CN214346418U - 一种单晶硅片生产的高效除杂装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种单晶硅片生产的高效除杂装置，包括罐体，罐体内设有混合反应腔，混合反应腔的顶部一侧固定设有化学试剂滴罐，且内部设有搅拌器，搅拌器的顶端穿过罐体，且与第一驱动电机的输出轴机械连接，混合反应腔的底部设有出液管，出液管内竖直设有分液板，分液板的两侧与罐体内壁之间均固定设有第一滤网，第一滤网下方固定设有第二滤网，第二滤网的下方设有过滤筒，过滤筒的底部固接支撑轴的一端，支撑轴的另一端穿过罐体，且与第二驱动电机的输出轴机械连接。本实用新型搅拌混合的均匀度高，保证除杂过程中化学反应的充分，除杂效率高；过滤效果好，得到高纯度的单晶硅，保证了单晶硅片加工的纯度。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，具体为一种单晶硅片生产的高效除杂装置。
背景技术
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，而由单晶硅制成的硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。
目前单晶硅生产时需要对粗硅进行化学除杂，而若要得到纯度较高的晶体必须进行过滤，为此需要使用到除杂设备，然而，现有的除杂设备搅拌混合效果不够好，除杂过程中化学反应效率低，且过滤效果不理想，使得其没有一个好的使用效果，有待改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片生产的高效除杂装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片生产的高效除杂装置，包括罐体，所述罐体内设有混合反应腔，所述混合反应腔的顶部一侧固定设有化学试剂滴罐，且内部设有搅拌器，所述搅拌器的顶端穿过所述罐体，且与第一驱动电机的输出轴机械连接，所述混合反应腔的底部设有出液管，所述出液管内竖直设有分液板，所述分液板的两侧与所述罐体内壁之间均固定设有第一滤网，所述第一滤网下方固定设有第二滤网，所述第二滤网的下方设有过滤筒，所述过滤筒的底部固接支撑轴的一端，所述支撑轴的另一端穿过所述罐体，且与第二驱动电机的输出轴机械连接，所述罐体底部一侧连接有过滤液出管。
所述化学试剂滴罐的顶部设有穿过所述罐体的化学试剂进液管，且所述罐体的一侧设有主进料口。
所述出液管上安装有电池阀门。
所述罐体的一侧设有检修清理口，所述检修清理口上安装有密封门。
所述罐体的底部为倾斜结构，所述过滤液出管上安装有阀门。
与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型设置化学试剂滴罐和混合反应腔，化学试剂滴罐内的化学试剂逐渐流入混合反应腔内，借助搅拌器的搅拌，增强了搅拌混合的均匀度，提高了物料和化学试剂的化学反应的效率，保证除杂过程中化学反应的充分，除杂效率高；出液管内竖直设有分液板，分液板的两侧与罐体内壁之间均固定设有第一滤网，分液板可将通过出液管流出的物料分流到两侧，使得物料均匀的通过第一滤网的过滤，保证过滤的均匀度，将物料中的杂质去除，而后再流入第二滤网上进行再次过滤，过滤后的物料进入过滤筒，转动过滤筒通过离心力从而对物料进行最终的过滤，过滤效果好，得到高纯度的单晶硅，保证了单晶硅片加工的纯度。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分。在附图中：
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型分液板的结构示意图；
图中：1罐体；2混合反应腔；3化学试剂滴罐；4搅拌器；5第一驱动电机；6出液管；7分液板；8第一滤网；9第二滤网；10过滤筒；11支撑轴；12第二驱动电机；13过滤液出管；14化学试剂进液管；15主进料口；16检修清理口；17密封门。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供技术方案：一种单晶硅片生产的高效除杂装置，包括罐体1，罐体1内设有混合反应腔2，混合反应腔2的顶部一侧固定设有化学试剂滴罐3，且内部设有搅拌器4，搅拌器4的顶端穿过罐体1，且与第一驱动电机5的输出轴机械连接，混合反应腔2的底部设有出液管6，出液管6内竖直设有分液板7，分液板7的两侧与罐体1内壁之间均固定设有第一滤网8，第一滤网8下方固定设有第二滤网9，第二滤网9的下方设有过滤筒10，过滤筒10的底部固接支撑轴11的一端，支撑轴11的另一端穿过罐体1，且与第二驱动电机12的输出轴机械连接，罐体1底部一侧连接有过滤液出管13。
化学试剂滴罐3的顶部设有穿过罐体1的化学试剂进液管14，可将化学试剂加入化学试剂滴罐3内，化学试剂滴罐3的底部设有锥形出口，可使得化学试剂逐渐流入混合反应腔2内，且罐体1的一侧设有主进料口15，可进入主材料液。
出液管6上安装有电池阀门。
罐体1的一侧设有检修清理口16，检修清理口16上安装有密封门17，可将高纯度的单晶硅取出。
罐体1的底部为倾斜结构，有利于过滤液的流动，过滤液出管13上安装有阀门。
具体的，主材料液由主进料口15进入混合反应腔2内，化学试剂由化学试剂进液管14进入化学试剂滴罐3内，启动第一驱动电机5带动搅拌器4转动搅拌主材料液，化学试剂逐渐流入混合反应腔2内，搅拌混合度高，均匀性佳，使得主材料液和化学试剂充分反应，打开电池阀门，反应后的物料通过出液管6流出，分液板7可将物料分流到两侧，使得物料均匀的通过第一滤网8的过滤，保证过滤的均匀度，将物料中的杂质去除，而后再流入第二滤网9上进行再次过滤，过滤后的物料进入过滤筒10，启动第二驱动电机12带动过滤筒转动，通过离心力从而对物料进行最终的过滤，过滤效果好，得到高纯度的单晶硅，保证了单晶硅片加工的纯度，过滤液汇聚至罐体1底部，且从过滤液出管13流出。
需要说明的是，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种单晶硅片生产的高效除杂装置，包括罐体(1)，其特征在于：所述罐体(1)内设有混合反应腔(2)，所述混合反应腔(2)的顶部一侧固定设有化学试剂滴罐(3)，且内部设有搅拌器(4)，所述搅拌器(4)的顶端穿过所述罐体(1)，且与第一驱动电机(5)的输出轴机械连接，所述混合反应腔(2)的底部设有出液管(6)，所述出液管(6)内竖直设有分液板(7)，所述分液板(7)的两侧与所述罐体(1)内壁之间均固定设有第一滤网(8)，所述第一滤网(8)下方固定设有第二滤网(9)，所述第二滤网(9)的下方设有过滤筒(10)，所述过滤筒(10)的底部固接支撑轴(11)的一端，所述支撑轴(11)的另一端穿过所述罐体(1)，且与第二驱动电机(12)的输出轴机械连接，所述罐体(1)底部一侧连接有过滤液出管(13)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产的高效除杂装置，其特征在于：所述化学试剂滴罐(3)的顶部设有穿过所述罐体(1)的化学试剂进液管(14)，且所述罐体(1)的一侧设有主进料口(15)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产的高效除杂装置，其特征在于：所述出液管(6)上安装有电池阀门。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产的高效除杂装置，其特征在于：所述罐体(1)的一侧设有检修清理口(16)，所述检修清理口(16)上安装有密封门(17)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产的高效除杂装置，其特征在于：所述罐体(1)的底部为倾斜结构，所述过滤液出管(13)上安装有阀门。
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