CN214350253U - 一种抽尘机构和激光抽尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种抽尘机构和激光抽尘装置,所述抽尘机构包括第一主体件，所述第一主体件上设有导流通孔以及导流槽，所述导流槽由所述导流通孔贯穿至所述第一主体件的外侧壁；第二主体件，所述第二主体件与所述第一主体件可拆卸式连接，其上设有供激光通过的通光孔，所述第二主体件与所述第一主体件连接后覆盖所述导流通孔以及导流槽，所述通光孔沿自身轴向的投影位于所述导流通孔内；其中，所述第二主体件的外侧壁设有凹口，所述凹口所在的外侧壁与所述第一主体件被所述导流槽贯穿的外侧壁同侧，所述凹口在所述第二主体件和第一主体件的接触面上与所述导流槽连通，便于拆装及后期维护。

Description

一种抽尘机构和激光抽尘装置

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种抽尘机构和激光抽尘装置。

背景技术

随着激光加工技术的快速发展，激光切割是激光加工中比较常见，应用也比较广泛的一种方式。

激光加工中对低介电常数(Low-k)膜及铜质材料进行激光开槽，由于激光加工会使加工位置材料的瞬间汽化，汽化的材料在降温后固化，不可避免的会产生大量烟尘、异味以及粉尘，如果不对其进行处理，会污染环境，影响工件的下段加工，造成生产良率的下降，长时间附着在激光镜片表面会影响激光加工机的使用寿命。

现有的抽尘机构一般采用整体式的结构，结构过大，且抽尘过程中由于大量的烟雾及粉尘同时要通过抽尘口进入管道，容易在抽尘口堵塞，且整体式结构不便于拆装，对于内部气流道和腔体的清洗和维护也不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种便于拆装维护的抽尘机构和激光抽尘装置。

本实用新型公开了一种抽尘机构,包括第一主体件，所述第一主体件上设有导流通孔以及导流槽，所述导流槽由所述导流通孔贯穿至所述第一主体件的外侧壁；第二主体件，所述第二主体件与所述第一主体件可拆卸式连接，其上设有供激光通过的通光孔，所述第二主体件与所述第一主体件连接后覆盖所述导流通孔以及导流槽，所述通光孔沿自身轴向的投影位于所述导流通孔内；其中，所述第二主体件的外侧壁设有凹口，所述凹口所在的外侧壁与所述第一主体件被所述导流槽贯穿的外侧壁同侧，所述凹口在所述第二主体件和第一主体件的接触面上与所述导流槽连通。

可选的，所述第一主体件上设有两个所述导流槽，两个所述导流槽与导流通孔连通的一端的两个槽口位于所述导流通孔内相对的孔壁上，所述两个导流槽另一端的槽口在同一位置贯穿所述第一主体件的外侧壁。

可选的，所述第二主体件设置有用于容纳激光头的容置腔，所述容置腔的底部设置有挡尘板，所述通光孔设置在所述挡尘板上。

可选的，所述挡尘板呈锥形漏斗状，所述挡尘板伸入至所述导流通孔内，以在所述挡尘板的外壁上形成导流面。

可选的，所述挡尘板底部与所述第一主体件的底部平齐。

可选的，所述抽尘机构还包括抽尘管，所述抽尘管同时与所述凹口和导流槽于第一主体件外侧壁上的槽口连通，所述抽尘管用于与抽尘动力源连接。

可选的，所述抽尘管包括挡板和气管，所述挡板与所述第一主体件和第二主体件可拆卸连接，并覆盖所述凹口和导流槽的槽口，所述气管穿过所述挡板同时与所述凹口和导流槽连通。

可选的，两个所述导流槽的槽口抽尘方向均与所述抽尘管的抽尘方向平行。

可选的，所述第一主体件和所述第二主体件呈矩形体或圆柱体。

本实用新型还公开了一种激光抽尘装置，包括上述所述的抽尘机构、激光头以及抽尘动力源，所述激光头与所述第二主体件连接，所述抽尘动力源与所述凹口和导流槽连通。

本实用新型的抽尘机构通过第一主体件和第二主体件组合而成的特殊腔体，抽尘动力源产生的负压并经所述导流槽传递至所述导流通孔内以对粉尘进行吸除，第一主体件的导流槽和第二主体件的凹口共同形成了抽尘口，增大了抽尘口的容积，提高抽尘效率，防止堵塞，且第一主体件和第二主体件之间可拆卸连接，结构更小，便于脱模，加工成本低，在拆卸后内部腔体各自暴露，方便清洗，便于维护。

附图说明

所包括的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本实用新型的实施方式，并与文字描述一起来阐释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

在附图中：

图1是本实用新型的一实施例的一种抽尘机构整体结构示意图；

图2是本实用新型的一实施例的第一主体件和第二主体件组合的示意图；

图3是本实用新型的一实施例的第一主体件的示意图；

图4是本实用新型的一实施例的第二主体件的示意图；

图5是本实用新型的一实施例的抽尘机构的剖面立体结构的示意图；

图6是本实用新型的一实施例的抽尘机构的剖面结构的示意图。

图7是本实用新型的一实施例的抽尘机构整体结构轴侧的示意图；

图8是本实用新型的一实施例的抽尘管结构的示意图。

其中，100、第一主体件；200、第二主体件；110、导流槽；120、导流通孔；210、通光孔；220、凹口；230、容置腔；240、挡尘板；241、导流面；300、抽尘管；310、挡板；320、气管。

具体实施方式

需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本实用新型可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。

在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

下面参考附图和可选的实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1至图8所示，本实用新型实施例公开了一种抽尘机构，其用于与抽尘动力源相配合以吸除激光头加工工件时所产生的烟尘异味等废气废物，抽尘机构包括第一主体件100和第二主体件200，所述第一主体件100上设有导流通孔120以及导流槽110，所述导流槽110由所述导流通孔120贯穿至所述第一主体件100的外侧壁；所述第二主体件200与所述第一主体件100可拆卸式连接，其上设有供激光通过的通光孔210，所述第二主体件200与所述第一主体件100连接后覆盖所述导流通孔120以及导流槽110，所述通光孔210沿自身轴向的投影位于所述导流通孔120内；其中，所述第二主体件200的外侧壁设有凹口220，所述凹口220与所述第一主体件100被所述导流槽110贯穿的外侧壁同侧，所述凹口220在所述第二主体件200和第一主体件100的接触面上与所述导流槽110连通。

本实用新型的抽尘机构通过第一主体件100和第二主体件200组合而成的特殊腔体，抽尘动力源产生的负压并经所述导流槽110传递至所述导流通孔120内以对粉尘进行吸除，第一主体件100的导流槽110和第二主体件200的凹口220共同形成了抽尘口，增大了抽尘口的容积，提高抽尘效率，防止堵塞，且第一主体件100和第二主体件200之间可拆卸连接，结构更小，加工成本低，便于脱模，在拆卸后内部腔体各自暴露，方便清洗，便于维护。

在实际运用中，第二主体件200的顶部与激光头连接，使整个抽尘机构安装在激光头的下方，与激光头同步运动，使激光头发射出来的激光通过通光孔210和导流通孔120后射出，照射在半导体晶圆上进行切割，激光头来回行进过程中，抽尘动力源采用抽风机，抽风机的负压通过由第一主体件100和第二主体件200组合而成的特殊的导流槽110并对导流通孔120内进行抽尘，激光对半导体晶圆激光切割产生的烟雾和粉尘被经过导流通孔120被抽风机抽出。

具体的，如图2至图3所示，所述第一主体件100上设有两个所述导流槽110，两个所述导流槽110与导流通孔120连通的一端的两个槽口位于所述导流通孔120内相对的孔壁上，所述两个导流槽110另一端的槽口在同一位置贯穿所述第一主体件100的外侧壁；两个槽口同时对抽尘腔内进行抽尘，保证切割道处的抽力相对均匀，提高抽尘效果。

在本实施例中，该导流槽110呈曲线流道，所述两个导流槽110另一端在第一主体件100上汇合，并贯穿所述第一主体件100的外侧壁，提高导流槽110的容积，使导流槽110能够在抽尘过程中容纳更多的粉尘和烟雾，从而提高抽尘效果。

如图4至图6所示，所述第二主体件200设置有用于容纳激光头的容置腔，所述容置腔的底部设置有挡尘板240，所述通光孔210设置在所述挡尘板240上；使激光头的激光聚焦镜不直接暴露在激光加工产生的烟雾中，防止被粉尘污染。

由于激光头在切割过程中始终位于切割道的正上方，烟雾和粉尘从下往上扬起，激光头被设置在第二主体件200的容置腔中，激光通过通光孔210射出，产生的烟雾及粉尘上扬后被挡尘板240挡住，不直接污染激光头，减少激光聚焦镜与烟雾的接触，达到保护激光聚焦镜的目的，降低聚焦镜的维护频率。

具体的，如图4至图5所示，所述挡尘板240呈锥形漏斗状，所述挡尘板240伸入至所述导流通孔120内，以在所述挡尘板240的外壁上形成导流面241。

在本实施例中，挡尘板240呈锥形漏斗状，通光孔210位于最低处，激光头被包裹在第二主体件200中，在结构上减少激光聚焦镜与烟雾的直接接触，保护激光聚焦镜不被粉尘污染，降低聚焦镜的维护频率，同时，在切割过程中产生的烟雾及粉尘沿着导流面241导向导流槽110的槽口，便于排出，提高抽尘效果。

需要说明的是，在其他实施例中，容置腔230的内底面可以是平面，锥形漏斗状的挡尘板240可以是直接凸出于容置腔230的底面，方便加工成型。

更具体的，如图6所示，所述挡尘板240底部与所述第一主体件100的底部平齐；延长挡尘板240的导流面241，使导流面241与粉尘烟雾接触的位置尽可能的近，提高导流效果，从而提高抽尘效果，另一方面，也减少通光孔210处的粉尘和烟雾的聚集，进一步保护激光头。

如图7所示，所述抽尘机构还包括抽尘管300，所述抽尘管300同时与所述凹口220和导流槽110于第一主体件100外侧壁上的槽口连通，所述抽尘管300用于与抽尘动力源连接；抽尘管300外接抽风机，将抽出的烟雾及粉尘顺着管道排出在收集装置内，防止泄露污染环境，抽尘管300可以是刚性管，也可以是柔性管，柔性管便于调整管道的方向。

如图8所示，所述抽尘管300包括挡板310和气管320，所述挡板310与所述第一主体件100和第二主体件200可拆卸连接，并覆盖所述凹口220和导流槽110的槽口，所述气管320穿过所述挡板310同时与所述凹口220和导流槽110连通；挡板310覆盖第一主体件100和第二主体件200的共同的抽尘口，保证气密性的同时与其可拆卸连接，使整个抽尘机构采用分段式的可拆卸结构，拆装方便，便于装置的安装及维护，结构更小，且相比于整体式结构加工成本更低。

进一步，两个所述导流槽110的槽口抽尘方向均与所述抽尘管300的抽尘方向平行；激光在来回往返切割，在切割道前后行进过程中，使抽尘机构安装时，导流槽110的两个槽口的抽尘方向之间的恰好与切割方向平行，使切割点的前后行进方向均对有导流槽110的入口，来回往返切割形成均匀的抽力，使前后产生的烟雾及时被抽风机吸出，保证在切割道前后的抽尘效果相同，从而保证加工效果一致。

当然，在其他实施例中，所述导流槽110的两个槽口的抽尘方向也可以与切割方向垂直，在切割点的切割轨迹方向上，对切割轨迹两旁的烟雾及粉尘进行均匀的抽出。

更进一步的，所述第一主体件100和第二主体件200呈矩形体或圆柱体，根据不同的加工设备的使用环境及适应不同的激光头，抽尘机构的第一主体件100和第二主体件200可以呈矩形体或圆柱体，本实施例中，呈矩形体，便于加工成型，以及后续的安装和拆卸。

另外，所述容置腔和抽尘腔均呈圆柱形腔体，与所述通光孔210同圆心，与通光孔210三者同圆心设置，使激光射出及抽尘方向都位于切割道的正上方，烟雾及粉尘在正上方扬起，抽尘效果更加均匀。

当所述激光头产生的激光通过通光孔210和第一主体件100的导流通孔120对所述工件进行加工时，所述抽尘动力源同时启动，在切割移动过程中，产生的负压气流通过凹口220和导流槽110分别从相对导流通孔120的两孔壁进入导流通孔120，导流槽110的两个槽口的抽尘方向又处于切割轨道的平行线上，负压气流对导流通孔120内的烟雾及粉尘进行抽离，在激光开槽的切割道行进前后方向形成均匀的抽力，使产生的烟雾及时被抽风机吸出，保证在切割道处的抽尘效果相同，从而保证加工效果一致；激光头容纳在第二主体件200内，且第二主体件200与第一合体之间还设置有挡尘板240，够将激光头与激光烟雾隔离开，减少烟雾对激光头的污染，降低维护频率；此抽尘机构采用分段式结构，拆装方便，便于装置的安装及清洗维护，且相比于整体式结构加工成本更低。

如图1至图8所示，本实用新型实施例还公开了一种激光抽尘装置，包括上述实施例中所述的抽尘机构，还包括激光头以及抽尘动力源，所述激光头与所述第二主体件200连接，所述抽尘动力源与所述凹口220和导流槽110连通。

该抽尘装置的抽尘机构通过第一主体件100和第二主体件200组合而成的特殊腔体，抽尘动力源产生的负压并经所述导流槽110传递至所述导流通孔120内以对粉尘进行吸除，第一主体件100的导流槽110和第二主体件200的凹口220共同形成抽尘口，增大了抽尘口的容积，提高抽尘效率，防止堵塞，且第一主体件100和第二主体件200之间可拆卸连接，各自体积小，在拆卸后内部腔体各自暴露，方便清洗，便于维护。

以上内容是结合具体的可选的实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种抽尘机构，其特征在于，包括：

第一主体件，所述第一主体件上设有导流通孔以及导流槽，所述导流槽由所述导流通孔贯穿至所述第一主体件的外侧壁；

第二主体件，所述第二主体件与所述第一主体件可拆卸式连接，其上设有供激光通过的通光孔，所述第二主体件与所述第一主体件连接后覆盖所述导流通孔以及导流槽，所述通光孔沿自身轴向的投影位于所述导流通孔内；

其中，所述第二主体件的外侧壁设有凹口，所述凹口所在的外侧壁与所述第一主体件被所述导流槽贯穿的外侧壁同侧，所述凹口在所述第二主体件和第一主体件的接触面上与所述导流槽连通。

2.如权利要求1所述的抽尘机构，其特征在于，所述第一主体件上设有两个所述导流槽，两个所述导流槽与导流通孔连通的一端的两个槽口位于所述导流通孔内相对的孔壁上，所述两个导流槽另一端的槽口在同一位置贯穿所述第一主体件的外侧壁。

3.如权利要求2所述的抽尘机构，其特征在于，所述第二主体件设置有用于容纳激光头的容置腔，所述容置腔的底部设置有挡尘板，所述通光孔设置在所述挡尘板上。

4.如权利要求3所述的抽尘机构，其特征在于，所述挡尘板呈锥形漏斗状，所述挡尘板伸入至所述导流通孔内，以在所述挡尘板的外壁上形成导流面。

5.如权利要求4所述的抽尘机构，其特征在于，所述挡尘板底部与所述第一主体件的底部平齐。

6.如权利要求1-5任意一项所述的抽尘机构，其特征在于，所述抽尘机构还包括抽尘管，所述抽尘管同时与所述凹口和导流槽于第一主体件外侧壁上的槽口连通，所述抽尘管用于与抽尘动力源连接。

7.如权利要求6所述的抽尘机构，其特征在于，所述抽尘管包括挡板和气管，所述挡板与所述第一主体件和第二主体件可拆卸连接，并覆盖所述凹口和导流槽的槽口，所述气管穿过所述挡板同时与所述凹口和导流槽连通。

8.如权利要求6所述的抽尘机构，其特征在于，两个所述导流槽的槽口抽尘方向均与所述抽尘管的抽尘方向平行。

9.如权利要求1所述的抽尘机构，其特征在于，所述第一主体件和所述第二主体件呈矩形体或圆柱体。

10.一种激光抽尘装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的抽尘机构、激光头以及抽尘动力源，所述激光头与所述第二主体件连接，所述抽尘动力源与所述凹口和导流槽连通。

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