CN214351611U - 一种用于硅片加工的砂片机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种用于硅片加工的砂片机，包括砂片机本体，所述砂片机本体的顶部安装有抛光盘，所述砂片机本体的顶部固定连接有支撑杆。该用于硅片加工的砂片机，通过设置电机、转动齿圈、联动轮、联动轴、主动轮、驱动轴、伸缩套、调节齿轮、驱动螺杆、夹持顶杆和伸缩套，启动电机，电机带动驱动轴转动，使得主动轮转动，主动轮通过带动联动轮转动使得转动齿圈开始转动，转动齿圈可同时带动三个调节齿轮转动来带动三个驱动螺杆转动，解决了传统砂片机上的夹具安装件只能安装单一的夹具，使得不同尺寸的一些硅片不能使用与其相匹配的夹具进行加工，导致加工效果不好，需要增多后续处理工序的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种用于硅片加工的砂片机。
背景技术
硅片在制造元器件之前需要进行抛光处理，由于在抛光时需要对硅片进行限位，因此需要在砂片机上安装夹具，避免硅片从抛光盘上落下，传统的砂片机通过使用安装件对夹具的顶座进行安装夹持，但是传统的砂片机无法根据一些夹具的大小对不同的夹具进行安装，导致一些尺寸不同的硅片不能通过与其相对应的夹具进行装夹，若临时使用别的装夹具进行装夹，虽然可以进行限位，但是不可避免地会出现一些诸如抖动，震荡之类的微弱偏移，使得硅片上出现较多的划痕，导致后续的处理工序变多。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于硅片加工的砂片机，具备可根据一些夹具的尺寸调节机体上安装件的位置，增强了对一些不同夹具适应性的优点，解决了传统砂片机上的夹具安装件只能安装单一的夹具，使得不同尺寸的一些硅片不能使用与其相匹配的夹具进行加工，导致加工效果不好，需要增多后续处理工序的问题。
(二)技术方案
为实现上述可根据一些夹具的尺寸调节机体上安装件的位置，增强了对一些不同夹具适应性的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片加工的砂片机，包括砂片机本体，所述砂片机本体的顶部安装有抛光盘，所述砂片机本体的顶部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶端固定连接有顶连板，所述顶连板的顶部固定连接有电机，所述顶连板的下方设有固定转框，所述固定转框的侧表面固定连接有固定臂，所述固定臂与支撑杆的侧表面固定连接，所述固定转框的侧内壁开设有转槽，所述转槽中设有转动齿圈，所述转动齿圈的侧表面固定连接有滑块，所述滑块与转槽滑动连接。
所述转动齿圈的内部设有主动轮，所述主动轮的顶部固定连接有驱动轴，所述驱动轴的顶端与电机的输出端固定连接，所述转动齿圈的内部设有联动轮，所述联动轮的数量为三个，所述联动轮的内部的固定连接有联动轴，所述联动轴的顶端与顶连板的底部转动连接，所述主动轮与联动轮传动连接，所述联动轮与转动齿圈传动连接，所述砂片机本体的顶部固定连接有立杆，所述立杆的数量为三个，三个所述立杆的顶部均固定连接有伸缩套，三个所述伸缩套的内部均转动连接有驱动螺杆，三个所述驱动螺杆的侧表面传动连接有伸缩块，所述伸缩块与伸缩套的侧内壁滑动连接，三个所述伸缩块的底部均固定连接有夹持顶杆，三个驱动螺杆互相远离的一端均固定连接有调节齿轮，三个所述调节齿轮均与转动齿圈传动连接。
优选的，所述驱动轴的顶端贯穿顶连板的底部并延伸出顶连板，所述驱动轴与顶连板转动连接。
优选的，三个所述联动轮以驱动轴为圆心在转动齿圈的内部圆周分布，相邻的两个所述联动轮之间的角度相同。
优选的，所述主动轮的侧表面开设有轮齿，所述联动轮的侧表面开设有轮齿，所述主动轮的轮齿与联动轮的轮齿匹配，所述转动齿圈的侧内壁开设有轮齿，所述联动轮的轮齿与转动齿圈的轮齿匹配。
优选的，三个所述立杆以抛光盘的中心为圆心圆周分布，相邻的两个所述立杆之间的角度相同。
优选的，三个所述驱动螺杆互相远离的一端均贯穿伸缩套的内壁，并延伸出伸缩套。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于硅片加工的砂片机，具备以下有益效果：
该用于硅片加工的砂片机，通过设置电机、转动齿圈、联动轮、联动轴、主动轮、驱动轴、伸缩套、调节齿轮、驱动螺杆、夹持顶杆和伸缩套，启动电机，电机带动驱动轴转动，使得主动轮转动，主动轮通过带动联动轮转动使得转动齿圈开始转动，转动齿圈可同时带动三个调节齿轮转动来带动三个驱动螺杆转动，以此调节伸缩块的位置，使得三个夹持顶杆可根据夹具顶座的外径调节夹持长度，以此来夹持安装一些不同尺寸的夹具，解决了传统砂片机上的夹具安装件只能安装单一的夹具，使得不同尺寸的一些硅片不能使用与其相匹配的夹具进行加工，导致加工效果不好，需要增多后续处理工序的问题。
附图说明
图1为本实用新型主视结构示意图；
图2为本实用新型图1中A-A面的剖面图；
图3为本实用新型图1中B-B面的剖面图。
其中：1、砂片机本体；2、抛光盘；3、支撑杆；4、顶连板；5、电机；6、固定转框；7、固定臂；8、转槽；9、转动齿圈；10、滑块；11、联动轮；12、联动轴；13、主动轮；14、驱动轴；15、伸缩套；16、立杆；17、调节齿轮；18、驱动螺杆；19、伸缩块；20、夹持顶杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供了一种用于硅片加工的砂片机，包括砂片机本体1，砂片机本体1的顶部安装有抛光盘2，砂片机本体1的顶部固定连接有支撑杆3，支撑杆3的顶端固定连接有顶连板4，顶连板4的顶部固定连接有电机5，顶连板4的下方设有固定转框6，固定转框6的侧表面固定连接有固定臂7，固定臂7与支撑杆3的侧表面固定连接，固定转框6的侧内壁开设有转槽8，转槽8中设有转动齿圈9，转动齿圈9的侧表面固定连接有滑块10，滑块10与转槽8滑动连接，即转动齿圈9可在固定转框6中转动。
转动齿圈9的内部设有主动轮13，主动轮13的顶部固定连接有驱动轴14，驱动轴14的顶端贯穿顶连板4的底部并延伸出顶连板4，驱动轴14与顶连板4转动连接，驱动轴14的顶端与电机5的输出端固定连接，转动齿圈9的内部设有联动轮11，联动轮11的数量为三个，三个联动轮11以驱动轴14为圆心在转动齿圈9的内部圆周分布，相邻的两个联动轮11之间的角度相同，联动轮11的内部的固定连接有联动轴12，联动轴12的顶端与顶连板4的底部转动连接，主动轮13的侧表面开设有轮齿，联动轮11的侧表面开设有轮齿，主动轮13的轮齿与联动轮11的轮齿匹配，转动齿圈9的侧内壁开设有轮齿，联动轮11的轮齿与转动齿圈9的轮齿匹配，主动轮13与联动轮11传动连接，联动轮11与转动齿圈9传动连接，主动轮13通过带动联动轮11转动使得转动齿圈9开始转动，砂片机本体1的顶部固定连接有立杆16，立杆16的数量为三个，三个立杆16以抛光盘2的中心为圆心圆周分布，相邻的两个立杆16之间的角度相同，三个立杆16的顶部均固定连接有伸缩套15，三个伸缩套15的内部均转动连接有驱动螺杆18，三个驱动螺杆18的侧表面传动连接有伸缩块19，伸缩块19与伸缩套15的侧内壁滑动连接，三个伸缩块19的底部均固定连接有夹持顶杆20，夹持顶杆20用于固定夹具，通过移动三个伸缩块19的位置，同时等距地调节三个夹持顶杆20的夹持长度，即三个夹持顶杆20可根据夹具顶座的外径调节夹持长度，以此来夹持安装一些不同尺寸的夹具，三个驱动螺杆18互相远离的一端均贯穿伸缩套15的内壁，并延伸出伸缩套15，三个驱动螺杆18互相远离的一端均固定连接有调节齿轮17，三个调节齿轮17均与转动齿圈9传动连接，转动齿圈9可同时带动三个调节齿轮17转动来带动三个驱动螺杆18转动，以此调节伸缩块19的位置。
在使用时，启动电机5，电机5带动驱动轴14转动，使得主动轮13转动，主动轮13通过带动联动轮11转动使得转动齿圈9开始转动，转动齿圈9同时带动三个调节齿轮17转动，三个驱动螺杆18开始同时转动，伸缩块19开始带着夹持顶杆20移动，使得三个夹持顶杆20可根据夹具顶座的外径调节夹持长度，以此来夹持安装一些不同尺寸的夹具。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种用于硅片加工的砂片机，包括砂片机本体(1)，其特征在于：所述砂片机本体(1)的顶部安装有抛光盘(2)，所述砂片机本体(1)的顶部固定连接有支撑杆(3)，所述支撑杆(3)的顶端固定连接有顶连板(4)，所述顶连板(4)的顶部固定连接有电机(5)，所述顶连板(4)的下方设有固定转框(6)，所述固定转框(6)的侧表面固定连接有固定臂(7)，所述固定臂(7)与支撑杆(3)的侧表面固定连接，所述固定转框(6)的侧内壁开设有转槽(8)，所述转槽(8)中设有转动齿圈(9)，所述转动齿圈(9)的侧表面固定连接有滑块(10)，所述滑块(10)与转槽(8)滑动连接；
所述转动齿圈(9)的内部设有主动轮(13)，所述主动轮(13)的顶部固定连接有驱动轴(14)，所述驱动轴(14)的顶端与电机(5)的输出端固定连接，所述转动齿圈(9)的内部设有联动轮(11)，所述联动轮(11)的数量为三个，所述联动轮(11)的内部的固定连接有联动轴(12)，所述联动轴(12)的顶端与顶连板(4)的底部转动连接，所述主动轮(13)与联动轮(11)传动连接，所述联动轮(11)与转动齿圈(9)传动连接，所述砂片机本体(1)的顶部固定连接有立杆(16)，所述立杆(16)的数量为三个，三个所述立杆(16)的顶部均固定连接有伸缩套(15)，三个所述伸缩套(15)的内部均转动连接有驱动螺杆(18)，三个所述驱动螺杆(18)的侧表面传动连接有伸缩块(19)，所述伸缩块(19)与伸缩套(15)的侧内壁滑动连接，三个所述伸缩块(19)的底部均固定连接有夹持顶杆(20)，三个驱动螺杆(18)互相远离的一端均固定连接有调节齿轮(17)，三个所述调节齿轮(17)均与转动齿圈(9)传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的砂片机，其特征在于：所述驱动轴(14)的顶端贯穿顶连板(4)的底部并延伸出顶连板(4)，所述驱动轴(14)与顶连板(4)转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的砂片机，其特征在于：三个所述联动轮(11)以驱动轴(14)为圆心在转动齿圈(9)的内部圆周分布，相邻的两个所述联动轮(11)之间的角度相同。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的砂片机，其特征在于：所述主动轮(13)的侧表面开设有轮齿，所述联动轮(11)的侧表面开设有轮齿，所述主动轮(13)的轮齿与联动轮(11)的轮齿匹配，所述转动齿圈(9)的侧内壁开设有轮齿，所述联动轮(11)的轮齿与转动齿圈(9)的轮齿匹配。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的砂片机，其特征在于：三个所述立杆(16)以抛光盘(2)的中心为圆心圆周分布，相邻的两个所述立杆(16)之间的角度相同。
6.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的砂片机，其特征在于：三个所述驱动螺杆(18)互相远离的一端均贯穿伸缩套(15)的内壁，并延伸出伸缩套(15)。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202022690369.3U CN214351611U (zh) | 2020-11-19 | 2020-11-19 | 一种用于硅片加工的砂片机 |
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| CN214351611U true CN214351611U (zh) | 2021-10-08 |
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2020
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