CN214373174U - 一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，涉及反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置领域，现提出如下方案，其包括第一安装座和第二安装座，所述第一安装座固定安装有第一安装垫和第一插入套，所述第一安装垫内开设有第一插入槽，所述第一安装垫围成了上半部检测室，所述第二安装座内固定安装有第三安装垫和第二安装垫，所述第三安装垫开设有第二插入槽，所述第二安装垫上固定安装有第二插入套，所述第二安装垫围成了下半部检测室，所述第一安装座和所述第二安装座之间设有多个螺纹杆，所述螺纹杆设有位于所述第一安装座上方的稳定块，所述第一安装座和所述第二安装座之间固定安装有多个弹簧。

Description

一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置

技术领域

本实用新型涉及反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置领域，尤其涉及一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置。

背景技术

反应室盘是半导体制造生产设备中关键核心零件之一，其工作环境处于无尘高度真空条件下，对于漏真空的控制有着极高的要求,由于反应室盘工作的环境是处在无尘真空条件下的，对其连接外部的工作面上的密封要求是严格的，绝对不能有一丝漏真空。正因为如此，所以反应室盘在清洗完后，需要进行漏真空测试。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，包括第一安装座和第二安装座，所述第一安装座固定安装有第一安装垫和第一插入套，所述第一安装垫内开设有第一插入槽，所述第一安装垫围成了上半部检测室，所述第二安装座内固定安装有第三安装垫和第二安装垫，所述第三安装垫开设有第二插入槽，所述第二安装垫上固定安装有第二插入套，所述第二安装垫围成了下半部检测室，所述第一安装座和所述第二安装座之间设有多个螺纹杆，所述螺纹杆设有位于所述第一安装座上方的稳定块，所述第一安装座和所述第二安装座之间固定安装有多个弹簧。

优选的，所述第一安装垫位于所述第一插入套内，所述上半部检测室位于所述第一安装座的中间。

优选的，所述第二安装垫位于所述第三安装垫内，所述下半部检测室位于所述第二安装座的中间。

优选的，所述第一安装座和所述第二安装座的大小一致。

优选的，所述第一安装座的顶部开设有输入头，所述输入头与所述上半部检测室连通。

优选的，所述第一安装座活动贯穿所述螺纹杆，所述螺纹杆转动安装在所述第二安装座上。

本实用新型的有益效果为：

1，本实用新型通过第一安装垫、第二安装垫、第一插入套、第三安装垫、第一插入槽、上半部检测室和下半部检测室的设置，通过第一插入套卡入到第三安装垫内，第二插入套卡入到第一插入槽内，起到双层密封的作用，使得气密性更好，上半部检测室和下半部检测室组成了检测空间，通过这种设置操作简单，而且气密性强使用效果好。

2，本实用新型通过弹簧、螺纹杆和稳定块的设置，通过转动螺纹杆使得稳定块抵紧第一安装座，从而便于安装和拆卸。

附图说明

图1为本实用新型的提出的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置的主视结构示意图。

图2为本实用新型的提出的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置的第一安装座的俯视结构示意图。

图3为本实用新型的提出的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置第二安装座的俯视结构示意图。

图中标号：1第一安装座、2第二安装座、3第一安装垫、4第二安装垫、5第一插入套、6第三安装垫、7第一插入槽、8上半部检测室、9下半部检测室、10第二插入槽、11第二插入套、12弹簧、13螺纹杆、14稳定块、15输入头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，包括第一安装座1和第二安装座2，第一安装座1固定安装有第一安装垫3和第一插入套5，第一安装垫3内开设有第一插入槽7，第一安装垫3围成了上半部检测室8，第二安装座2内固定安装有第三安装垫6和第二安装垫4，第三安装垫6开设有第二插入槽10，第二安装垫4上固定安装有第二插入套11，第二安装垫4围成了下半部检测室9，第一安装座1和第二安装座2之间设有多个螺纹杆13，螺纹杆13设有位于第一安装座1上方的稳定块14，第一安装座1和第二安装座2之间固定安装有多个弹簧12。

第一安装垫3位于第一插入套5内，上半部检测室8位于第一安装座1的中间，第二安装垫4位于第三安装垫6内，下半部检测室9位于第二安装座2的中间，第一安装座1和第二安装座2的大小一致，第一安装座1的顶部开设有输入头15，输入头15与上半部检测室8连通，第一安装座1活动贯穿螺纹杆13，螺纹杆13转动安装在第二安装座2上。

工作原理：在本实用新型作业时，将氦气测漏装置放置到上半部检测室8和下半部检测室9之间，上半部检测室8和下半部检测室9组成了检测空间，同时转动多个螺纹杆13，使得稳定块14向下移动，稳定块14会抵紧第一安装座1，此时弹簧12会收缩，通过第一插入套5卡入到第三安装垫6内，第二插入套11卡入到第一插入槽7内，起到双层密封的作用，使得气密性更好，通过输入头15分别与真空泵和氦气测漏机相连，启动真空泵，将异形检测空间内部抽至真空，然后，启动氦气测漏机喷入氦气，观察氦气测漏仪的状况，从而判断真空状况，通过这种设置操作简单，而且气密性强使用效果好。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，包括第一安装座(1)和第二安装座(2)，其特征在于，所述第一安装座(1)固定安装有第一安装垫(3)和第一插入套(5)，所述第一安装垫(3)内开设有第一插入槽(7)，所述第一安装垫(3)围成了上半部检测室(8)，所述第二安装座(2)内固定安装有第三安装垫(6)和第二安装垫(4)，所述第三安装垫(6)开设有第二插入槽(10)，所述第二安装垫(4)上固定安装有第二插入套(11)，所述第二安装垫(4)围成了下半部检测室(9)，所述第一安装座(1)和所述第二安装座(2)之间设有多个螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)设有位于所述第一安装座(1)上方的稳定块(14)，所述第一安装座(1)和所述第二安装座(2)之间固定安装有多个弹簧(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述第一安装垫(3)位于所述第一插入套(5)内，所述上半部检测室(8)位于所述第一安装座(1)的中间。

3.根据权利要求1所述的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述第二安装垫(4)位于所述第三安装垫(6)内，所述下半部检测室(9)位于所述第二安装座(2)的中间。

4.根据权利要求1所述的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述第一安装座(1)和所述第二安装座(2)的大小一致。

5.根据权利要求1所述的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述第一安装座(1)的顶部开设有输入头(15)，所述输入头(15)与所述上半部检测室(8)连通。

6.根据权利要求1所述的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述第一安装座(1)活动贯穿所述螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)转动安装在所述第二安装座(2)上。

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