CN214163572U - 一种单晶切割冷却液供液系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶切割冷却液供液系统，包括一用于冷却液中转储存用的集中溢流装置，集中溢流装置与线切机连通；第一线切机补液支路，第一线切机补液支路的进液端与集中溢流装置连接，第一线切机补液支路的出液端与线切机连通；第二线切机补液支路，第二线切机补液支路的进液端与集中溢流装置连接，第二线切机补液支路的出液端与线切机连通。本实用新型的有益效果是具有第一线切机补液支路和第二线切机补液支路，能够从两个支路对多台线切机进行冷却液的补充，以便于时时对线切机进行冷却液的补液，避免由于一个补液支路出现问题而造成进入线切机内的冷却液供应不足，减少在线液中粘稠物等杂质，提升在线冷却液品质。

Description

一种单晶切割冷却液供液系统

技术领域

本实用新型属于硅片切割技术领域，尤其是涉及一种单晶切割冷却液供液系统。

背景技术

目前硅片切割采用金刚石线切片技术，其机理是机器带动缠绕在槽轮上的金刚线发生高速运转，与单晶硅棒发生摩擦完成切割。此过程会产生大量的热量，需要冷却液进行冷却。冷却液中添加的消泡剂主要成是难溶于水或微溶于水的有机物，此类有机物在线切机中高速剪切、受温度变化影响等作用下破乳析出可视乳白色粘稠物；在线液循环系统中粘稠物不断析出、团聚、堆积，造成在线液系统精滤器和线切机前端过滤袋频繁堵塞，滤袋更换频次高、用量大，同时对在线液供液的稳定性、品质的一致性等造成了影响。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型提供一种单晶切割冷却液供液系统，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种单晶切割冷却液供液系统，包括：

一用于冷却液中转储存用的集中溢流装置，集中溢流装置与线切机连通；

第一线切机补液支路，第一线切机补液支路的进液端与集中溢流装置连接，第一线切机补液支路的出液端与线切机连通；

第二线切机补液支路，第二线切机补液支路的进液端与集中溢流装置连接，第二线切机补液支路的出液端与线切机连通。

进一步的，第二线切机补液支路的出液端还与切割室清洗装置连接

进一步的，第一线切机补液支路包括第一供液装置和第一过滤装置，第一供液装置的一端与集中溢流装置连接，第一供液装置的另一端与第一过滤装置的一端连接，第一过滤装置的另一端与多台线切机连接，对多台线切机进行补液。

进一步的，第一过滤装置与线切机连接的管道上设有第一支路检测装置。

进一步的，第一供液装置为供液泵。

进一步的，第二线切机补液支路包括冷却液处理装置和第二过滤装置，冷却液处理装置的一端与集中溢流装置连接，冷却液处理装置的另一端与第二过滤装置的一端连接，第二过滤装置的另一端与多台线切机连接，对多台线切机进行补液。

进一步的，第一过滤装置与第二过滤装置均为自清洗过滤器。

进一步的，冷却液处理装置包括供液泵、压滤机、一次检验装置、预调配罐、调配装置、二次检验装置和精滤器，集中溢流装置、供液泵、压滤机、一次检验装置、预调配罐、调配装置、二次检验装置、精滤器与过滤装置依次连接。

进一步的，集中溢流装置为溢流水箱。

进一步的，切割室清洗装置为水枪。

由于采用上述技术方案，使得单晶切割冷却液供液系统结构简单，安装拆卸维修方便，具有第一线切机补液支路和第二线切机补液支路，能够从两个支路对多台线切机进行冷却液的补充，以便于时时对线切机进行冷却液的补液，避免由于一个补液支路出现问题而造成进入线切机内的冷却液供应不足，保证进入切割仓内冷却液品质的一致性，减少在线液中粘稠物等杂质，提升在线冷却液品质；具有集中溢流装置，对冷却液废液进行集中溢流沉淀，以便于冷却液废液能够分别进入第一线切机补液支路和第二线切机补液支路；第二线切机补液支路对集中溢流装置中溢流出来的冷却液废液进入冷却液处理装置内进行处理调配，形成冷却液成品液，并对冷却液成品液进行过滤后进入线切机内，对线切机进行时时补液，降低过滤袋的更换频次，减少辅材和人工方面成本投入；集中过滤装置、第一过滤装置和第二过滤装置的设置，最大限度的将在线液中粘稠物滤除，减少粘稠物对管道和箱罐内壁的附着，保证管道流量，降低清洗系统的频次。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的结构示意图。

图中：

1、第二过滤装置 2、冷却液处理装置 3、集中溢流装置

4、第一供液装置 5、第一过滤装置

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1示出了本实用新型一实施例的结构示意图，具体示出了本实施例的结构示意图，本实施例涉及一种单晶切割冷却液供液系统，用于对线切机进行冷却液补液，具有两个补液支路，能够同时对多台线切机使用的冷却液进行集中收集、集中过滤，同时能够为多台线切机提供冷却液，使得从多台线切机中出来的冷却液经过回收过滤而循环使用，能够对多台线切机进行时时补液，便于冷却液循环使用，提升在线冷却液品质，保证进入线切机切割仓内冷却液品质的一致性。

一种单晶切割冷却液供液系统，如图1所示，包括：

一用于冷却液中转存储用的集中溢流装置3，集中溢流装置3与线切机连通，且该集中溢流装置3同时与多台线切机连通，使得多台线切机产生的冷却液废液进入集中溢流装置3内，对多台线切机产生的切割后的冷却液进行集中收集，暂时储存，该集中溢流装置3起到中转站的作用，便于多台线切机产生的冷却液废液从集中溢流装置3分别进入第一线切机补液支路与第二线切机补液支路；

第一线切机补液支路，第一线切机补液支路的进液端与集中溢流装置3连接，第一线切机补液支路的出液端与线切机连通，第一线切机补液支路用于对多台线切机进行补液，从集中溢流装置3流出的冷却液废液经过第一线切机补液支路过滤，进入多台线切机内，对多台线切机进行冷却液补液，时时提供冷却液；

第二线切机补液支路，第二线切机补液支路的进液端与集中溢流装置3连接，第二线切机补液支路的出液端与线切机连通，第二线切机补液支路用于对多台线切机进行补液，从集中溢流装置3流出的冷却液废液经过第二线切机补液支路过滤、调配后进入多台线切机内，对多台线切机进行冷却液补液，时时提供冷却液。

线切机对单晶切割后，产生的参与切割后的冷却液废液经过连接管道进入集中溢流装置3中，进行冷却废液的集中收集、暂时存储，经过集中溢流装置3内的冷却液废液经过溢流沉淀后，分别进入第一线切机补液支路和第二线切机补液支路内，并经过第一线切机补液支路和第二线切机补液支路处理，使得冷却液满足线切机使用需求，再次进入线切机内，使得冷却液再次循环使用，对线切机进行时时补液，且由于进入线切机内的冷却液时对冷却液废液的过滤、调配处理，从而保证进入切割仓内的冷却液品质的一致性。

具体地，上述的集中溢流装置3为溢流水箱，对进入集中溢流水箱内的冷却液进行溢流处理，同时对冷却液废液进行暂时存储，使得冷却液中的粘稠物沉降，便于冷却液经过第一线切机补液支路或第二线切机补液支路处理后再次进入线切机内使用，提高了冷却液的利用率，同时保证在线冷却液品质。该集中溢流水箱可以是市售的溢流水箱，也可以是提升井，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

进一步优化方案，第二线切机补液支路的出液端还与切割室清洗装置连接，在线切机下料后需要用切割室清洗装置对切割室进行清洗，清理切割室内的碎片、粘稠物等杂质进行清洗，现有技术中，采用RO水进行清洗，RO水进入冷却液循环系统内，会稀释冷却液系统的浓度，此时会降低整个线切机的冷却液系统的浓度，影响冷却液的使用，将切割时清洗装置与第二线切机补液支路连接，采用处理后的冷却液进行冲洗，不会对冷却液系统的浓度造成影响。优选的，在本实施例例，该切割室清洗装置为水枪，为市售产品，根据实际需求进行选择。

上述的第一线切机补液支路包括第一供液装置4和第一过滤装置5，第一供液装置4的一端与集中溢流装置3连接，第一供液装置4的另一端与第一过滤装置5的一端连接，第一过滤装置5的另一端与多台线切机连接，也就是，集中溢流装置3、第一供液装置4、第一过滤装置5依次连接，第一过滤装置5的出液端与多台线切机连接，使得集中溢流装置3的冷却液在第一供液装置4的作用下，进入第一过滤装置5，在第一过滤装置5的作用下对冷却液进行过滤，过滤后的冷却液进入多台线切机内，同时对多台线切机进行补液。

其中，该第一供液装置4的作用是为集中溢流装置3中的冷却液进入线切机提供动力，使得集中溢流装置3中的冷却液能够快速进入线切机内，满足线切机内冷却液的使用需求，时时对线切机进行冷却液的补充。在本实施例中，该第一供液装置4为供液泵，为市售产品，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

第一过滤装置5的作用是对从集中溢流装置3内流出的冷却液进行过滤处理，将粘稠物过滤掉，使得进入线切机内的冷却液满足使用需求，保证在线进入线切机内的冷却液的品质，避免线切机前端的过滤袋堵塞。在本实施例中，该第一过滤装置5为自清洗过滤器，为市售产品，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求，选择自清洗过滤器，降低劳动强度，降低人工成本。

从线切机中流出的参与切割后的冷却液废液进入集中溢流装置3内，进行溢流沉淀，集中溢流装置3中的沉淀后的冷却液在第一供液装置4的作用下，进入第一过滤装置5内，进行过滤处理，将冷却液中的粘稠物过滤掉，处理后，分别进入多台线切机内，供给线切机使用，冷却液在线切机内使用后，冷却液废液从线切机内流出，进入集中溢流装置3内，完成冷却液在线切机内使用，并进行废液的集中回收，使得冷却液的能够循环使用，提高冷却液的利用率。

第一过滤装置5与线切机连接的管道上设有第一支路检测装置，第一过滤装置5与线切机通过连接管道连接，在连接管道上设置有第一支路检测装置，对处理后的冷却液的质量进行检测，以保证进入线切机的冷却液的质量，同时便于时时了解进入线切机的冷却液的质量，使得进入线切机内的冷却液质量可控。该第一支路检测装置包括粘度测试仪、电导率测试仪和PH值测试仪，分别用于检测冷却液的粘度、电导率和PH值。集中溢流装置3与第一供液装置4通过连接管道连接，第一供液装置4与第一过滤装置5通过连接管道，以便于冷却液的流动。

在第一线切机补液支路中，由于第一供液装置4的作用，使得集中溢流装置3内的冷却液能够快速进入第一过滤装置5内，并在第一过滤装置5过滤后，快速进入多台线切机内，不需其他处理步骤，所以，第一线切机补液支路采用大流量冷却液，此处，冷却液的流量为370000-390000L/h，根据实际需求进行选择。

上述的第二线切机补液支路包括冷却液处理装置2和第二过滤装置1，冷却液处理装置2的一端与集中溢流装置3连接，冷却液处理装置2的另一端与第二过滤装置1的一端连接，第二过滤装置1的另一端与多台线切机连接，集中溢流装置3、冷却液处理装置2与第二过滤装置1依次连接，第二过滤装置1的出液端与多台线切机连接，集中溢流装置3中的冷却液废液进入冷却液处理装置2内，对冷却液废液进行处理、调配，处理后，进入第二过滤装置1内，对处理后的冷却液进行再次过滤，过滤后的冷却液进入线切机内，时时对线切机进行冷却液的补充，同时对多台线切机进行补液，使得冷却液废液经处理进入线切机内进行补液，对线切机在进行切割时进行冷却，同时保证了进入线切机内的冷却液的质量。

集中溢流装置3中溢流出的冷却液进入冷却液处理装置2内，进行冷却液处理、调配，形成成品液，成品液进入第二过滤装置1内进行过滤，过滤后的冷却液成品液进入线切机内，对线切机进行冷却液的补充，保证进入线切机内的冷却液的品质，满足多台线切机的使用需求，通过冷却液处理装置2的处理、调配，进入线切机内，参与切割后再次进入集中溢流装置3内，使得冷却液废液充分混合，冷却液浓度混合均匀，保证冷却液体系浓度稳定，经过第二过滤装置1的过滤，避免线切机前端的过滤袋堵塞，降低该过滤袋更换的频次。

在本实施例中，该第二过滤装置1为自清洗过滤器，为市售产品，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

上述的冷却液处理装置2包括供液泵、压滤机、一次检验装置、预调配罐、调配装置、二次检验装置和精滤器，集中溢流装置3、供液泵、压滤机、一次检验装置、预调配罐、调配装置、二次检验装置、精滤器与第二过滤装置1依次连接。对从集中溢流装置3内溢流出的冷却液废液进行处理、调配，处理调配后的成品液进入线切机内，对线切机进行冷却液成品液的时时在线补充，保证进入线切机切割仓内的冷却液品质一致性。

压滤机通过供液泵与集中溢流装置3连接，由供液泵的压力将冷却液废液输送到压滤机进行废液过滤。该压滤机为市售产品，能够过滤掉废液中的粘稠物及硅粉颗粒等杂质。

经过废液过滤的冷却液被输送到一次检测装置进行检测。该一次检验装置包括粘度测试仪、电导率测试仪和PH值测试仪，分别用来检测冷却液溶液的粘度值、电导率和PH值。经一次检验后合格的冷却液溶液为半成品，盛放在预调配罐内。预调配罐的出口与调配装置入口连接，调配装置用来对半成品液进行调配，同时，调配装置和预调配罐之间设有浓度检测装置，用来检测半成品溶液的浓度值。

经过调配后的冷却液进入二次检验装置内，进行二次检测。二次检验装置和一次检验装置一样，都包括粘度测试仪、电导率测试仪和PH值测试仪，进行粘度、电导率和pH值的测试。二次检验后的溶液被输送到精滤器进行精滤，精滤器为市售产品，根据实际需求进行选择，进行粘稠物及硅粉颗粒等杂质的过滤。精滤后的溶液为成品液。

成品液经过第二过滤装置1过滤后，进入线切机内，进行成品液的时时在线补充。

该第二线切机补液支路中，由于冷却液处理装置2对冷却液废液进行处理，所以，在第二线切机补液支路中，冷却液的流量为小流量，以便于冷却液处理装置2对冷却液进行处理、调配，该冷却液的流量为11000-13000L/h，根据实际需求进行选择。

上述第一线切机补液支路与第二线切机补液支路的设置，能够保证对线切机冷却液的补充，避免由于一个补液支路出现问题对线切机冷却液的供应造成影响。第一线切机补液支路与第二线切机补液支路可以同时与线切机的冷却液溢流槽连接，也可以同时与线切机的提料喷淋装置连接，或者，第一线切机补液支路与第二线切机补液支路分别与线切机的冷却液溢流槽和/或提料喷淋装置连接，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

该单晶切割冷却液供液系统在使用时，集中溢流装置3起到中转站的作用，冷却液的废液暂时存储在集中溢流装置3中，且冷却液废液在集中溢流装置3中时，粘稠物及硅粉颗粒等杂质进行沉降；将单晶切割冷却液供液系统通过连接管道与多台线切机连通，以便于冷却液循环使用。

位于集中溢流装置3中的冷却液在第一供液装置4的动力的作用下，进入第一过滤装置5内进行过滤，将冷却液中的硅粉过滤掉，过滤后的冷却液同时进入多台线切机内，供线切机使用，便于线切机切割硅棒时进行冷却；冷却液使用后的废液进入集中溢流装置3中，进行集中回收；同时，在第一过滤装置5与线切机的连接管道上设有第一支路检测装置，对进入线切机的冷却液的质量进行检测，能够及时止损，避免进入线切机内的冷却液质量有问题，影响线切机对单晶切割。

随着废液进入集中溢流装置3后，集中溢流装置3溢流出的冷却液废液进入冷却液处理装置2内进行处理、调配，此时，冷却液在供液泵的作用下，进入压滤机，进行过滤，经过过滤后的冷却液进入一次检验装置内，进行粘度、电导率和pH值检测，经过检测后的冷却液进入预调配罐中，进行中转，冷却液从预调配罐中出来后进入调配装置中，进行调配，调配后的冷却液进入二次检验装置中进行检测，检测后的冷却液进入精滤器内，进行过滤，形成冷却液成品液，成品液进入第二过滤装置1内进行过滤，进入线切机内，对线切机进行时时补液。

由于采用上述技术方案，使得单晶切割冷却液供液系统结构简单，安装拆卸维修方便，具有第一线切机补液支路和第二线切机补液支路，能够从两个支路对多台线切机进行冷却液的补充，以便于时时对线切机进行冷却液的补液，避免由于一个补液支路出现问题而造成进入线切机内的冷却液供应不足，保证进入切割仓内冷却液品质的一致性，减少在线液中粘稠物等杂质，提升在线冷却液品质；具有集中溢流装置，对冷却液废液进行集中溢流沉淀，以便于冷却液废液能够分别进入第一线切机补液支路和第二线切机补液支路；第二线切机补液支路对集中溢流装置中溢流出来的冷却液废液进入冷却液处理装置内进行处理调配，形成冷却液成品液，并对冷却液成品液进行过滤后进入线切机内，对线切机进行时时补液，降低过滤袋的更换频次，减少辅材和人工方面成本投入；集中过滤装置、第一过滤装置和第二过滤装置的设置，最大限度的将在线液中粘稠物滤除，减少粘稠物对管道和箱罐内壁的附着，保证管道流量，降低清洗系统的频次。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：包括：

一用于冷却液中转储存用的集中溢流装置，所述集中溢流装置与线切机连通；

第一线切机补液支路，所述第一线切机补液支路的进液端与所述集中溢流装置连接，所述第一线切机补液支路的出液端与所述线切机连通；

第二线切机补液支路，所述第二线切机补液支路的进液端与所述集中溢流装置连接，所述第二线切机补液支路的出液端与所述线切机连通。

2.根据权利要求1所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述第二线切机补液支路的出液端还与切割室清洗装置连接。

3.根据权利要求1或2所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述第一线切机补液支路包括第一供液装置和第一过滤装置，所述第一供液装置的一端与所述集中溢流装置连接，所述第一供液装置的另一端与所述第一过滤装置的一端连接，所述第一过滤装置的另一端与多台所述线切机连接，对多台所述线切机进行补液。

4.根据权利要求3所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述第一过滤装置与所述线切机连接的管道上设有第一支路检测装置。

5.根据权利要求4所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述第一供液装置为供液泵。

6.根据权利要求4或5所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述第二线切机补液支路包括冷却液处理装置和第二过滤装置，所述冷却液处理装置的一端与所述集中溢流装置连接，所述冷却液处理装置的另一端与所述第二过滤装置的一端连接，所述第二过滤装置的另一端与多台所述线切机连接，对多台所述线切机进行补液。

7.根据权利要求6所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述第一过滤装置与所述第二过滤装置均为自清洗过滤器。

8.根据权利要求7所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述冷却液处理装置包括供液泵、压滤机、一次检验装置、预调配罐、调配装置、二次检验装置和精滤器，所述集中溢流装置、所述供液泵、所述压滤机、所述一次检验装置、所述预调配罐、所述调配装置、所述二次检验装置、所述精滤器与所述过滤装置依次连接。

9.根据权利要求1或2所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述集中溢流装置为溢流水箱。

10.根据权利要求2所述的单晶切割冷却液供液系统，其特征在于：所述切割室清洗装置为水枪。

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