CN214469672U - 一种水平甩干机自动平衡系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种水平甩干机自动平衡系统，包括底座、旋转电机、控制器和转子，旋转电机安装在底座内，旋转电机的工作轴与上方的转子传动连接在一起且驱动转子旋转，旋转电机和转子之间设置有供电用的感应线圈，旋转电机、感应线圈均与控制器电连接，转子分为上下两层，转子的底层设置有自动平衡装置，转子的顶部设置有晶片定位组件。本实用新型构思巧妙，结构布局合理，通过平衡电机驱动配重块的移动，实现自动调节平衡的功能，有效的减轻甩干作业中产生的振动，保护晶片不受破坏。

Description

一种水平甩干机自动平衡系统

技术领域

本实用新型涉及晶片甩干机领域，尤其涉及一种水平甩干机自动平衡系统。

背景技术

在晶片的生产过程中，在清洗工序过后，为保证下一道工序的顺利进行，需要经过脱除水分的甩干处理。现有的甩干设备多为悬臂式结构，旋转时会产生不平衡的离心力，导致晶片甩干机整体产生比较严重的振动。因此，如何开发一种水平甩干机自动平衡系统，以实现在甩干机运行时自动调整动平衡，减轻振动，保护晶片不受破坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种水平甩干机自动平衡系统，解决现有技术甩干机缺少平衡系统，工作时振动较严重的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型一种水平甩干机自动平衡系统，包括底座、旋转电机、控制器和转子，所述旋转电机安装在所述底座内，所述旋转电机的工作轴与上方的所述转子传动连接在一起且驱动所述转子旋转，所述旋转电机和转子之间设置有供电用的感应线圈，所述旋转电机、感应线圈均与所述控制器电连接，所述转子分为上下两层，所述转子的底层设置有自动平衡装置，所述转子的顶部设置有晶片定位组件，所述自动平衡装置与所述感应线圈连接。

进一步的，所述自动平衡装置包括平衡电机、螺杆和配重块，所述配重块螺纹连接在所述螺杆上，所述螺杆的一端连接在所述平衡电机的旋转轴上，所述平衡电机安装在所述转子的底面上，所述螺杆的另一端连接在支撑架，所述支撑架安装在所述转子的底面上，所述螺杆靠近所述平衡电机的一端设置有压电传感器所述压电传感器安装在靠近所述平衡电机一侧的另一个支撑架上；所述感应线圈与所述平衡电机连接并供电，所述平衡电机、所述压电传感器与所述控制器电连接。

进一步的，所述螺杆的上方设置有导轨，所述配重块上设置有导滑槽，所述导滑槽与所述导轨滑动配合，所述导轨与所述螺杆平行布置，所述导轨的两端定位连接在所述支撑架上。

进一步的，所述晶片定位组件包括晶片定位件，四个所述晶片定位件均布在所述转子的顶面上，相邻的两个所述晶片定位件之间形成晶片放置区。

进一步的，所述晶片放置区设置有四个。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果：

本实用新型一种水平甩干机自动平衡系统，包括底座、旋转电机、控制器和转子，旋转电机和转子之间设置有供电用的感应线圈，旋转电机、感应线圈均与控制器电连接，转子分为上下两层，转子的底层设置有自动平衡装置，转子的顶部设置有晶片定位组件，其中，自动平衡装置包括平衡电机、螺杆和配重块，配重块可移动的安装在螺杆上，螺杆与平衡电机的工作轴通过联轴器传动连接，螺杆旋转带动配重块水平移动；晶片定位组件包括晶片定位件，相邻的两个晶片定位件之间形成晶片放置区；工作时，晶片放置在晶片放置区上，使用前输入所放置晶片的重量，控制器根据偏差计算电机偏移量并发送数据，运行时通过设置在支撑架上的压电传感器检测振动偏心并发送给控制器，控制器计算后动态的发送给平衡电机调整位置，平衡电机电源通过感应线圈供电，平衡电机启动后通过连轴器带动螺杆旋转，从而带动配重块移动调整质心点。本实用新型构思巧妙，结构布局合理，通过平衡电机驱动配重块的移动，实现自动调节平衡的功能，有效的减轻甩干作业中产生的振动，保护晶片不受破坏。

附图说明

下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型水平甩干机自动平衡系统示意图；

图2为本实用新型水平甩干机自动平衡系统俯视图；

图3为本实用新型转子底部的自动平衡装置布置图；

图4为本实用新型图3中A位置自动平衡装置的放大图；

图5为本实用新型自动平衡装置的主视示意图；

附图标记说明：1、底座；2、旋转电机；3、控制器；4、转子；5、感应线圈；6、螺杆；7、导轨；8、配重块；9、晶片放置区；10、晶片定位件；11、平衡电机；12、压电传感器；13、支撑架。

具体实施方式

如图1-5所示，一种水平甩干机自动平衡系统，包括底座1、旋转电机2、控制器3和转子4，所述旋转电机2安装在所述底座1内，所述旋转电机2的工作轴与上方的所述转子4传动连接在一起且驱动所述转子4旋转，所述旋转电机2和转子4之间设置有供电用的感应线圈5，所述旋转电机2、感应线圈5均与所述控制器3电连接，所述控制器安装在所述底座1上，所述转子4分为上下两层，所述转子的底层设置有自动平衡装置，所述转子的顶部设置有晶片定位组件，所述自动平衡装置与所述感应线圈5连接。具体的，所述旋转电机2通过电线与电源直接连通实现供电，通电启动后，可带动所述转子作高速旋转运动。

具体的，如图3-5所示，所述自动平衡装置呈圆周均布设置有四组，包括平衡电机11、螺杆6和配重块8，所述配重块8通过螺纹连接在所述螺杆6上，所述螺杆6的一端通过联轴器连接在所述平衡电机11的旋转轴上，所述平衡电机11安装在所述转子4的底面上，所述螺杆6的另一端连接在支撑架13，以保持螺杆旋转时的稳定性，所述支撑架13安装在所述转子4的底面上，所述螺杆6靠近所述平衡电机11的一端设置有压电传感器12，所述压电传感器12安装在靠近所述平衡电机一侧的另一个支撑架13上；所述感应线圈5与所述平衡电机11连接并供电，所述平衡电机11、所述压电传感器12与所述控制器3电连接，以实现自动感应、自动供电和自动调节。此外，所述螺杆6的上方设置有导轨7，所述配重块8上设置有导滑槽，所述导滑槽与所述导轨7滑动配合，所述导轨7与所述螺杆6平行布置，所述导轨7的两端通过螺栓组件定位连接在所述支撑架13上。具体的导滑槽与所述导轨的截面形状相匹配，可以设置为圆形、方形或燕尾形。导轨的设置使得电机的旋转运动通过螺纹连接改变为配重块的直线移动，且移动时通过导轨、导滑槽的配合实现定位，保持移动的稳定性。

如图2所示，所述晶片定位组件包括晶片定位件10，四个所述晶片定位件10均布在所述转子4的顶面上，相邻的两个所述晶片定位件10之间形成晶片放置区9。所述晶片放置区9设置有四个。

本实用新型的工作过程如下：

首先，晶片放置在晶片放置区9上，使用前输入所放置晶片的重量，控制器3根据放置晶片槽的重量偏差计算重心，发送电信号给平衡电机11调整配重块8的偏移量，运行时通过压电传感器12检测振动偏心并发送给控制器3，控制器3计算后动态的的偏移量发送给平衡电机11启动信号进行调整配重块8的位置，平衡电机11的电源通过感应线圈5供电，平衡电机11启动后通过工作轴带动螺杆6旋转，从而带动配重块8水平直线移动调整质心点。移动过程中，导轨7对所述配重块8的顶部形成导向定位，保证移动过程的稳定性。

以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。

Claims (5)

1.一种水平甩干机自动平衡系统，包括底座、旋转电机、控制器和转子，所述旋转电机安装在所述底座内，所述旋转电机的工作轴与上方的所述转子传动连接在一起且驱动所述转子旋转，所述旋转电机和转子之间设置有供电用的感应线圈，所述旋转电机、感应线圈均与所述控制器电连接，其特征在于：所述转子分为上下两层，所述转子的底层设置有自动平衡装置，所述转子的顶部设置有晶片定位组件，所述自动平衡装置与所述感应线圈连接。

2.根据权利要求1所述的水平甩干机自动平衡系统，其特征在于：所述自动平衡装置包括平衡电机、螺杆和配重块，所述配重块螺纹连接在所述螺杆上，所述螺杆的一端连接在所述平衡电机的旋转轴上，所述平衡电机安装在所述转子的底面上，所述螺杆的另一端连接在支撑架，所述支撑架安装在所述转子的底面上，所述螺杆靠近所述平衡电机的一端设置有压电传感器，所述压电传感器安装在靠近所述平衡电机一侧的另一个支撑架上；所述感应线圈与所述平衡电机连接并供电，所述平衡电机、所述压电传感器与所述控制器电连接。

3.根据权利要求2所述的水平甩干机自动平衡系统，其特征在于：所述螺杆的上方设置有导轨，所述配重块上设置有导滑槽，所述导滑槽与所述导轨滑动配合，所述导轨与所述螺杆平行布置，所述导轨的两端定位连接在所述支撑架上。

4.根据权利要求1所述的水平甩干机自动平衡系统，其特征在于：所述晶片定位组件包括晶片定位件，四个所述晶片定位件均布在所述转子的顶面上，相邻的两个所述晶片定位件之间形成晶片放置区。

5.根据权利要求4所述的水平甩干机自动平衡系统，其特征在于：所述晶片放置区设置有四个。

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