CN214289682U - 一种pecvd载板清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PECVD载板清洗机，包括清洗槽、烘干槽、排风装置、行车机构和载板花篮装置，所述清洗槽包括碱洗槽、水洗槽和储液槽，所述碱洗槽和补液槽通过管路连通，所述烘干槽包括加热单元和风机，所述碱洗槽、水洗槽和烘干槽并排设置，所述排风装置设置在所述碱洗槽上方，所述排风装置包括设置在碱洗槽顶部的抽风罩、设置在碱洗槽两侧的排气道、与抽风罩和排气道连通的风管，所述排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在碱洗槽、水洗槽和烘干槽上方，所述载板花篮装置安装在移动架上，所述载板花篮装置由升降电机和花篮组成。本实用新型实现PECVD载板清洗的自动化，代替传统的人工操作，有效提高了清洗效率和清洗质量。

Description

一种PECVD载板清洗机

技术领域

本实用新型涉及领域，尤其涉及一种PECVD载板清洗机。

背景技术

PECVD系统是模块化系统，在制备硅基异质结电池时，将硅片制绒及清洗预处理之后，硅片通过上料机构放置到载板上，进入预热腔室，然后完成i，n(或p)层沉积，之后通过具有冷却功能的冷却机构进入下料机构，其中硅片进入PECVD系统反应时是通过放在载板上来实现，因此载板有些部分会有硅的沉积，而载板从大气进入腔室，加热到冷却的这种循环很容易使载板上的沉积硅剥落到各个腔室内，造成沉积钝化膜质量的下降。

实际应用中，因为硅沉积的薄膜很薄，一般在5-50nm之间，因此，PECVD系统的各个腔室一般在200-500次沉积之后进行一次清洗，但是这样的清洗频率对于载板的清洗往往很低效。

传统方式是通过载板和各个腔室进行同步清洗，严重影响整个系统的正常运行。腔室清洁时使用NF3等离子体，成本高且污染环境。因此需要开发一种高效的载板清洗机，来增加系统正常运行时间和降低成本。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种PECVD载板清洗机，实现PECVD载板清洗的自动化，代替传统的人工操作，有效提高了清洗效率而且清洗效果好。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种PECVD载板清洗机，包括清洗槽、烘干槽、排风装置、行车机构和载板花篮装置，所述清洗槽包括碱洗槽、水洗槽和储液槽，所述碱洗槽和补液槽通过管路连通，所述烘干槽包括加热单元和风机，所述碱洗槽、水洗槽和烘干槽并排设置，所述排风装置设置在所述碱洗槽上方，所述排风装置包括设置在碱洗槽顶部的抽风罩、设置在碱洗槽两侧的排气道、与抽风罩和排气道连通的风管，所述排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在碱洗槽、水洗槽和烘干槽上方，所述行车机构由导轨、安装导轨上的移动架和驱动电机组成，所述载板花篮装置安装在移动架上，所述载板花篮装置由升降电机和挂在升降电机下的花篮组成。

进一步的，所述碱洗槽和水洗槽内装配有侧振式超声波装置。

进一步的，所述碱洗槽和水洗槽底部装配有鼓泡装置。

进一步的，所述碱洗槽和水洗槽内装配有加热装置。

进一步的，所述碱洗槽的侧壁上端设有进水口和进碱口，底端设有排碱口，所述进碱口的高度低于所述进水口，所述水洗槽的侧壁上端设有进水口和溢流口，底端设有排水口。

进一步的，所述补液槽内装配有搅拌装置和加热装置，底端设有出碱口，所述补液槽的出碱口和碱洗槽的进碱口通过管路连接，所述管路为不锈钢管。

进一步的，所述花篮内设有载板安装卡槽，所述卡槽呈倾斜角，所述花篮卡槽为耐腐蚀塑料。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

1、本实用新型可以根据程序设置自动排换液，同时增加载板花篮装置，每次能够清洗大量载板，提高载板清洗的效率，减低运营成本，满足公司生产需求。

2、本实用新型连续自动化清洗流程取代了传统人工作业流程，降低人工作业强度，提高载板清洗的质量，有效弥补传统人工清洗的缺陷，且设置有排风系统，有效减少了碱液的挥发造成的环境污染。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一种PECVD载板清洗机的整体结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

参考图1一种PECVD载板清洗机，包括清洗槽1、烘干槽2、排风装置3、行车机构4和载板花篮装置5，所述清洗槽1包括碱洗槽6、水洗槽7和储液槽8，所述碱洗槽6和补液槽8通过管路9连通，所述碱洗槽6和水洗槽7内装配有侧振式超声波装置10、加热装置11和底部的鼓泡装置12最大限度去除载板表面的镀层，所述烘干槽2包括加热单元13和风机14，所述碱洗槽6、水洗槽7和烘干槽8并排设置，所述排风装置设置3在所述碱洗槽6上方，所述排风装置3包括设置在碱洗槽顶部的抽风罩15、设置在碱洗槽两侧的排气道16、与抽风罩15和排气道16连通的风管17，所述排气道16内侧均匀分布有排气孔18，所述行车机构4横向设置在碱洗槽6、水洗槽7和烘干槽2上方，所述行车机构4由导轨19、安装导轨19上的移动架20和驱动电机21组成，所述载板花篮装置5安装在移动架20上，所述载板花篮装置5由升降电机22和挂在升降电机22下的花篮23组成。所述花篮内设有载板安装卡槽24，所述卡槽24呈倾斜角，方便载板放置，减少载板和卡槽24的接触面，所述花篮卡槽24为耐腐蚀塑料，防止载板磨损。

所述碱洗槽6的侧壁上端设有进水口25和进碱口26，底端设有排碱口27，所述进碱口26的高度低于所述进水口25，所述水洗槽7的侧壁上端设有进水口28和溢流口29，底端设有排水口30。所述补液槽8内装配有搅拌装置31和加热装置32，底端设有出碱口33，所述补液槽的出碱口33和碱洗槽的进碱口27通过管路9连接，所述管路9为不锈钢管。

工作原理：在清洗前，按顺序把清洗槽1注满清洗液，开启辅助设备，首先，启动排风装置3；其次，开启加热装置11，使清洗槽1的液体达到设定的温度。再次根据清洗流程，将待清洗载板放置于花篮23，用行车机构4吊起花篮23运送到碱洗槽6，达到设定时间后，升降电机22再吊起花篮23，通过移动架20运送到水洗槽7进行水洗，水洗完毕，再将花篮23运送到烘干槽2烘干，完成整个清洗流程。

本实用新型可以根据程序设置自动排换液，同时增加载板花篮装置，每次能够清洗大量载板，提高载板清洗的效率，减低运营成本，满足公司生产需求；连续自动化清洗流程取代了传统人工作业流程，降低人工作业强度，提高载板清洗的质量，有效弥补传统人工清洗的缺陷，且设置有排风系统，有效减少了碱液的挥发造成的环境污染。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种PECVD载板清洗机，其特征在于：包括清洗槽、烘干槽、排风装置、行车机构和载板花篮装置，所述清洗槽包括碱洗槽、水洗槽和储液槽，所述碱洗槽和补液槽通过管路连通，所述烘干槽包括加热单元和风机，所述碱洗槽、水洗槽和烘干槽并排设置，所述排风装置设置在所述碱洗槽上方，所述排风装置包括设置在碱洗槽顶部的抽风罩、设置在碱洗槽两侧的排气道、与抽风罩和排气道连通的风管，所述排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在碱洗槽、水洗槽和烘干槽上方，所述行车机构由导轨、安装导轨上的移动架和驱动电机组成，所述载板花篮装置安装在移动架上，所述载板花篮装置由升降电机和挂在升降电机下的花篮组成。

2.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述碱洗槽和水洗槽内装配有侧振式超声波装置。

3.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述碱洗槽和水洗槽底部装配有鼓泡装置。

4.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述碱洗槽和水洗槽内装配有加热装置。

5.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述碱洗槽的侧壁上端设有进水口和进碱口，底端设有排碱口，所述进碱口的高度低于所述进水口，所述水洗槽的侧壁上端设有进水口和溢流口，底端设有排水口。

6.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述补液槽内装配有搅拌装置和加热装置，底端设有出碱口，所述补液槽的出碱口和碱洗槽的进碱口通过管路连接，所述管路为不锈钢管。

7.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述花篮内设有载板安装卡槽，所述卡槽呈倾斜角。

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