CN214313153U - 一种晶圆对中装置及去胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆对中装置及去胶机，所述晶圆对中装置包括：至少一个晶圆安装支架，每个所述晶圆安装支架环绕形成晶圆安装位，所述晶圆安装支架的至少一侧设有夹持开口，所述夹持开口连通所述晶圆安装位，每个所述晶圆安装支架包括：导向件，设有导向面朝向所述晶圆安装位。本实用新型解决了夹持装置在夹持晶圆前无法准确地定位晶圆中心的问题。

Description

一种晶圆对中装置及去胶机

技术领域

本实用新型涉及半导体行业晶片领域，尤其涉及一种晶圆对中装置及去胶机。

背景技术

目前，在晶圆的制造、清洗、收纳等工序中，需要将晶圆装入片盒。但是，常规的机械手在夹持晶圆的过程中，无法找准晶圆的中心，导致机械手夹持的位置往往偏离晶圆的中心，此时直接将晶圆装入片盒或其他装置容易发生碰撞而损坏晶圆，造成巨大损失。

实用新型内容

因此，本实用新型实施例提供一种静电卡盘装置，解决了夹持装置在夹持晶圆前无法准确地定位晶圆中心的问题。

一方面，本实用新型实施例提供一种晶圆对中装置，包括：至少一个晶圆安装支架，每个所述晶圆安装支架环绕形成晶圆安装位，所述晶圆安装支架的至少一侧设有夹持开口，所述夹持开口连通所述晶圆安装位，每个所述晶圆安装支架包括：导向件，设有导向面朝向所述晶圆安装位。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述晶圆安装支架用于支撑并定位所述晶圆，使所述晶圆与所述晶圆安装位同心；其他夹持装置移动至所述夹持开口对应所述晶圆中心的位置后，能够对称地夹起所述晶圆，解决所述晶圆的夹持位置偏移其中心的问题；所述导向件能够辅助所述晶圆滑入所述支撑件上，便于晶圆的对中。

在本实用新型第一个实施例中，每个所述晶圆安装支架还包括：支撑件，设于所述导向件内，所述支撑件的顶面对应所述晶圆安装位并低于所述导向面。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述支撑件用于支撑所述晶圆；并且所述晶圆位于所述支撑件上时，所述导向件的内壁对晶圆起到定位作用。

在本实用新型第一个实施例中，所述导向件和所述支撑件之间设有液体容纳槽。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述液体容纳槽用于容纳所述晶圆上沾有的液体，防止所述晶圆放置不平，或因气压难以取出。

在本实用新型第一个实施例中，至少一个所述夹持开口的底面低于所述支撑件的顶面。

采用该技术方案后所达到的技术效果：便于所述夹持装置从所述支撑件下方夹起所述晶圆。

在本实用新型第一个实施例中，所述夹持开口的数量为两个，且位于所述晶圆对中装置相对的两侧。

采用该技术方案后所达到的技术效果：便于所述夹持装置夹持晶圆相对的两侧。

在本实用新型第一个实施例中，所述晶圆安装支架至少包括：第一晶圆安装支架和第二晶圆安装支架；其中，所述第一晶圆安装支架位于所述第二晶圆安装支架内，二者同心设置。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一晶圆安装支架和所述第二晶圆安装支架用于放置两种不同尺寸的所述晶圆，从而实现不同尺寸的所述晶圆的对中。

在本实用新型第一个实施例中，所述第一晶圆安装支架的所述导向件低于所述第二晶圆安装支架的所述支撑件。

采用该技术方案后所达到的技术效果：防止所述第二晶圆安装支架对应的大尺寸晶圆装入所述第二晶圆安装支架时，与所述第一晶圆安装支架发生干涉。

在本实用新型第一个实施例中，所述晶圆对中装置还包括：底座，多个所述晶圆安装支架设于所述底座上；其中，所述第一晶圆安装支架的所述支撑件与所述底座形成空腔，所述空腔连通所述夹持开口。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述夹持装置能够从所述夹持开口伸入所述空腔中，从而在所述晶圆下方夹起所述晶圆。

在本实用新型第一个实施例中，所述底座中心设有定位孔。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述定位孔用于将所述晶圆安装支架安装至设备上，从而定位夹持装置和晶圆安装支架的相对位置，使所述夹持装置夹起所述晶圆时不会偏移所述晶圆的中心。

另一方面，本实用新型实施例提供一种去胶机，包括上述任一实施例提供的所述晶圆对中装置。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述去胶机通过所述晶圆对中装置能够实现晶圆夹持时的对中效果。

综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：

i)所述晶圆安装支架能够对晶圆起到导向和支撑的作用，便于晶圆的中心与所述晶圆对中装置的中心对齐；

ii)多个所述晶圆安装支架能够实现多种尺寸的晶圆的对中。

iii)所述第一晶圆安装支架内的所述空腔和所述夹持开口结合，形成足够夹持空间，使得其他夹持装置能够伸入所述晶圆的下方，便于夹起所述晶圆。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型第一实施例提供的一种晶圆对中装置100的结构示意图。

图2为图1所示的晶圆对中装置100另一视角的结构示意图。

图3为图2中A-A方向的剖视图。

图4为图1所示的晶圆对中装置100的俯视图。

主要元件符号说明：

100为晶圆对中装置；110为晶圆安装支架；111为第一晶圆安装支架；112为第二晶圆安装支架；113为导向件；1131为导向面；114为支撑件；120为夹持开口；130为液体容纳槽；140为底座；141为定位孔；142为固定孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

【第一实施例】

参见图1，其为本实用新型第一实施例提供的一种晶圆对中装置100。晶圆对中装置100包括：至少一个晶圆安装支架110，其中，每个晶圆安装支架110环绕形成晶圆安装位，晶圆安装支架110的至少一侧设有夹持开口120，夹持开口120连通所述晶圆安装位。

在本实施例中，其他用于夹持所述晶圆的夹持装置，能够移动至夹持开口120中对应所述晶圆安装位的中心位置，从而准确地夹在所述晶圆的中心位置。相应的，晶圆对中装置100在所述晶圆的对中后，便于所述夹持装置准确地将所述晶圆放入片盒、去胶腔体等组件内的目标位置，而不会和其他装置产生干涉，防止所述晶圆因摩擦、碰撞而损坏。

优选的，每个晶圆安装支架110例如包括：导向件113和支撑件114。其中，导向件113设有导向面1131朝向所述晶圆安装位，所述晶圆能够通过导向面1131滑入所述晶圆安装位中；支撑件114设于导向件113内，支撑件114的顶面对应所述晶圆安装位并低于导向面1131。

具体的，导向件113为环形结构，导向面1131连接导向件113的内壁，所述晶圆落在导向面1131后能够滑入所述晶圆安装位，并通过所述内壁对所述晶圆的与边缘实现定位，从而使所述晶圆的中心和所述晶圆安装位的中心基本重合。其中，导向面1131可以为斜面也可以为弧面，此处不做限定。

进一步的，导向面1131远离所述内壁的一端连接导向件113的顶面，并且所述顶面为平面。相比导向面1131直接连接于导向件113的外壁的设计方式，所述晶圆落在所述顶面上不容易损坏。

优选的，导向件113与支撑件114之间设有液体容纳槽130。当所述晶圆放置于支撑件114的顶面时，所述晶圆与支撑件114之间的液体能够流入液体容纳槽130中，防止所述晶圆吸附于支撑件114上而不便于所述夹持装置取下所述晶圆；导向件113上沾有的液体也能够流入液体容纳槽130中。

优选的，至少一个夹持开口120的底面低于支撑件114的顶面，使得夹持开口120的底面低于所述晶圆的底面，便于所述夹持装置伸入所述晶圆的下方，实现所述晶圆的夹取或吸附。其中，该夹持开口120可作为所述晶圆的出口，也可作为所述晶圆的入口。

进一步的，夹持开口120的形状可以为方形凹槽，或弧形凹槽，此处不做限定。当夹持开口120为弧形凹槽时，其底端低于支撑件114的顶面。

优选的，夹持开口120的两侧面互相平行，所述两侧面的中间对称面穿过所述晶圆安装位的中心。所述夹持装置进入夹持开口120后，可借助所述两侧面对所述夹持装置的水平位置进行调整，使得所述夹持装置的位置更精确。

进一步的，晶圆对中装置100例如还包括辅助定位装置(图中未示出)。举例来说，夹持开口120的所述两侧面分别设置气缸和定位板，通过所述两侧面的所述气缸推动所述定位板，从而夹紧所述夹持装置，进一步将所述夹持装置对准所述晶圆安装位的中心。

优选的，结合图2-3，晶圆对中装置100至少包括：第一晶圆安装支架111和第二晶圆安装支架112。其中，第一晶圆安装支架111位于第二晶圆安装支架112内，二者同心设置。第一晶圆安装支架111用于定位小尺寸的晶圆，第二晶圆安装支架112用于定位大尺寸的晶圆。

举例来说，6寸晶圆放于第一晶圆安装支架111内，8寸晶圆放于第二晶圆安装支架112内；或者，8寸晶圆放于第一晶圆安装支架111内，12寸晶圆放于第二晶圆安装支架112内。当然，晶圆对中装置100还可以设置三组或三组以上的晶圆安装支架110，根据从小到大的半径，由内到外设置，例如，由内到外分别为4寸、6寸、8寸、12寸晶圆等。

在一个具体的实施例中，第一晶圆安装支架111的导向件113低于第二晶圆安装支架112的支撑件114，使得所述大尺寸的晶圆放置于第二晶圆安装支架112的支撑件114上时，第一晶圆安装支架111低于所述大尺寸的晶圆，不会产生干涉。举例来说，第一晶圆安装支架111和第二晶圆安装支架112分别对应6寸晶圆和8寸晶圆时，8寸晶圆放置于第二晶圆安装支架112上后不会接触第一晶圆安装支架111。

进一步的，第一晶圆安装支架111和第二晶圆安装支架112之间设有间隙，也可以用于容纳所述晶圆上附带的液体。

在另一个具体的实施例中，第一晶圆安装支架111和第二晶圆安装支架112之间不设有间隙，第二晶圆安装支架112的支撑件114顶面与第一晶圆安装支架111的导向面1131连接，使得所述小尺寸的晶圆落在第二晶圆安装支架112的支撑件114上后，通过导向面1131可直接滑到第一晶圆安装支架111的支撑件114上。举例来说，第一晶圆安装支架111和第二晶圆安装支架112分别对应6寸晶圆和8寸晶圆时，6寸晶圆放置于第二晶圆安装支架112上的支撑件114上后，能够滑到第一晶圆安装支架111的支撑件114上。

优选的，继续参见图1，夹持开口120的数量例如为两个，位于晶圆对中装置100相对的两侧，使得所述夹持装置可以采用夹持或吸附所述晶圆两端的方式，从晶圆对中装置100中放下或取出所述晶圆。

优选的，晶圆对中装置100例如还包括：底座140，多个晶圆安装支架110设于所述底座140上。其中，第一晶圆安装支架111的支撑件114与底座140形成空腔，所述空腔连通至少一个夹持开口120。举例来说，其中一个夹持开口120的底面低于第一晶圆安装支架111的支撑件114顶面的基础上，该夹持开口120连通所述空腔，使得所述夹持装置能够通过单个夹持开口120从所述晶圆下方托起或吸附所述晶圆。

优选的，参见图4，底座140的中心设有定位孔141，晶圆对中装置100通过定位孔141固定于其他设备上；根据定位孔141的位置可以确定所述晶圆的中心，便于所述夹持装置对准所述晶圆的中心。

进一步的，底座140的直径大于第二晶圆安装支架112的外壁直径，并且底座140伸出所述外壁的部分，周向设有多个固定孔142，用于进一步固定晶圆对中装置100。其中，固定孔142例如为弧形的腰孔，在腰孔的长度范围内，晶圆对中装置100能够旋转一定角度，从而调整夹持开口120的朝向。

【第二实施例】

本实用新型第二实施例提供的一种去胶机，包括第一实施例提供的晶圆对中装置100，还包括所述夹持装置以及片盒。其中，所述夹持装置夹取或吸附所述晶圆，并将所述晶圆放入晶圆对中装置100内对应的晶圆安装支架110上；所述夹持装置根据所述晶圆安装位的中心位置，伸入夹持开口120并夹取所述晶圆，最后将所述晶圆放入所述片盒中。

其中，在对中之前，也可以采用人工的方式将所述晶圆放置于所述晶圆对中装置100上。相应的，所述去胶机可以是全自动去胶机或半自动去胶机。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种晶圆对中装置，其特征在于，包括：

至少一个晶圆安装支架，每个所述晶圆安装支架环绕形成晶圆安装位，所述晶圆安装支架的至少一侧设有夹持开口，所述夹持开口连通所述晶圆安装位，每个所述晶圆安装支架包括：

导向件，设有导向面朝向所述晶圆安装位。

2.根据权利要求1所述的晶圆对中装置，其特征在于，每个所述晶圆安装支架还包括：

支撑件，设于所述导向件内，所述支撑件的顶面对应所述晶圆安装位并低于所述导向面。

3.根据权利要求2所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述导向件和所述支撑件之间设有液体容纳槽。

4.根据权利要求2所述的晶圆对中装置，其特征在于，至少一个所述夹持开口的底面低于所述支撑件的顶面。

5.根据权利要求1所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述夹持开口的数量为两个，且位于所述晶圆对中装置相对的两侧。

6.根据权利要求2所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述晶圆安装支架至少包括：第一晶圆安装支架和第二晶圆安装支架；

其中，所述第一晶圆安装支架位于所述第二晶圆安装支架内，二者同心设置。

7.根据权利要求6所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述第一晶圆安装支架的所述导向件低于所述第二晶圆安装支架的所述支撑件。

8.根据权利要求6所述的晶圆对中装置，其特征在于，还包括：底座，多个所述晶圆安装支架设于所述底座上；

其中，所述第一晶圆安装支架的所述支撑件与所述底座形成空腔，所述空腔连通至少一个所述夹持开口。

9.根据权利要求8所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述底座中心设有定位孔。

10.一种去胶机，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的晶圆对中装置。

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