CN214454929U - 一种掩膜版对位传送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种掩膜版对位传送装置，用于将掩膜版的送料和卸料，一侧设置有机械手，另一个伸入光刻机组内，包括相对设置的两个固定架、固定在两个固定架上的两条伸入光刻机组的输送滑轨，所述输送滑轨上滑动设置有输送组件；两个所述固定架之间设置有升降机构，所述升降机构上固定有用于转运掩膜版的转运装置，所述转运装置通过升降机构沿高于或者低于输送组件方向运动。相对于HMU，本装置可以避免人员接触掩膜版，极大减少人员带来的颗粒物超标，保证洁净度，减少大颗粒划伤光刻镜头的可能性。且通过设置转运组件和输送组件接力使用，完成掩膜版的转运和卸料工作，减少人力，提升工作效率。

Description

一种掩膜版对位传送装置

技术领域

本实用新型涉及精密件制造技术领域，更具体地说，涉及一种掩膜版对位传送装置。

背景技术

目前绝大部分光刻机上版需借助手动上版装置(HMU，Hander MeasurementUnit)，作业员抬版放置在HMU上，并通过手动转动螺杆矫正掩膜版的位置，推进光刻机放版，随后，光刻机进一步调整掩膜版的位置、角度，调整完成后，进行光刻。

HMU上版方式存在先天性的缺点，比如，由于过多人员参与无法保证掩膜版表面的洁净度、大颗粒掉落在掩膜版表面容易划伤光刻镜头、人员身上的静电容易造成静电累积、放版精度无法保证，会导致光刻机自我调整时间过长甚至调整失败现象等。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩膜版对位传送装置，用以解决上述背景技术中存在的技术问题。

本实用新型技术方案一种掩膜版对位传送装置，用于将掩膜版的送料和卸料，一侧设置有机械手，另一个伸入光刻机组内，包括相对设置的两个固定架、固定在两个固定架上的两条伸入光刻机组的输送滑轨，所述输送滑轨上滑动设置有输送组件；两个所述固定架之间设置有升降机构，所述升降机构上固定有用于转运掩膜版的转运装置，所述转运装置通过升降机构沿高于或者低于输送组件方向运动。

在一个优选的实施例中，所述转运装置包括与升降机构固定的升降盘、沿升降盘周向设置的四个电动滑轨，固定在电动滑轨上的支撑杆，以及与支撑杆远离电动滑轨端固定的夹持件，位于对位上的夹持件镜像对称设置，四个所述夹持件同时对掩膜版夹持。

在一个优选的实施例中，所述夹持件包括L形夹板，所述L形夹板的水平部设置有若干个滚珠，所述L形夹板竖直部且用于夹持一侧设置有防滑垫片。

在一个优选的实施例中，所述固定架上设置有限位条板，所述电动滑轨远离升降盘侧设置有卡槽，所述卡槽卡设在限位条板外部，且与限位条板滑动连接。

在一个优选的实施例中，所述升降机构包括穿过升降盘的丝杆和与丝杆底部固定的驱动组件，所述驱动组件包括设置在与丝杆底部固定的从动轮、与从动轮啮合的主动轮和与主动轮固定的伺服电机，所述伺服电机通过控制器控制运行。

在一个优选的实施例中，所述输送组件包括输送板，每一个输送滑轨上均设置有一个输送板，所述输送板上设置有防滑凸起。

本实用新型技术方案的有益效果是：

1.相对于HMU，本装置可以避免人员接触掩膜版，极大减少人员带来的颗粒物超标，保证洁净度，减少大颗粒划伤光刻镜头的可能性。且通过设置转运组件和输送组件接力使用，完成掩膜版的转运和卸料工作，减少人力，提升工作效率。

2.L形夹板的竖直部向外倾斜5度，保证掩膜版可以顺利放置到夹持件上，设置在竖直部的防滑垫片增加掩膜版侧边与L形夹板之间的摩擦力，避免掩膜版夹持过程中上滑。设置在L形夹板水平部的滚珠将滑动摩擦变为滚动摩擦，减小掩膜版与L形夹板水平部的摩擦力，避免对掩膜版造成损坏。

附图说明

图1为本实用新型正视图，

图2为本实用新型俯视图，

图3为本实用新型夹持件结构示意图，

图4为本实用新型固定架结构示意图。

附图标记说明：1机械手、2光刻机组、3固定架、4输送滑轨、5输送板、6防滑凸起、7升降盘、8电动滑轨、9支撑杆、10L形夹板、11滚珠、12防滑垫片、13限位条板、14卡槽、15丝杆、16伺服电机、17主动轮、18从动轮、19顶杆。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

参照图1-图4，本实用新型技术方案一种掩膜版对位传送装置，用于将掩膜版的送料和卸料，一侧设置有机械手1，另一个伸入光刻机组2内，包括相对设置的两个固定架3、固定在两个固定架3上的两条伸入光刻机组2的输送滑轨4，所述输送滑轨4上滑动设置有输送组件；两个所述固定架3之间设置有升降机构，所述升降机构上固定有用于转运掩膜版的转运装置，所述转运装置通过升降机构沿高于或者低于输送组件方向运动。

转运时，升降机构驱动转运机构向上运动并高于输送组件，机械手1抓取掩膜版并放置到转运机构上，转运机构夹紧掩膜版并通过升降机构向下运动，直至掩膜版与输送组件接触，即输送组件接住掩膜版，转运机构松开掩膜版并继续向下运动脱离掩膜版。通过上述步骤实现掩膜版的转运，然后通过输送滑轨4将装载有掩膜版的输送组件输送到光刻机组2内部，光刻机组2内的顶杆19将掩膜版从输送组件上顶起，至此完成掩膜版的传送工作。

卸料时，先通过输送组件将加工好的掩膜版从光刻机组2内运出，然后再利用转运装置接料，并通过机械手1将取料。

通过设置转运组件和输送组件接力使用，完成掩膜版的转运和卸料工作，无需人工准运，减少人力，提升工作效率。

所述转运装置包括与升降机构固定的升降盘7、沿升降盘7周向设置的四个电动滑轨8，固定在电动滑轨8上的支撑杆9，以及与支撑杆9远离电动滑轨8端固定的夹持件，位于对位上的夹持件镜像对称设置，四个所述夹持件同时对掩膜版夹持。

转运装置接料时，四个夹持件之间形成的区域面积大于掩膜版的面积，当掩膜版放置到夹持件上时再驱动电机滑轨运行，使得四个夹持件相互靠近，并将掩膜版牢牢夹住。

所述夹持件包括L形夹板10，所述L形夹板10的水平部设置有若干个滚珠11，所述L形夹板10竖直部且用于夹持一侧设置有防滑垫片12。L形夹板10的竖直部向外倾斜5度，保证掩膜版可以顺利放置到夹持件上，设置在竖直部的防滑垫片12增加掩膜版侧边与L形夹板10之间的摩擦力，避免掩膜版夹持过程中上滑。设置在L形夹板10水平部的四个滚珠11将滑动摩擦变为滚动摩擦，减小掩膜版与L形夹板10水平部的摩擦力，避免对掩膜版造成损坏。

所述固定架3上设置有限位条板13，所述电动滑轨8远离升降盘7侧设置有卡槽14，所述卡槽14卡设在限位条板13外部，且与限位条板13滑动连接。在转运机构上下移动过程中，卡槽14卡在限位条板13上并在限位条板13上上下运动，限位条板13与卡槽14滑动固定，保证转运机构运行平稳性。

所述升降机构包括穿过升降盘7的丝杆15和与丝杆15底部固定的驱动组件，所述驱动组件包括设置在与丝杆15底部固定的从动轮18、与从动轮18啮合的主动轮17和与主动轮17固定的伺服电机16，所述伺服电机16通过控制器控制运行。

所述输送组件包括输送板5，每一个输送滑轨4上均设置有一个输送板5，两个输送板5通过连接杆连接，所述输送板5上设置有防滑凸起6。输送板5上设置有通槽，与输送板5相邻的夹持件可从通槽中穿过。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本实用新型保护的范围。本实用新型中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。

Claims (6)

1.一种掩膜版对位传送装置，用于将掩膜版的送料和卸料，一侧设置有机械手，另一个伸入光刻机组内，其特征在于：包括相对设置的两个固定架、固定在两个固定架上的两条伸入光刻机组的输送滑轨，所述输送滑轨上滑动设置有输送组件；两个所述固定架之间设置有升降机构，所述升降机构上固定有用于转运掩膜版的转运装置，所述转运装置通过升降机构沿高于或者低于输送组件方向运动。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版对位传送装置，其特征在于：所述转运装置包括与升降机构固定的升降盘、沿升降盘周向设置的四个电动滑轨，固定在电动滑轨上的支撑杆，以及与支撑杆远离电动滑轨端固定的夹持件，位于对位上的夹持件镜像对称设置，四个所述夹持件同时对掩膜版夹持。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜版对位传送装置，其特征在于：所述夹持件包括L形夹板，所述L形夹板的水平部设置有若干个滚珠，所述L形夹板竖直部且用于夹持一侧设置有防滑垫片。

4.根据权利要求2所述的一种掩膜版对位传送装置，其特征在于：所述固定架上设置有限位条板，所述电动滑轨远离升降盘侧设置有卡槽，所述卡槽卡设在限位条板外部，且与限位条板滑动连接。

5.根据权利要求2所述的一种掩膜版对位传送装置，其特征在于：所述升降机构包括穿过升降盘的丝杆和与丝杆底部固定的驱动组件，所述驱动组件包括设置在与丝杆底部固定的从动轮、与从动轮啮合的主动轮和与主动轮固定的伺服电机，所述伺服电机通过控制器控制运行。

6.根据权利要求1所述的一种掩膜版对位传送装置，其特征在于：所述输送组件包括输送板，每一个输送滑轨上均设置有一个输送板，所述输送板上设置有防滑凸起。

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