CN214477341U - 导向组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了导向组件，包括导向板，所述导向板底部一端设置有导向轮，所述导向板底部远离导向轮的一侧开设有凹槽，所述凹槽内部设置有导轮支架，所述导向板顶部设置有快插结构，所述快插结构中包括与导向板固定连接的固定架，所述固定架远离第一螺栓的一侧设置有夹板，所述夹板远离固定架的一侧顶部转动连接有第二螺栓。本实用新型用于半导体后道设备的导向组件设置有快插结构、套筒、限位杆、弹簧和橡胶颗粒，该装置通过若干个套筒中的限位杆在弹簧的弹力作用下，使得若干个接触块上的橡胶颗粒与驱动轴接触，起到了较好的防滑作用，再利用快插结构中的固定架和夹板对驱动轴进行夹持，提高了夹持的稳定性，便于更换。

Description

导向组件

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备零件技术领域，尤其涉及导向组件。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。

现有的半导体加工设备中，其导向组件为了保证导向的准确性，大都采用一体式结构，不易拆卸，在导向装置发生故障后，难以更换，给工作人员带来了不便；在对半导体进行导向时，由于驱动轴的转动幅度较大，其精准性较差。因此我们设计一种新型的导向组件。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的导向组件。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：导向组件，包括导向板，所述导向板底部一端设置有导向轮，所述导向板底部远离导向轮的一侧开设有凹槽，所述凹槽内部设置有导轮支架，所述导轮支架内部转动连接有第一滚轮和第二滚轮，所述导向板顶部靠近凹槽的一端设置有第一螺栓，所述第一螺栓贯穿导向板并与导轮支架顶部转动连接，所述导向板远离导向轮的一侧固定连接有固定板；

所述导向板顶部设置有快插结构，所述快插结构中包括与导向板固定连接的固定架，所述固定架远离第一螺栓的一侧设置有夹板，所述夹板远离固定架的一侧顶部转动连接有第二螺栓，所述固定架内顶部固定连接有套筒，所述套筒内壁滑动连接有限位杆，所述限位杆底部固定连接有接触块，所述接触块底部固定连接有若干个橡胶颗粒，所述接触块和套筒之间共同固定连接有弹簧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述导轮支架断面呈梯形设置，所述导轮支架远离导向轮的一侧与固定板滑动连接，所述导轮支架远离固定板的一侧壁与凹槽内侧壁滑动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一螺栓贯穿导向板并与导向板螺纹连接，所述第二螺栓贯穿夹板并与固定架螺纹连接，所述夹板与导向板顶部滑动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述套筒设置有多个，且数量不低于四个，相邻两个所述接触块之间相互贴合。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定架断面呈倒“L”形设置。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述导向板、导向轮、导轮支架、第一滚轮和第二滚轮均为防静电材料。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型用于半导体后道设备的导向组件设置有快插结构、套筒、限位杆、弹簧和橡胶颗粒，该装置通过若干个套筒中的限位杆在弹簧的弹力作用下，使得若干个接触块上的橡胶颗粒与驱动轴接触，起到了较好的防滑作用，再利用快插结构中的固定架和夹板对驱动轴进行夹持，提高了夹持的稳定性，便于更换，相较于传统的导向组件，该设计结构灵活性较强，便于适应不同尺寸规格的驱动轴，适用范围较广，值得大力推广。

2、本实用新型用于半导体后道设备的导向组件设置有第一螺栓、导轮支架、固定板和凹槽，该装置通过拧动第一螺栓带动导轮支架在固定板和凹槽之间滑动，来改变第一滚轮和第二滚轮的位置，提升了对半导体元件导向方向的准确性，使得半导体经过该导向组件的导向后，能够更加准确的朝同一方向运动，从而便于对半导体的平行度进行调节。

附图说明

图1为本实用新型提出的导向组件的正视图；

图2为本实用新型提出的导向组件中快插结构示意图；

图3为图2中A处的放大图；

图4为本实用新型提出的导向组件的接触块结构示意图。

图例说明：

1、导向板；2、导向轮；3、凹槽；4、导轮支架；5、第一螺栓；6、第一滚轮；7、第二滚轮；8、固定板；9、固定架；10、夹板；11、第二螺栓；12、套筒；13、限位杆；14、接触块；15、橡胶颗粒；16、弹簧；17、快插结构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：导向组件，包括导向板1，导向板1底部一端设置有导向轮2，导向板1底部远离导向轮2的一侧开设有凹槽3，凹槽3内部设置有导轮支架4，导轮支架4内部转动连接有第一滚轮6和第二滚轮7，导向板1顶部靠近凹槽3的一端设置有第一螺栓5，第一螺栓5贯穿导向板1并与导轮支架4顶部转动连接，导向板1远离导向轮2的一侧固定连接有固定板8；

导向板1顶部设置有快插结构17，快插结构17中包括与导向板1固定连接的固定架9，固定架9远离第一螺栓5的一侧设置有夹板10，夹板10远离固定架9的一侧顶部转动连接有第二螺栓11，固定架9内顶部固定连接有套筒12，套筒12内壁滑动连接有限位杆13，限位杆13底部固定连接有接触块14，接触块14底部固定连接有若干个橡胶颗粒15，接触块14和套筒12之间共同固定连接有弹簧16。该装置通过若干个套筒12中的限位杆13在弹簧16的弹力作用下，使得若干个接触块14上的橡胶颗粒15与驱动轴接触，起到了较好的防滑作用，再利用快插结构17中的固定架9和夹板10对驱动轴进行夹持，便于快速更换。

导轮支架4断面呈梯形设置，使得在半导体生产运输过程中，半导体能够沿导轮支架4的斜面滑入导向板1，不易发生卡死，提高了半导体的生产效率。导轮支架4远离导向轮2的一侧与固定板8滑动连接，导轮支架4远离固定板8的一侧壁与凹槽3内侧壁滑动连接，第一螺栓5贯穿导向板1并与导向板1螺纹连接，第二螺栓11贯穿夹板10并与固定架9螺纹连接，夹板10与导向板1顶部滑动连接，工作人员只需拧动第一螺栓5，即可轻易改变第一滚轮6和第二滚轮7的位置，使得半导体经过该导向组件的导向后，能够朝同一方向运动，提高了导向的准确性，从而便于对半导体的平行度进行调节。套筒12设置有多个，且数量不低于四个，多个接触块14与弧形的驱动轴接触时，橡胶颗粒15能够与其弧形的外壁更好的贴合，既起到了防滑的作用，又能够对外部的驱动轴进行辅助夹持，使其固定的更加稳固。相邻两个接触块14之间相互贴合，固定架9断面呈倒“L”形设置，导向板1、导向轮2、导轮支架4、第一滚轮6和第二滚轮7均为防静电材料。

工作原理：首先将固定架9套接在外部驱动轴上，驱动轴的外侧壁与橡胶颗粒15接触，由于套筒12和接触块14之间设置有弹簧16，使得不同接触块14上的橡胶颗粒15均与驱动轴的外壁紧密的贴合，并压缩不同的限位杆13收进套筒12中，此时驱动轴同时受到橡胶颗粒15、夹板10以及固定架9的夹持，便于对不同尺寸的驱动轴进行固定，其灵活性较强，适用的范围较广，便于对导向板1进行更换。在生产半导体时，工作人员拧动第一螺栓5，带动导轮支架4在固定板8和凹槽3之间滑动，来改变第一滚轮6和第二滚轮7的位置，提高了对半导体元件导向方向的准确性，使得半导体经过该导向组件的导向后，能够朝同一方向运动，从而便于对半导体的平行度进行调节。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.导向组件，包括导向板(1)，其特征在于：所述导向板(1)底部一端设置有导向轮(2)，所述导向板(1)底部远离导向轮(2)的一侧开设有凹槽(3)，所述凹槽(3)内部设置有导轮支架(4)，所述导轮支架(4)内部转动连接有第一滚轮(6)和第二滚轮(7)，所述导向板(1)顶部靠近凹槽(3)的一端设置有第一螺栓(5)，所述第一螺栓(5)贯穿导向板(1)并与导轮支架(4)顶部转动连接，所述导向板(1)远离导向轮(2)的一侧固定连接有固定板(8)；

所述导向板(1)顶部设置有快插结构(17)，所述快插结构(17)中包括与导向板(1)固定连接的固定架(9)，所述固定架(9)远离第一螺栓(5)的一侧设置有夹板(10)，所述夹板(10)远离固定架(9)的一侧顶部转动连接有第二螺栓(11)，所述固定架(9)内顶部固定连接有套筒(12)，所述套筒(12)内壁滑动连接有限位杆(13)，所述限位杆(13)底部固定连接有接触块(14)，所述接触块(14)底部固定连接有若干个橡胶颗粒(15)，所述接触块(14)和套筒(12)之间共同固定连接有弹簧(16)。

2.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于：所述导轮支架(4)断面呈梯形设置，所述导轮支架(4)远离导向轮(2)的一侧与固定板(8)滑动连接，所述导轮支架(4)远离固定板(8)的一侧壁与凹槽(3)内侧壁滑动连接。

3.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于：所述第一螺栓(5)贯穿导向板(1)并与导向板(1)螺纹连接，所述第二螺栓(11)贯穿夹板(10)并与固定架(9)螺纹连接，所述夹板(10)与导向板(1)顶部滑动连接。

4.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于：所述套筒(12)设置有多个，且数量不低于四个，相邻两个所述接触块(14)之间相互贴合。

5.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于：所述固定架(9)断面呈倒“L”形设置。

6.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于：所述导向板(1)、导向轮(2)、导轮支架(4)、第一滚轮(6)和第二滚轮(7)均为防静电材料。

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