CN214221637U - 一种用于真空镀膜的真空油扩散泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，涉及真空油扩散泵技术领域，为解决现有的真空油扩散泵在清洗时操作不便，不具备自主清洗结构的问题。所述泵体的上端固定安装有清洗壳体，所述清洗壳体的内部中轴位置固定安装有固定座，所述固定座的下端面上旋转安装有连通座，所述连通座与固定座内部相通，所述连通座的外表面上设置有同步带轮槽，所述清洗壳体的内壁上固定安装有交流电机，所述交流电机的旋转轴一端固定安装有同步带轮，且同步带轮的外部套接有传动皮带，所述传动皮带的另一端套接在连通座外表面上的同步带轮槽内。

Description

一种用于真空镀膜的真空油扩散泵

技术领域

本实用新型涉及真空油扩散泵技术领域，具体为一种用于真空镀膜的真空油扩散泵。

背景技术

油扩散真空泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵，简称油扩散泵。其原理是在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。

现有的真空油扩散泵在清洗时操作不便，不具备自主清洗结构，为了能进行自主清洗，提高清洗效率；因此市场急需研制一种用于真空镀膜的真空油扩散泵来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，以解决上述背景技术中现有的真空油扩散泵在清洗时操作不便，不具备自主清洗结构的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，包括泵体，所述泵体的上端固定安装有清洗壳体，所述清洗壳体的内部中轴位置固定安装有固定座，所述固定座的下端面上旋转安装有连通座，所述连通座与固定座内部相通，所述连通座的外表面上设置有同步带轮槽，所述清洗壳体的内壁上固定安装有交流电机，所述交流电机的旋转轴一端固定安装有同步带轮，且同步带轮的外部套接有传动皮带，所述传动皮带的另一端套接在连通座外表面上的同步带轮槽内，所述连通座下端外表面的中轴位置处固定连接有第二清洗管，所述第二清洗管的外表面上安装有清洗喷嘴。

优选的，所述泵体的内部中轴位置处设置有泵芯，所述泵体内部底端外表面的中轴位置处固定安装有第一清洗管，所述第一清洗管置于泵芯内部中轴位置处，所述第一清洗管的外表面上固定安装有清洗喷嘴，所述第一清洗管的进水端以及固定座的上端外表面上均安装有清洗软管。

优选的，所述泵体的内部底端盛装有扩散泵油，且扩散泵油位于泵芯下端，所述泵体的内壁上固定安装有电阻加热管，所述电阻加热管浸泡在扩散泵油的内部。

优选的，所述泵芯的外表面上设置有多个喷射嘴，且喷射嘴的喷射方向倾斜朝下，所述泵芯的外表面上设置有第一排气管，所述泵体的外表面上固定连接有第二排气管，所述第一排气管的出气端与第二排气管的进气端位置对应。

优选的，所述第二排气管和泵体的外表面上均设置有冷凝管，所述冷凝管螺旋分布。

优选的，所述泵体的下端外表面上固定连接有排料管，所述排料管的管路中固定安装有阀门。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该实用新型通过在泵体的上端固定安装清洗壳体，清洗壳体的内部中轴位置固定安装有固定座，固定座的下端面上旋转安装有连通座，连通座与固定座内部相通，连通座的外表面上设置有同步带轮槽，清洗壳体的内壁上固定安装有交流电机，交流电机的旋转轴一端固定安装有同步带轮，且同步带轮的外部套接有传动皮带，传动皮带的另一端套接在连通座外表面上的同步带轮槽内，连通座下端外表面的中轴位置处固定连接有第二清洗管，第二清洗管的外表面上安装有清洗喷嘴，此举可以利用交流电机带动传动皮带转动，然后利用传动皮带带动连通座旋转，进而使得第二清洗管在泵体的内部旋转，此时外部输入的清洗水从清洗喷嘴中喷出，并喷射在泵体的内壁以及泵芯的外表面上，可以对该扩散泵的内部进行高效的清洗操作，使得该扩散泵具备自主清洗的功能，有效的提高了功能性。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构图；

图2为本实用新型的A处放大图；

图3为本实用新型的B处放大图。

图中：1、泵体；2、清洗壳体；3、泵芯；4、电阻加热管；5、第一清洗管；6、排料管；7、第一排气管；8、第二排气管；9、扩散泵油；10、冷凝管；11、清洗软管；12、固定座；13、连通座；14、第二清洗管；15、交流电机；16、传动皮带；17、喷射嘴；18、清洗喷嘴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，包括泵体1，泵体1的上端固定安装有清洗壳体2，清洗壳体2的内部中轴位置固定安装有固定座12，固定座12的下端面上旋转安装有连通座13，连通座13与固定座12内部相通，连通座13的外表面上设置有同步带轮槽，清洗壳体2的内壁上固定安装有交流电机15，交流电机15的旋转轴一端固定安装有同步带轮，且同步带轮的外部套接有传动皮带16，传动皮带16的另一端套接在连通座13外表面上的同步带轮槽内，连通座13下端外表面的中轴位置处固定连接有第二清洗管14，第二清洗管14的外表面上安装有清洗喷嘴18，此举可以利用交流电机15带动传动皮带16转动，然后利用传动皮带16带动连通座13旋转，进而使得第二清洗管14在泵体1的内部旋转，此时外部输入的清洗水从清洗喷嘴18中喷出，并喷射在泵体1的内壁以及泵芯3的外表面上，可以对该扩散泵的内部进行高效的清洗操作，使得该扩散泵具备自主清洗的功能，有效的提高了功能性。

进一步，泵体1的内部中轴位置处设置有泵芯3，泵体1内部底端外表面的中轴位置处固定安装有第一清洗管5，第一清洗管5置于泵芯3内部中轴位置处，第一清洗管5的外表面上固定安装有清洗喷嘴18，第一清洗管5的进水端以及固定座12的上端外表面上均安装有清洗软管11。

进一步，泵体1的内部底端盛装有扩散泵油9，且扩散泵油9位于泵芯3下端，泵体1的内壁上固定安装有电阻加热管4，电阻加热管4浸泡在扩散泵油9的内部。

进一步，泵芯3的外表面上设置有多个喷射嘴17，且喷射嘴17的喷射方向倾斜朝下，泵芯3的外表面上设置有第一排气管7，泵体1的外表面上固定连接有第二排气管8，第一排气管7的出气端与第二排气管8的进气端位置对应。

进一步，第二排气管8和泵体1的外表面上均设置有冷凝管10，冷凝管10螺旋分布。

进一步，泵体1的下端外表面上固定连接有排料管6，排料管6的管路中固定安装有阀门。

工作原理：使用时，先将该泵安装在指定的位置处，此时将清洗壳体2的上端与真空镀膜设备连通，然后利用电阻加热管4对扩散泵油9进行加热，扩散泵油9转化为蒸汽后进入泵芯3的内部，并从喷射嘴17中喷出，由于倾斜朝下因此带动上方的进气口进气，并混着外部空气撞击泵体1的内部，此时通过外部冷却系统使得冷凝管10的内部循环的流动冷却水，进而使得蒸汽转换为油滴，并重新流回泵体1内部底端，而此时的空气在第一排气管7中排出的蒸汽的引导下进入第二排气管8的内部，第二排气管8外部的冷凝管10使得蒸汽转换为油滴，重新流回泵体1内部底端，进而有效的完成抽气操作，经过一段时间的使用后需要对该扩散泵内部进行清洗，此时通过清洗软管11外部第一清洗管5和第二清洗管14的内部注入清洗水，清洗水从清洗喷嘴18中喷出，然后启动交流电机15，在传动皮带16的传动下，连通座13开始旋转，进而使得第二清洗管14以泵芯3为转轴进行旋转，此时第一清洗管5中的清洗水对泵芯3的内壁进行清洗操作，第二清洗管14中的清洗水喷射在泵体1的内壁以及泵芯3的外表面上，对扩散泵的内部进行高效的清洗操作，最后清洗水从排料管6中排出。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，包括泵体(1)，其特征在于：所述泵体(1)的上端固定安装有清洗壳体(2)，所述清洗壳体(2)的内部中轴位置固定安装有固定座(12)，所述固定座(12)的下端面上旋转安装有连通座(13)，所述连通座(13)与固定座(12)内部相通，所述连通座(13)的外表面上设置有同步带轮槽，所述清洗壳体(2)的内壁上固定安装有交流电机(15)，所述交流电机(15)的旋转轴一端固定安装有同步带轮，且同步带轮的外部套接有传动皮带(16)，所述传动皮带(16)的另一端套接在连通座(13)外表面上的同步带轮槽内，所述连通座(13)下端外表面的中轴位置处固定连接有第二清洗管(14)，所述第二清洗管(14)的外表面上安装有清洗喷嘴(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵体(1)的内部中轴位置处设置有泵芯(3)，所述泵体(1)内部底端外表面的中轴位置处固定安装有第一清洗管(5)，所述第一清洗管(5)置于泵芯(3)内部中轴位置处，所述第一清洗管(5)的外表面上固定安装有清洗喷嘴(18)，所述第一清洗管(5)的进水端以及固定座(12)的上端外表面上均安装有清洗软管(11)。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵体(1)的内部底端盛装有扩散泵油(9)，且扩散泵油(9)位于泵芯(3)下端，所述泵体(1)的内壁上固定安装有电阻加热管(4)，所述电阻加热管(4)浸泡在扩散泵油(9)的内部。

4.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵芯(3)的外表面上设置有多个喷射嘴(17)，且喷射嘴(17)的喷射方向倾斜朝下，所述泵芯(3)的外表面上设置有第一排气管(7)，所述泵体(1)的外表面上固定连接有第二排气管(8)，所述第一排气管(7)的出气端与第二排气管(8)的进气端位置对应。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述第二排气管(8)和泵体(1)的外表面上均设置有冷凝管(10)，所述冷凝管(10)螺旋分布。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵体(1)的下端外表面上固定连接有排料管(6)，所述排料管(6)的管路中固定安装有阀门。

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