CN203216220U - 龙门架立式晶片甩干机 - Google Patents

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张晓龙
唐元松
唐晓辉
刘同斐
刘备战
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Jiangsu Li Long Semiconductor Technology Co., Ltd.
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Abstract

本实用新型提供一种龙门架立式晶片甩干机，它包括机架，机架上安装电机，电机连接甩干机构，其甩干机构包括转子，晶片盒对称放置于转子上的安装孔内，晶片盒内的晶片数量相等，转子安装在转子支撑上并与主轴固定连接成一体，主轴安装在龙门架上，龙门架固定在机架上，主轴通过传动带轮连接电机；本实用新型采用龙门架支承转子，再由电机经带传动驱动转子旋转，完成甩干过程；与现有悬臂式晶片甩干机相比，能够有效减轻振动，工艺适应性好，而且能够根据需要重新设计转子增加承载晶片盒的数量。

Description

龙门架立式晶片甩干机
技术领域
本实用新型涉及一种晶片甩干设备，具体是指一种龙门架立式晶片甩干机。
背景技术
在衬底晶片的生产过程中，在清洗工序过后，为保证下一道工序的顺利进行，需要经过脱除水分的甩干处理。
目前，常用的晶片甩干机型转子为悬臂形式，利用离心原理，将附着在晶片上的水分甩干；悬臂式晶片甩干机按照转子的安装方式，又分为立式和倾斜式两种，悬臂式晶片甩干机主要存在如下问题：
1、由于悬臂式转子旋转时会产生不平衡的离心力，导致晶片甩干机整体产生较严重的振动；
2、晶片甩干片数较少，加工效率偏低；
3、部分机型转子转速固定或难以调整，工艺适应性不佳。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种龙门架立式晶片甩干机，采用龙门架支承转子，再由电机经带传动驱动转子旋转，完成甩干过程；与现有悬臂式晶片甩干机相比，能够有效减轻振动，工艺适应性好，而且能够根据需要重新设计转子增加承载晶片盒的数量。
为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是，一种龙门架立式晶片甩干机，它包括机架，机架上安装电机，电机连接甩干机构，其甩干机构包括转子，晶片盒对称放置于转子上的安装孔内，晶片盒内的晶片数量相等，转子安装在转子支撑上并与主轴固定连接成一体，主轴安装在龙门架上，龙门架固定在机架上，主轴通过传动带轮连接电机。
上述的龙门架立式晶片甩干机，其龙门架包括立柱与横梁。
上述的龙门架立式晶片甩干机，其龙门架与转子之间设置带有排水管的护罩。
上述的龙门架立式晶片甩干机，其主轴两端分别设置上轴承座与下轴承座，上轴承座安装在龙门架上，下轴承座安装在机架上。
上述的龙门架立式晶片甩干机，其电机由变频器驱动，同时设置漏电断路器。
上述的龙门架立式晶片甩干机，其机架底部设置减震垫铁。
本实用新型具有如下优点及有益技术效果：
1、本实用新型的龙门架立式晶片甩干机通过有效的结构改进与优化设计，利用龙门架结构支撑转子，配合机架底部设置的减震垫铁能够有效的减轻震动，提高甩干的效率；
2、本实用新型的龙门架立式晶片甩干机通过晶片盒对称放置且数量相等，能够有效增加单次甩干晶片的数量，同时使用方便、稳定可靠；
3、本实用新型的龙门架立式晶片甩干机通过设置漏电断路器与变频驱动，转子转速可以调整，适应性更强，工作更加安全稳定。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的俯视结构示意图。
上述图中：
1-机架； 2-电机； 3-传动带轮；4-左立柱； 5-横梁； 6-主轴； 7-上轴承座； 8-转子支撑； 9-转子； 10-右立柱； 11-晶片盒支柱； 12-护罩； 13-下轴承座； 14-按钮盒； 15-漏电断路器； 16-变频器； 17-启停开关； 18-调速旋钮； 19-定时器； 20-安装孔； 22-减震垫铁。
具体实施方式
如图所示，本实用新型的龙门架立式晶片甩干机，它包括机架1，机架1上安装电机2，电机2连接甩干机构，甩干机构包括转子9，晶片盒对称放置于转子9上的安装孔20内，由晶片盒支柱11支撑，晶片盒内的晶片数量相等，转子9安装在转子支撑8上并与主轴6固定连接成一体，主轴6安装在龙门架上，龙门架固定在机架1上，主轴6通过传动带轮3连接电机2，龙门架包括左立柱4、右立柱10与横梁5，龙门架与转子9之间设置带有排水管的护罩12；主轴6两端分别设置上轴承座7与下轴承座13，上轴承座7安装在龙门架的横梁5上，下轴承座13安装在机架1上；电机2由变频器16驱动，同时设置漏电断路器15；机架1底部设置减震垫铁22。
使用时，将晶片盒对称放置于转子9上的安装孔21内，并且盒内的晶片片数也对应相等；转子9与主轴6固连成一体，经过整体动态平衡；转子9由转子支撑8支撑，主轴6两端由上轴承座7和下轴承座14支承；电机2经由传动带轮3驱动转子9旋转，电机2由变频器16驱动，根据需要调整按钮盒14内的调速旋钮18和定时器19，确定电机转速和工作时间，然后打开启停开关17，整机开始运行，电机2的转速会在变频器16的面板上显示；甩出的水分由护罩12收集并经排水管排出；整机与地面通过减震垫铁22隔离，有效避免外界的振动影响。 
以上所述，仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型做其他形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是，凡是未脱离本实用新型方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种龙门架立式晶片甩干机，它包括机架，机架上安装电机，电机连接甩干机构，其特征在于：所述甩干机构包括转子，晶片盒对称放置于转子上的安装孔内，晶片盒内的晶片数量相等，转子安装在转子支撑上并与主轴固定连接成一体，主轴安装在龙门架上，龙门架固定在机架上，主轴通过传动带轮连接电机。
2.根据权利要求1所述的龙门架立式晶片甩干机，其特征在于：所述龙门架包括立柱与横梁。
3.根据权利要求1所述的龙门架立式晶片甩干机，其特征在于：所述龙门架与转子之间设置带有排水管的护罩。
4.根据权利要求1所述的龙门架立式晶片甩干机，其特征在于：所述主轴两端分别设置上轴承座与下轴承座，上轴承座安装在龙门架上，下轴承座安装在机架上。
5.根据权利要求1所述的龙门架立式晶片甩干机，其特征在于：所述电机由变频器驱动，同时设置漏电断路器。
6.根据权利要求1所述的龙门架立式晶片甩干机，其特征在于：所述机架底部设置减震垫铁。
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