CN214383791U - 一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，包括真空腔，所述真空腔的内部设有转动平台和加热模块，所述转动平台的上方设有旋转夹持件，所述旋转夹持件和转动平台均通过一个带传动机构连接有驱动组件，所述驱动组件和两个带传动机构均设置在传动室内，所述传动室位于真空腔的侧壁；通过设置转动平台，可在蒸发镀膜的过程中带动器件旋转，避免了进行多次镀膜，实现镀膜过程一次完成。且镀膜过程快、简化了圆柱形器件外表面的镀膜过程，可有效提高工作效率。

Description

一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置。

背景技术

真空蒸发镀膜技术是一种由物理方法生长薄膜材料的技术。广泛地应用于光学、电子学、能源开发、建筑机械、表面科学等科学研究领域。现代器件使得对真空镀膜技术的要求也越来越高，特别是对一些特殊形状(圆柱形)的器件外表面进行镀膜需要多次进行才能完成。由于真空蒸发镀膜过程需要在真空系统中进行，在镀膜过程中难以对需镀膜的位置进行直接调整，现有的装置很难满足对圆柱形器件外表面进行蒸发镀膜的要求。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，包括真空腔，所述真空腔的内部设有转动平台和加热模块，所述转动平台的上方设有旋转夹持件，所述旋转夹持件和转动平台均通过一个带传动机构连接有驱动组件，所述驱动组件和两个带传动机构均设置在传动室内，所述传动室位于真空腔的侧壁。

优选的，所述加热模块内部设有加热灯丝。

优选的，所述旋转夹持件包括旋转座、电动伸缩柱和夹爪，所述旋转座转动连接在真空腔的顶部内壁上，且所述电动伸缩柱连接旋转座和夹爪。

优选的，所述夹爪包括电动缸、连接座和两个相对设置的夹块，所述电动缸固定连接于电动伸缩柱，所述电动缸通过固定架与连接座固定连接，所述电动缸的活塞杆通过联轴器固定连接有滑杆，所述滑杆贯穿于连接座且固定连接有连接件，所述连接件的两侧均转动连接有两根连杆的一端，两侧所述连杆的另一端分别与两个夹块转动连接，所述连接座的下端还固定连接有限位滑槽，所述限位滑槽内滑动连接有两个限位滑块，两个所述限位滑块分别于两个夹块固定连接。

优选的，两个所述夹块的夹持面为内弧状，且两个所述夹块的夹持面上固定连接有防滑层。

优选的，所述驱动组件包括传动杆，所述传动杆与两个带传动机构的主动带轮固定连接，所述传动杆转动连接在传动室内，所述传动杆的一端固定连接从动锥齿轮，所述从动锥齿轮啮合连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮转动连接在传动室的内壁表面，所述主动锥齿轮连接有电机的输出轴，所述电机固定连接在传动室的外壁表面。

优选的，所述电机、电动伸缩柱和电动缸的驱动电路控制端与单片机系统连接，所述单片机系统通过串口通讯模块连接至计算机上位机系统，所述电机、电动伸缩柱和电动缸的驱动电路连接有电源，所述电源通过降压模块连接单片机系统。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1)该给圆柱形器件外表面镀膜的装置，通过设置转动平台，可在蒸发镀膜的过程中带动器件旋转，避免了进行多次镀膜，实现镀膜过程一次完成。且镀膜过程快、简化了圆柱形器件外表面的镀膜过程，可有效提高工作效率；工作时，将器件放置在转动平台表面后，关闭真空腔，并打开真空泵，对真空腔进行抽真空，等真空室的真空度降到指定的压强以下时，开启镀膜过程：启动电机，电机的输出轴带动主动锥齿轮转动，主动锥齿轮通过与从动锥齿轮的配合带动传动杆转动，传动杆通过两个带传动机构带动转动平台和旋转夹持件同步转动，然后启动加热模块，加热模块使蒸发材料蒸发，从而对器件的外表面进行均匀镀膜。

2)该给圆柱形器件外表面镀膜的装置，通过设置与转动平台同步旋转的旋转夹持件，可在对于需全身镀膜的器件作业时可对器件底部与转动平台接触面进行镀膜，从而可在无需打开真空腔的情况下实现器件的全身自动镀膜，可有效保证器件的镀膜质量，且提高了工作效率；当器件外表面镀膜完成后，关闭加热模块，当真空腔内温度降低至指定标准后，启动电动伸缩柱，电动伸缩柱带动夹爪下降，电动缸通过活塞杆带动滑杆回缩，滑杆带动连接件提升，连接件通过两侧的连杆带动两个夹块合拢，从而对器件进行夹持，当夹爪夹持完成后，电动伸缩柱带动器件提升；器件提升后再次启动加热模块，加热模块使蒸发材料蒸发继续进行镀膜，实现器件的全身镀膜。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的旋转夹持件的结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1真空腔、2转动平台、3加热模块、4带传动机构、5传动室、6旋转座、7电动伸缩柱、8夹爪、9电动缸、10连接座、11夹块、12固定架、13滑杆、14连接件、15连杆、16限位滑槽、17限位滑块、18传动杆、19从动锥齿轮、20主动锥齿轮、21电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～2，本实用新型提供一种技术方案：一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，包括真空腔1，真空腔1的内部设有转动平台2和加热模块3，转动平台2的上方设有旋转夹持件，旋转夹持件和转动平台2均通过一个带传动机构4连接有驱动组件，驱动组件和两个带传动机构4均设置在传动室5内，传动室5位于真空腔1的侧壁；通过设置转动平台2，可在蒸发镀膜的过程中带动器件旋转，避免了进行多次镀膜，实现镀膜过程一次完成。且镀膜过程快、简化了圆柱形器件外表面的镀膜过程，可有效提高工作效率；工作时，将器件放置在转动平台2表面后，关闭真空腔1并启动加热模块3，加热模块3使蒸发材料蒸发，从而对器件进行镀膜作业；在镀膜过程中，等真空腔1的真空度降到指定的压强以下时启动电机21，电机21的输出轴带动主动锥齿轮20转动，主动锥齿轮20通过与从动锥齿轮19的配合带动传动杆18转动，传动杆18通过两个带传动机构4带动转动平台2和旋转夹持件同步转动，从而对器件的外表面进行均匀镀膜。

其中，加热模块3内部设有加热灯丝。

其中，旋转夹持件包括旋转座6、电动伸缩柱7和夹爪8，旋转座6转动连接在真空腔1的顶部内壁上，且电动伸缩柱7连接旋转座6和夹爪8；夹爪8包括电动缸9、连接座10和两个相对设置的夹块11，电动缸9固定连接于电动伸缩柱7，电动缸9通过固定架12与连接座10固定连接，电动缸9的活塞杆通过联轴器固定连接有滑杆13，滑杆13贯穿于连接座10且固定连接有连接件14，连接件14的两侧均转动连接有两根连杆15的一端，两侧连杆15的另一端分别与两个夹块11转动连接，连接座10的下端还固定连接有限位滑槽16，限位滑槽16内滑动连接有两个限位滑块17，两个限位滑块17分别于两个夹块11固定连接；两个夹块11的夹持面为内弧状，且两个夹块11的夹持面上固定连接有防滑层；通过设置与转动平台2同步旋转的旋转夹持件，可在对于需全身镀膜的器件作业时可对器件底部与转动平台2接触面进行镀膜，从而可在无需打开真空腔1的情况下实现器件的全身自动镀膜，可有效保证器件的镀膜质量，且提高了工作效率；当器件外表面镀膜完成后，关闭加热模块3，当真空腔1内温度降低至指定标准后，启动电动伸缩柱7，电动伸缩柱7带动夹爪8下降，电动缸9通过活塞杆带动滑杆13回缩，滑杆13带动连接件14提升，连接件14通过两侧的连杆15带动两个夹块11合拢，从而对器件进行夹持，当夹爪完成夹持后，电动伸缩柱7带动器件提升；器件提升后再次启动加热模块3，加热模块3使蒸发材料蒸发继续进行镀膜，实现器件的全身镀膜。

其中，驱动组件包括传动杆18，传动杆18与两个带传动机构4的主动带轮固定连接，传动杆18转动连接在传动室5内，传动杆18的一端固定连接从动锥齿轮19，从动锥齿轮19啮合连接有主动锥齿轮20，主动锥齿轮20转动连接在传动室5的内壁表面，主动锥齿轮20连接有电机21的输出轴，电机21固定连接在传动室5的外壁表面。

其中，电机21、电动伸缩柱7和电动缸9的驱动电路控制端与单片机系统连接，单片机系统通过串口通讯模块连接至计算机上位机系统，电机21、电动伸缩柱7和电动缸9的驱动电路连接有电源，电源通过降压模块连接单片机系统。

工作原理

工作时，将器件放置在转动平台2表面后，关闭真空腔，并打开真空泵，对真空腔进行抽真空，等真空腔1的真空度降到指定的压强以下时，开启镀膜过程：启动电机21，电机21的输出轴带动主动锥齿轮20转动，主动锥齿轮20通过与从动锥齿轮19的配合带动传动杆18转动，传动杆18通过两个带传动机构4带动转动平台2和旋转夹持件同步转动。然后启动加热模块，加热模块使蒸发材料蒸发，从而对器件的外表面进行均匀镀膜。通过设置转动平台2，可在蒸发镀膜的过程中带动器件旋转，避免了进行多次镀膜，实现镀膜过程一次完成。且镀膜过程快、简化了圆柱形器件外表面的镀膜过程，可有效提高工作效率。

当器件外表面镀膜完成后，关闭加热模块3，当真空腔1内温度降低至指定标准后，启动电动伸缩柱7，电动伸缩柱7带动夹爪8下降，电动缸9通过活塞杆带动滑杆13回缩，滑杆13带动连接件14提升，连接件14通过两侧的连杆15带动两个夹块11合拢，从而对器件进行夹持，当夹爪完成夹持后，电动伸缩柱7带动器件提升；器件提升后再次启动加热模块3，加热模块3使蒸发材料蒸发继续进行镀膜，实现器件的全身镀膜；通过设置与转动平台2同步旋转的旋转夹持件，可在对于需全身镀膜的器件作业时可对器件底部与转动平台2接触面进行镀膜，从而可在无需打开真空腔1的情况下实现器件的全身自动镀膜，可有效保证器件的镀膜质量，且提高了工作效率。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型受权利要求书和其全部范围和等效物的限制。

Claims (7)

1.一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，包括真空腔(1)，其特征在于，所述真空腔(1)的内部设有转动平台(2)和加热模块(3)，所述转动平台(2)的上方设有旋转夹持件，所述旋转夹持件和转动平台(2)均通过一个带传动机构(4)连接有驱动组件，所述驱动组件和两个带传动机构(4)均设置在传动室(5)内，所述传动室(5)位于真空腔(1)的侧壁。

2.根据权利要求1所述的一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，其特征在于，所述加热模块(3)内部设有加热灯丝。

3.根据权利要求1所述的一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，其特征在于，所述旋转夹持件包括旋转座(6)、电动伸缩柱(7)和夹爪(8)，所述旋转座(6)转动连接在真空腔(1)的顶部内壁上，且所述电动伸缩柱(7)连接旋转座(6)和夹爪(8)。

4.根据权利要求3所述的一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，其特征在于，所述夹爪(8)包括电动缸(9)、连接座(10)和两个相对设置的夹块(11)，所述电动缸(9)固定连接于电动伸缩柱(7)，所述电动缸(9)通过固定架(12)与连接座(10)固定连接，所述电动缸(9)的活塞杆通过联轴器固定连接有滑杆(13)，所述滑杆(13)贯穿于连接座(10)且固定连接有连接件(14)，所述连接件(14)的两侧均转动连接有两根连杆(15)的一端，两侧所述连杆(15)的另一端分别与两个夹块(11)转动连接，所述连接座(10)的下端还固定连接有限位滑槽(16)，所述限位滑槽(16)内滑动连接有两个限位滑块(17)，两个所述限位滑块(17)分别于两个夹块(11)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，其特征在于，两个所述夹块(11)的夹持面为内弧状，且两个所述夹块(11)的夹持面上固定连接有防滑层。

6.根据权利要求1所述的一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，其特征在于，所述驱动组件包括传动杆(18)，所述传动杆(18)与两个带传动机构(4)的主动带轮固定连接，所述传动杆(18)转动连接在传动室(5)内，所述传动杆(18)的一端固定连接从动锥齿轮(19)，所述从动锥齿轮(19)啮合连接有主动锥齿轮(20)，所述主动锥齿轮(20)转动连接在传动室(5)的内壁表面，所述主动锥齿轮(20)连接有电机(21)的输出轴，所述电机(21)固定连接在传动室(5)的外壁表面。

7.根据权利要求6所述的一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，其特征在于，所述电机(21)、电动伸缩柱(7)和电动缸(9)的驱动电路控制端与单片机系统连接，所述单片机系统通过串口通讯模块连接至计算机上位机系统，所述电机(21)、电动伸缩柱(7)和电动缸(9)的驱动电路连接有电源，所述电源通过降压模块连接单片机系统。

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