CN214336708U - 一种内嵌高导热材料的铝硅壳体 - Google Patents

一种内嵌高导热材料的铝硅壳体 Download PDF

Info

Publication number
CN214336708U
CN214336708U CN202120563454.5U CN202120563454U CN214336708U CN 214336708 U CN214336708 U CN 214336708U CN 202120563454 U CN202120563454 U CN 202120563454U CN 214336708 U CN214336708 U CN 214336708U
Authority
CN
China
Prior art keywords
embedded
silicon
aluminum
copper
aluminium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202120563454.5U
Other languages
English (en)
Inventor
张忠政
鲍桐
张志同
于世杰
铁鹏
陈建辉
马学焕
李军
何世安
陈宇鹏
朱魁章
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
China Electronics Technology Group Corp No 16 Institute
CETC 16 Research Institute
Original Assignee
China Electronics Technology Group Corp No 16 Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China Electronics Technology Group Corp No 16 Institute filed Critical China Electronics Technology Group Corp No 16 Institute
Priority to CN202120563454.5U priority Critical patent/CN214336708U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN214336708U publication Critical patent/CN214336708U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,包括铝硅壳体,所述铝硅壳体一端镶嵌有内嵌部,所述铝硅壳体一侧开设有安装通孔,所述内嵌部固定连接于所述安装通孔内,所述内嵌部为高导热材料,本申请的壳体包括铝硅壳体和高导热材料内嵌部,主体部分为铝硅材料,内嵌部为钼铜或铜钼铜或金刚石铜材料,在铝硅壳体和内嵌部之间填充焊片,两部分之间采用焊接结合,内嵌部与芯片直接贴装在一起,芯片工作时产生的热量沿着内嵌部往外传递,散热能力得到大幅提升;内嵌部的热膨胀系数与芯片适配,主体部分和内嵌部分采用低温钎焊工艺结合,价格较低,便于广泛使用,铝硅壳体解决了微波收发组件往高功率、高热流、高集成方向发展面临的散热问题。

Description

一种内嵌高导热材料的铝硅壳体
技术领域
本实用新型涉及电子元件封装技术领域,具体是一种内嵌高导热材料的铝硅壳体。
背景技术
随着微波收发组件往高功率、高热流、高集成方向发展,以GaN芯片为代表的第三代宽禁带半导体芯片得到广泛应用。铝硅合金材料是一种理想的电子封装材料,由于密度低、导热性能好,又兼具一定强度和耐腐蚀性能,因此在微波收发组件封装壳体中得到广泛应用。铝硅合金材料的导热系数可调,范围为100~130W/(m·K),热膨胀系数可调,范围为6~17ppm/℃,随着芯片热流密度的增加,铝硅导热能力已不能满足散热需求。传统的钼铜复合材料导热系数180~230W/(m·K),铜钼铜复合材料导热系数250~320W/(m·K),无氧铜材料导热系数398W/(m·K),新一代的金刚石铜复合材料导热系数大于550W/(m·K),但由于热失配、密度、尺寸、价格等问题,限制了其大范围应用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,包括铝硅壳体,所述铝硅壳体一端镶嵌有内嵌部,所述铝硅壳体一侧开设有安装通孔,所述内嵌部固定连接于所述安装通孔内,所述内嵌部为高导热材料。
作为本实用新型进一步的方案:所述铝硅壳体包括壳体围框以及固定连接于所述壳体围框一端铝硅盖板,所述安装通孔位于所述壳体围框上远离所述铝硅盖板的一端。
作为本实用新型进一步的方案:所述铝硅壳体在安装通孔内壁处开设有台阶,所述内嵌部与所述安装通孔连接处设有与所述台阶配合的阶梯。
作为本实用新型进一步的方案:所述台阶上设有连接部,所述连接部为预成型焊片,所述连接部的厚度为30-100μm,所述预成型焊片为低温共晶钎料,所述预成型焊片的熔点小于所述内嵌部的熔点。
作为本实用新型进一步的方案:所述内嵌部为圆形或矩形,所述内嵌部上端设有用于安装芯片的贴装区,所述贴装区在所述内嵌部所在平面上的投影不超出所述内嵌部的边缘,所述内嵌部与所述芯片的膨胀系数差异不大于20%。
作为本实用新型进一步的方案:所述内嵌部为钼铜或铜钼铜或金刚石铜材质,所述内嵌部上端设有金属氧化层,所述金属氧化层为镍金镀层,镍层厚度3-6μm,金层厚度0.6-1μm。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本申请的壳体包括铝硅壳体和高导热材料内嵌部,主体部分为铝硅材料,内嵌部为钼铜或铜钼铜或金刚石铜材料,在铝硅壳体和内嵌部之间填充焊片,两部分之间采用焊接结合,内嵌部与芯片直接贴装在一起,芯片工作时产生的热量沿着内嵌部往外传递,散热能力得到大幅提升;内嵌部的热膨胀系数与芯片适配,主体部分和内嵌部分采用低温钎焊工艺结合,价格较低,便于广泛使用,铝硅壳体解决了微波收发组件往高功率、高热流、高集成方向发展面临的散热问题。
附图说明
图1为本申请剖视图;
图2为本申请铝硅壳体剖视图;
图3为本申请局部结构示意图;
图4、图5为本申请具体实施例铝硅壳体平面结构示意图。
图中:1-铝硅壳体、2-内嵌部、3-连接部、4-铝硅盖板、5-芯片、6-台阶、7-壳体围框、8-安装通孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5,一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,包括铝硅壳体1,铝硅壳体1一端镶嵌有内嵌部2,铝硅壳体1一侧开设有安装通孔8,内嵌部2固定连接于安装通孔8内,内嵌部2为高导热材料。
铝硅壳体1包括壳体围框7以及固定连接于壳体围框7一端铝硅盖板4,安装通孔8位于壳体围框7上远离铝硅盖板4的一端,铝硅壳体1在安装通孔8内壁处开设有台阶6,内嵌部2与安装通孔8连接处设有与台阶6配合的阶梯,台阶6上设有连接部3,连接部3为预成型焊片,连接部3的厚度为30-100μm,预成型焊片为低温共晶钎料,预成型焊片的熔点小于内嵌部2的熔点
内嵌部2为圆形或矩形,内嵌部2上端设有用于安装芯片5的贴装区,贴装区在内嵌部2所在平面上的投影不超出内嵌部2的边缘,内嵌部2与芯片5的膨胀系数差异不大于20%,内嵌部2为钼铜或铜钼铜或金刚石铜材质,内嵌部2上端设有金属氧化层,金属氧化层为镍金镀层,镍层厚度3-6μm,金层厚度0.6-1μm。
一种内嵌高导热材料的铝硅壳体制备方法,包括以下步骤:
S1、根据所要封装的芯片5选择合适的材质的内嵌部2,内嵌部2为钼铜或铜钼铜或金刚石铜材料,通过调整钼铜或铜钼铜或金刚石铜材料的成分配比,使得钼铜或铜钼铜或金刚石铜材质的内嵌部2的热膨胀系数与芯片适配,使得内嵌部2与芯片5的膨胀系数差异不大于20%;
S2、在壳体围框7下端开设安装通孔8,壳体围框7下部加工台阶结构的安装通孔8,安装通孔8为圆形或矩形结构,将内嵌部加工成相应的形状;
S3、将内嵌部2固定连接于安装通孔8内,在安装通孔8与内嵌部2的搭接区域放置连接部3,连接部3为预成型的焊片,预成型焊片为低温共晶钎料,预成型焊片的熔点小于内嵌部2的熔点,钎料熔点温度不超过450℃,典型如Au96.85Su3.15、Au88Ge12和Au80Sn20,该焊料的导热性和耐腐蚀性良好,通过加热到低于铝硅、钼铜、铜钼铜或金刚石铜材料的熔点而高于焊片熔点的温度,而实现铝硅主体部分和钼铜、铜钼铜或金刚石铜内嵌部分连接的一类连接方法;
S4、将芯片5贴装桩内嵌部2上,通过导热胶、导热垫、焊接等方式实现芯片与钼铜、铜钼铜或金刚石铜内嵌部分的贴装;
S5、将铝硅盖板4封装到壳体围框7上端,形成封闭结构的铝硅壳体1,铝硅壳体1为铝硅复合材料,铝硅壳体1中壳体围框7中的硅含量为50%,铝硅壳体1中铝硅盖板4中的硅含量27%,铝硅盖板4与壳体围框7通过激光焊接连接,形成气密性腔体。
实施例1
结合图1和图2说明本实施例,铝硅主体部分与钼铜内嵌部分焊接在一起,钼铜导热系数180-230W/(m·K),形成一种内嵌钼铜材料的铝硅壳体,内嵌部分的形状为四边形,尺寸为12mm×20mm,厚度2mm,芯片尺寸5mm×5mm,热流密度300W/cm2,通过热成像仪测试芯片最高温度,一种内嵌钼铜的铝硅壳体,相比纯铝硅复合材料的壳体,芯片最高温度降低13-18.6℃。
实施例2
结合图1和图2说明本实施例,铝硅主体部分与铜钼铜内嵌部分焊接在一起,铜钼铜导热系数250-320W/(m·K),形成一种内嵌铜钼铜材料的铝硅壳体,内嵌部分的形状为四边形,尺寸为12mm×20mm,厚度2mm,芯片尺寸5mm×5mm,热流密度300W/cm2,通过热成像仪测试芯片最高温度,一种内嵌铜钼铜的铝硅壳体,相比纯铝硅复合材料的壳体,芯片最高温度降低20.2-24.3℃。
实施例3
结合图1和图2说明本实施例,铝硅主体部分与金刚石铜内嵌部分焊接在一起,金刚石铜导热系数大于550W/(m·K),形成一种内嵌金刚石铜材料的铝硅壳体,内嵌部分的形状为四边形,尺寸为12mm×20mm,厚度2mm,芯片尺寸5mm×5mm,热流密度300W/cm2,通过热成像仪测试芯片最高温度,一种内嵌金刚石铜的铝硅壳体,相比纯铝硅复合材料的壳体,芯片最高温度降低30.4℃以上。
实施例4
结合图1和图3说明本实施例,铝硅主体部分与钼铜内嵌部分焊接在一起,钼铜导热系数180-230W/(m·K),形成一种内嵌钼铜材料的铝硅壳体,内嵌部分的形状为圆形,直径为20mm,厚度2mm,芯片尺寸5mm×5mm,热流密度300W/cm2,通过热成像仪测试芯片最高温度,一种内嵌钼铜的铝硅壳体,相比纯铝硅复合材料的壳体,芯片最高温度降低13.2-18.9℃。
实施例5
结合图1和图3说明本实施例,铝硅主体部分与铜钼铜内嵌部分焊接在一起,铜钼铜导热系数250-320W/(m·K),形成一种内嵌铜钼铜材料的铝硅壳体,内嵌部分的形状为圆形,直径为20mm,厚度2mm,芯片尺寸5mm×5mm,热流密度300W/cm2,通过热成像仪测试芯片最高温度,一种内嵌铜钼铜的铝硅壳体,相比纯铝硅复合材料的壳体,芯片最高温度降低20.5-24.7℃。
实施例6
结合图1和图3说明本实施例,铝硅主体部分与金刚石铜内嵌部分焊接在一起,金刚石铜导热系数大于550W/(m·K),形成一种内嵌金刚石铜材料的铝硅壳体,内嵌部分的形状为圆形,直径为20mm,厚度2mm,芯片尺寸5mm×5mm,热流密度300W/cm2,通过热成像仪测试芯片最高温度,一种内嵌金刚石铜的铝硅壳体,相比纯铝硅复合材料的壳体,芯片最高温度降低30.9℃以上。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,包括铝硅壳体(1),其特征在于,所述铝硅壳体(1)一端镶嵌有内嵌部(2),所述铝硅壳体(1)一侧开设有安装通孔(8),所述内嵌部(2)固定连接于所述安装通孔(8)内,所述内嵌部(2)为高导热材料。
2.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述铝硅壳体(1)包括壳体围框(7)以及固定连接于所述壳体围框(7)一端铝硅盖板(4),所述安装通孔(8)位于所述壳体围框(7)上远离所述铝硅盖板(4)的一端。
3.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述铝硅壳体(1)在安装通孔(8)内壁处开设有台阶(6),所述内嵌部(2)与所述安装通孔(8)连接处设有与所述台阶(6)配合的阶梯。
4.根据权利要求3所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述台阶(6)上设有连接部(3),所述连接部(3)为预成型焊片,所述连接部(3)的厚度为30-100μm,所述预成型焊片为低温共晶钎料,所述预成型焊片的熔点小于所述内嵌部(2)的熔点。
5.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述内嵌部(2)为圆形或矩形,所述内嵌部(2)上端设有用于安装芯片(5)的贴装区,所述贴装区在所述内嵌部(2)所在平面上的投影不超出所述内嵌部(2)的边缘,所述内嵌部(2)与所述芯片(5)的膨胀系数差异不大于20%。
6.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述内嵌部(2)为钼铜或铜钼铜或金刚石铜材质,所述内嵌部(2)上端设有金属氧化层,所述金属氧化层为镍金镀层,镍层厚度3-6μm,金层厚度0.6-1μm。
CN202120563454.5U 2021-03-18 2021-03-18 一种内嵌高导热材料的铝硅壳体 Active CN214336708U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202120563454.5U CN214336708U (zh) 2021-03-18 2021-03-18 一种内嵌高导热材料的铝硅壳体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202120563454.5U CN214336708U (zh) 2021-03-18 2021-03-18 一种内嵌高导热材料的铝硅壳体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN214336708U true CN214336708U (zh) 2021-10-01

Family

ID=77888706

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202120563454.5U Active CN214336708U (zh) 2021-03-18 2021-03-18 一种内嵌高导热材料的铝硅壳体

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN214336708U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Calata et al. Three-dimensional packaging for power semiconductor devices and modules
EP1458023A2 (en) Electronic assembly having electrically-isolated heat conductive structure and method therefor
JP5965687B2 (ja) パワー半導体モジュール
CN110854103A (zh) 一种嵌入式双面互连功率模块封装结构和制作方法
WO2011040313A1 (ja) 半導体モジュールおよびその製造方法
CN107546131B (zh) 一种用于封装电子组件的金属外壳的制作方法
CN101502904A (zh) 微电子封装用铝碳化硅复合材料与可伐合金的钎焊方法
JP2007088030A (ja) 半導体装置
CN102487052A (zh) 芯片衬底、热沉及基板一体化的复合材料封装组件及其制造方法
CN112447625A (zh) 双面散热大尺寸芯片倒装封装结构及封装方法
CN111627875A (zh) 一种高导热散热装置
CN104867888A (zh) 一种高散热性SiC的功率模块
CN115116992A (zh) 一种内嵌高导热材料的铝硅壳体及其制备方法
CN113782504A (zh) 一种集成散热器的功率模块简化封装结构及制作方法
CN214336708U (zh) 一种内嵌高导热材料的铝硅壳体
TWI484604B (zh) 金屬熱界面材料以及含該材料的構裝半導體
EP4138119B1 (en) Method for producing power semiconductor module and power semiconductor module
US9231139B2 (en) Structure and design of concentrator solar cell assembly receiver substrate
CN212113698U (zh) 一种高导热散热装置
CN115116993A (zh) 一种内嵌钼铜的可伐盖板及其制备方法
CN113659427A (zh) 一种半导体激光器封装结构及封装方法
CN214705912U (zh) 一种内嵌钼铜的可伐盖板结构
CN211238808U (zh) 一种具有散热模块的半导体激光器
CN219017647U (zh) 一种集成电路引线框架
CN211350614U (zh) 一种氮化铝陶瓷管壳

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant