑动板，所述x向微调机构滑动板与所述x向粗调机构相连；x向导向装置，所述x向导向装置的轴线与所述x轴平行，所述x向导向装置的一侧与所述x向微调机构安装座相连，所述x向导向装置的另一侧与所述x向微调机构滑动板相连；x向调节装置，所述x向调节装置的一端设在所述x向微调机构安装座上，所述x向调节装置的另一端与所述x向微调机构滑动板相连，以驱动所述x向微调机构滑动板沿x向导向装置移动。

根据本实用新型一个实施例，所述x向粗调机构包括：x向粗调机构安装板，所述x向粗调机构安装板的一侧与所述x向微调机构滑动板相连；x向粗调机构定位板，所述x向粗调机构定位板设在所述x向粗调机构安装板的下方，所述x向粗调机构定位板的一端向上延伸形成第一斜面；x向粗调机构夹紧板，所述x向粗调机构夹紧板设在所述x向粗调机构安装板的上方，所述x向粗调机构夹紧板的一端向下延伸形成第二斜面，所述第二斜面、所述第一斜面和所述x向粗调机构安装板的另一侧形成倒梯形固定槽；第二流体分配器安装板，所述第二流体分配器安装板卡设在所述倒梯形固定槽中，所述第二流体分配器安装板上设有第二流体分配器。

根据本实用新型一个实施例，所述x向粗调机构还包括：刻度尺，所述刻度尺沿x轴方向设在所述x向粗调机构安装板的另一侧上。

根据本实用新型一个实施例，所述z向微调机构包括：z向微调机构定位板，所述z向微调机构定位板设在Z向直线电机运动装置的另一侧；z向微调机构安装座，所述z向微调机构安装座设在所述z向微调机构定位板上；z向微调机构滑动板，所述z向微调机构滑动板设在所述z向微调机构安装座的侧面；z向导向装置，所述z向导向装置的轴线与z轴平行，所述z向导向装置的一侧与所述z向微调机构安装座相连，所述z向导向装置的另一侧与所述z向微调机构滑动板相连；z向调节装置，所述z向调节装置的一端与所述z向微调机构安装座相连，所述z向调节装置的另一端与所述z向微调机构滑动板相连，以驱动所述z向微调机构滑动板沿所述z向导向装置移动；转接板，所述转接板设在所述z向微调机构滑动板上；第一流体分配器安装板，所述第一流体分配器安装板与所述转接板相连，所述第一流体分配器安装板上设有第一流体分配器。

根据本实用新型一个实施例，所述y向调节装置、所述x向调节装置和所述z向调节装置均为电机。

根据本实用新型一个实施例，所述y向导向装置、所述x向导向装置和所述z向导向装置均为交叉滚子导轨。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的双流体分配作业xyz微调装置的立体结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的双流体分配作业xyz微调装置的y向微调机构的结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的双流体分配作业xyz微调装置的x向微调机构的结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的双流体分配作业xyz微调装置的x向粗调机构的结构示意图；

图5是根据本实用新型实施例的双流体分配作业xyz微调装置的z向微调机构的结构示意图；

附图标记：

z向直线电机运动装置-33、y向微调机构-41、x向微调机构-42、z向微调机构-43、x向粗调机构-44、y向微调机构定位板-41a、y向微调机构安装座-41b、y向调节装置-41c、y向导向装置-41d、y向微调机构滑动板-41e、x向微调机构安装座-42a、x向调节装置-42b、x向导向装置-42c、x向微调机构滑动板-42d、z向微调机构定位板-43a、z向微调机构安装座-43b、z向调节装置-43c、z向导向装置-43d、z向微调机构滑动板-43e、转接板-43f、第一流体分配器安装板-43g、x向粗调机构安装板-44a、x向粗调机构定位板-44b、x向粗调机构夹紧板-44c、第二流体分配器安装板-44d、刻度尺-44e。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考附图具体描述根据本实用新型实施例的双流体分配作业xyz微调装置。

如图1至图5所示，根据本实用新型实施例的双流体分配作业xyz微调装置，包括：z向微调机构43、y向微调机构41、x向微调机构42和x向粗调机构44，z向微调机构43具有第一固定部和沿z轴移动的z向移动部，z向移动部上设有第一流体分配器；y向微调机构41具有第二固定部和沿y轴移动的y向移动部，第二固定部和第一固定部相对固定设置；x向微调机构42设在y向移动部上，x向微调机构42具有沿x轴移动的x向移动部；x向粗调机构44设在x向移动部上，x向粗调机构44上设有可沿x轴移动的第二流体分配器。本实用新型通过设置z向微调机构43来调节第一流体分配器，利用y向微调机构41、x向微调机构42和x向粗调机构44来调节第二流体分配器与第一流体分配器的相对位置关系，实现了两个产品相对位置改变时依然能够对着两个产品进行同时加工。

如图2所示，第二固定部包括：y向微调机构定位板41a和y向微调机构安装座41b，y向微调机构定位板41a具有yz定位面和xz定位面，y向微调机构定位板41a设在Z向直线电机运动装置33的一侧，yz定位面和xz定位面均与Z向直线电机运动装置33相贴；y向微调机构安装座41b设在y向微调机构定位板41a的一侧，通过yz定位面和xz定位面对第二固定部进行固定，确保了第二固定部在空间上保持一个准确的基准位置，便于其他部件相对第二固定部做出位置改变。

如图2所示，y向微调机构41还包括：y向导向装置41d和y向调节装置41c，y向导向装置41d的轴线与y轴平行，y向导向装置41d的一侧与y向微调机构安装座41b相连，y向导向装置41d的另一侧与y向移动部相连；y向调节装置41c的一端设在y向微调机构安装座41b上，y向调节装置41c的另一端与y向移动部相连，以驱动y向移动部沿y向导向装置41d移动。进一步地，如图2所示，y向移动部为y向微调机构滑动板41e，y向微调机构滑动板41e与x向微调机构42相连。利用y向微调机构41驱动x向微调机构42沿y轴微调，单方向调节，使得调节的准确性更高，故障率降低。

如图2和图3所示，x向微调机构42包括：x向微调机构安装座42a，x向移动部，x向导向装置42c和x向调节装置42b，x向微调机构安装座42a与y向微调机构滑动板41e相连；x向移动部为x向微调机构滑动板42d，x向微调机构滑动板42d与x向粗调机构44相连；x向导向装置42c的轴线与x轴平行，x向导向装置42c的一侧与x向微调机构安装座42a相连，x向导向装置42c的另一侧与x向微调机构滑动板42d相连；x向调节装置42b的一端设在x向微调机构安装座42a上，x向调节装置42b的另一端与x向微调机构滑动板42d相连，以驱动x向微调机构滑动板42d沿x向导向装置42c移动。将x向导向装置42c的轴线设置为与x轴平行，确保了x向微调机构42只针对z轴方向进行微调，避免其他方向的干扰，提高了调节精度。

如图4所示，x向粗调机构44包括：x向粗调机构安装板44a，x向粗调机构定位板44b，x向粗调机构夹紧板44c和第二流体分配器安装板44d，x向粗调机构安装板44a的一侧与x向微调机构滑动板42d相连；x向粗调机构定位板44b设在x向粗调机构安装板44a的下方，x向粗调机构定位板44b的一端向上延伸形成第一斜面，x向粗调机构定位板44b在x方向的宽度与x向粗调机构安装板44a在x方向的宽度相同；x向粗调机构夹紧板44c设在x向粗调机构安装板44a的上方，x向粗调机构夹紧板44c可沿着x轴移动，以对任意位置的第二流体分配器安装板44d进行固定，x向粗调机构夹紧板44c的一端向下延伸形成第二斜面，第二斜面、第一斜面和x向粗调机构安装板44a的另一侧形成倒梯形固定槽；第二流体分配器安装板44d卡设在倒梯形固定槽中，第二流体分配器安装板44d上设有第二流体分配器。进一步地，如图4所示，x向粗调机构44还包括：刻度尺44e，刻度尺44e沿x轴方向设在x向粗调机构安装板44a的另一侧上。利用第二流体分配器安装板44d可沿刻度尺44e所在方向移动，进而对第二流体分配器和第一流体分配器之间的距离进行粗调，同时，第二斜面、第一斜面和x向粗调机构安装板44a的另一侧形成的倒梯形固定槽也便于对第二流体分配器安装板44d进行快速固定。

如图5所示，z向微调机构43包括：z向微调机构定位板43a，z向微调机构安装座43b，z向微调机构滑动板43e，z向导向装置43d，z向调节装置43c，转接板43f和第一流体分配器安装板43g，z向微调机构定位板43a设在Z向直线电机运动装置33的另一侧；z向微调机构安装座43b设在z向微调机构定位板43a上；z向微调机构滑动板43e设在z向微调机构安装座43b的侧面；z向导向装置43d的轴线与z轴平行，z向导向装置43d的一侧与z向微调机构安装座43b相连，z向导向装置43d的另一侧与z向微调机构滑动板43e相连；z向调节装置43c的一端与z向微调机构安装座43b相连，z向调节装置43c的另一端与z向微调机构滑动板43e相连，以驱动z向微调机构滑动板43e沿z向导向装置43d移动；转接板43f设在z向微调机构滑动板43e上；第一流体分配器安装板43g与转接板43f相连，第一流体分配器安装板43g上设有第一流体分配器。将z向微调机构43用于控制第一流体分配器进行z向微调，避免了控制第二流体分配器的部件过于臃肿，同时实现了z向微调机构43与y向微调机构41和x向微调机构42的分离，便于进行安装调试。

优选地，y向调节装置41c、x向调节装置42b和z向调节装置43c均为电机。

优选地，y向导向装置41d、x向导向装置42c和z向导向装置43d均为交叉滚子导轨。

工作时，z向直线电机运动装置33向下移动到第二流体分配器的加工高度，随后z向调节装置43c驱动第一流体分配器进行z向微调，使第一流体分配器对准第一个工件，接着y向调节装置41c驱动第二流体分配器沿y轴微调一定距离，x向调节装置42b驱动第二流体分配器沿x轴微调一定距离，使第二流体分配器对准第二个工件，实现了两个产品相对位置改变时依然能够对着两个产品进行同时加工。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，包括：

z向微调机构(43)，所述z向微调机构(43)具有第一固定部和沿z轴移动的z向移动部，所述z向移动部上设有第一流体分配器；

y向微调机构(41)，所述y向微调机构(41)具有第二固定部和沿y轴移动的y向移动部，所述第二固定部和所述第一固定部相对固定设置；

x向微调机构(42)，所述x向微调机构(42)设在所述y向移动部上，所述x向微调机构(42)具有沿x轴移动的x向移动部；

x向粗调机构(44)，所述x向粗调机构(44)设在所述x向移动部上，所述x向粗调机构(44)上设有可沿x轴移动的第二流体分配器。

2.根据权利要求1所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述第二固定部包括：

y向微调机构定位板(41a)，所述y向微调机构定位板(41a)具有yz定位面和xz定位面，所述y向微调机构定位板(41a)设在Z向直线电机运动装置(33)的一侧，所述yz定位面和所述xz定位面均与所述Z向直线电机运动装置(33)相贴；

y向微调机构安装座(41b)，所述y向微调机构安装座(41b)设在所述y向微调机构定位板(41a)的一侧。

3.根据权利要求2所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述y向微调机构(41)还包括：

y向导向装置(41d)，所述y向导向装置(41d)的轴线与y轴平行，所述y向导向装置(41d)的一侧与所述y向微调机构安装座(41b)相连，所述y向导向装置(41d)的另一侧与所述y向移动部相连；

y向调节装置(41c)，所述y向调节装置(41c)的一端设在所述y向微调机构安装座(41b)上，所述y向调节装置(41c)的另一端与所述y向移动部相连，以驱动所述y向移动部沿y向导向装置(41d)移动。

4.根据权利要求3所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述y向移动部为y向微调机构滑动板(41e)，所述y向微调机构滑动板(41e)与所述x向微调机构(42)相连。

5.根据权利要求4所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述x向微调机构(42)包括：

x向微调机构安装座(42a)，所述x向微调机构安装座(42a)与所述y向微调机构滑动板(41e)相连；

x向移动部，所述x向移动部为x向微调机构滑动板(42d)，所述x向微调机构滑动板(42d)与所述x向粗调机构(44)相连；

x向导向装置(42c)，所述x向导向装置(42c)的轴线与所述x轴平行，所述x向导向装置(42c)的一侧与所述x向微调机构安装座(42a)相连，所述x向导向装置(42c)的另一侧与所述x向微调机构滑动板(42d)相连；

x向调节装置(42b)，所述x向调节装置(42b)的一端设在所述x向微调机构安装座(42a)上，所述x向调节装置(42b)的另一端与所述x向微调机构滑动板(42d)相连，以驱动所述x向微调机构滑动板(42d)沿x向导向装置(42c)移动。

6.根据权利要求5所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述x向粗调机构(44)包括：

x向粗调机构安装板(44a)，所述x向粗调机构安装板(44a)的一侧与所述x向微调机构滑动板(42d)相连；

x向粗调机构定位板(44b)，所述x向粗调机构定位板(44b)设在所述x向粗调机构安装板(44a)的下方，所述x向粗调机构定位板(44b)的一端向上延伸形成第一斜面；

x向粗调机构夹紧板(44c)，所述x向粗调机构夹紧板(44c)设在所述x向粗调机构安装板(44a)的上方，所述x向粗调机构夹紧板(44c)的一端向下延伸形成第二斜面，所述第二斜面、所述第一斜面和所述x向粗调机构安装板(44a)的另一侧形成倒梯形固定槽；

第二流体分配器安装板(44d)，所述第二流体分配器安装板(44d)卡设在所述倒梯形固定槽中，所述第二流体分配器安装板(44d)上设有第二流体分配器。

7.根据权利要求6所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述x向粗调机构(44)还包括：

刻度尺(44e)，所述刻度尺(44e)沿x轴方向设在所述x向粗调机构安装板(44a)的另一侧上。

8.根据权利要求7所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述z向微调机构(43)包括：

z向微调机构定位板(43a)，所述z向微调机构定位板(43a)设在Z向直线电机运动装置(33)的另一侧；

z向微调机构安装座(43b)，所述z向微调机构安装座(43b)设在所述z向微调机构定位板(43a)上；

z向微调机构滑动板(43e)，所述z向微调机构滑动板(43e)设在所述z向微调机构安装座(43b)的侧面；

z向导向装置(43d)，所述z向导向装置(43d)的轴线与z轴平行，所述z向导向装置(43d)的一侧与所述z向微调机构安装座(43b)相连，所述z向导向装置(43d)的另一侧与所述z向微调机构滑动板(43e)相连；

z向调节装置(43c)，所述z向调节装置(43c)的一端与所述z向微调机构安装座(43b)相连，所述z向调节装置(43c)的另一端与所述z向微调机构滑动板(43e)相连，以驱动所述z向微调机构滑动板(43e)沿所述z向导向装置(43d)移动；

转接板(43f)，所述转接板(43f)设在所述z向微调机构滑动板(43e)上；

第一流体分配器安装板(43g)，所述第一流体分配器安装板(43g)与所述转接板(43f)相连，所述第一流体分配器安装板(43g)上设有第一流体分配器。

9.根据权利要求8所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述y向调节装置(41c)、所述x向调节装置(42b)和所述z向调节装置(43c)均为电机。

10.根据权利要求8所述的双流体分配作业xyz微调装置，其特征在于，所述y向导向装置(41d)、所述x向导向装置(42c)和所述z向导向装置(43d)均为交叉滚子导轨。

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