CN214133031U - 一种高精度清洗机槽体 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及精密器件清洗设备技术领域，具体公开了一种无直角和死角、易于打磨、焊接及清洗的高精度清洗机槽体，包括底板，底板的边缘折弯形成环挡部，底板上于环挡部任一个边侧的底部内表面设有第一弧面过渡部，底板上于环挡部转角的底部内表面设有第二弧面过渡部；第一U型槽板及第二U型槽板，第一U型槽板与第二U型槽板合围并焊接形成槽身，槽身底部与环挡部的顶部焊接，第一U型槽板上相邻两个侧面板连接处的内表面设有第三弧面过渡部，第二U型槽板上相邻两个侧面板连接处的内表面设有第四弧面过渡部；以及环形溢流板，环形溢流板套设于槽身的槽口处并与槽身焊接，环形溢流板上任意两个相邻侧面板连接处的内表面设有第五弧面过渡部。

Description

一种高精度清洗机槽体

技术领域

本实用新型涉及精密器件清洗设备技术领域，特别是涉及一种高精度清洗机槽体。

背景技术

在14纳米级以上的芯片制造行业中，芯片晶圆经过光刻机蚀刻前，由于搬运移动过程中可能会让晶圆表面存留一些0.25微米以上的尘埃等颗粒，这些颗粒的存在将直接影响到光刻机最终的涂布、显影及蚀刻，从而决定芯片光刻效果及品质，因此，在芯片晶圆进行光刻作业前，需要采用清洗机清洗芯片晶圆，以保证芯片质量。

目前，用于清洗芯片晶圆的清洗机的槽体主要采用板料激光切割下料，经钣金折弯成型、焊接、打磨以及清洗等工序得到洁净的清洗机槽体，在制作槽体焊接时由于槽体是立体四面焊接及底面焊接，这样会有直角和死角，增大了槽体打磨难度及焊接难度，影响了槽体的焊缝品质，且死角部位易藏污纳垢，进而影响清洗产品的洁净度。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述不足，提供一种无直角和死角、易于打磨、焊接及清洗的高精度清洗机槽体。

一种高精度清洗机槽体，该高精度清洗机槽体包括：

底板，所述底板的边缘折弯形成环挡部，所述底板上于所述环挡部任一个边侧的底部的内表面设有第一弧面过渡部，所述底板上于所述环挡部转角的底部内表面设有第二弧面过渡部；

第一U型槽板及第二U型槽板，所述第一U型槽板与所述第二U型槽板合围并焊接以形成槽身，所述槽身的底部与所述环挡部的顶部焊接，所述第一U型槽板上相邻两个侧面板连接处的内表面设有第三弧面过渡部，所述第二U型槽板上相邻两个侧面板连接处的内表面设有第四弧面过渡部；以及

环形溢流板，所述环形溢流板套设于所述槽身的槽口处并与所述槽身焊接，所述环形溢流板上任意两个相邻侧面板连接处的内表面设有第五弧面过渡部。

在其中一个实施例中，所述第一弧面过渡部、所述第三弧面过渡部以及所述第四弧面过渡部分别由金属板料经球面弧形钣金放样制得。

在其中一个实施例中，所述第一U型槽板及所述第二U型槽板分别由球面弧形钣金放样后的板料经圆弧形钣金折弯制得。

在其中一个实施例中，所述第二弧面过渡部为由球面模压成型的球面结构。

在其中一个实施例中，所述底板、所述第一U型槽板、所述第二U型槽板以及所述环形溢流板分别采用304或316不锈钢镜面板制作。

在其中一个实施例中，所述槽身顶部的水平高度大于所述环形溢流板的底面的高度。

在其中一个实施例中，所述槽身的顶部呈波浪状结构或锯齿状结构。

实施本实用新型的高精度清洗机槽体，通过在底板、第一U型槽板、第二U型槽板以及环形溢流板上分别设置弧面过渡部，消除了槽体上的直角或死角，便于槽体加工过程中对槽体内表面的边角进行打磨及焊接，槽体内表面的杂质或颗粒等在清洗水的冲洗下即离开槽体，避免了因存留的杂质对后续待清洗元器件的污染，从而保证对元器件的清洗效果及元器件的洁净度。

附图说明

图1为本实用新型的一个实施例中高精度清洗机槽体的结构示意图；

图2为图1所示实施例中高精度清洗机槽体的爆炸结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

请一并参阅图1与图2，本实用新型提供了一种无直角和死角、易于打磨、焊接及清洗的高精度清洗机槽体10，该高精度清洗机槽体10包括底板100、第一U型槽板200、第二U型槽板300以及环形溢流板400，其中，底板100的边缘折弯形成环挡部110，底板100上于环挡部110任一个边侧的底部的内表面设有第一弧面过渡部120，底板100上于环挡部110转角的底部内表面设有第二弧面过渡部130；第一U型槽板200与第二U型槽板300合围并焊接以形成槽身，槽身的底部与环挡部110的顶部焊接，第一U型槽板200上相邻两个侧面板连接处的内表面设有第三弧面过渡部210，第二U型槽板300上相邻两个侧面板连接处的内表面设有第四弧面过渡部310；环形溢流板400套设于槽身的槽口处并与槽身焊接，环形溢流板400上任意两个相邻侧面板连接处的内表面设有第五弧面过渡部410。

一实施例中，底板100、第一U型槽板200、第二U型槽板300以及环形溢流板400分别采用304或316不锈钢镜面板制作。通过采用304或316不锈钢镜面板制作上述各部件，在提升槽体10机械强度，延长槽体10使用寿命的同时，增大了槽体10内表面，即上述各部件内表面的光滑度，避免因清洗后的槽体10内表面上粘附杂质或灰尘造成的对待清洗元器件的污染，以提升清洗后元器件的洁净度。

一实施例中，第一弧面过渡部120、第三弧面过渡部210以及第四弧面过渡部310分别由金属板料经球面弧形钣金放样制得。具体的，底板100由金属板料经球面弧形钣金放样后，在第一弧面过渡部120的位置经圆弧形钣金折弯，形成环挡部110；第一U型槽板200及第二U型槽板300分别由金属料板经球面弧形钣金放样后，在第三弧面过渡部210及第四弧面过渡部310的部位经圆弧形钣金折弯制得。

需要说明的是，底板100上包括环形设置的四个第一弧面过渡部120，第一U型槽板200上包括并排设置的两个第三弧面过渡部210，第二U型槽板300上包括并排设置的两个第四弧面过渡部310，在槽体10的组装焊接作业时，第一U型槽板200两竖部的末端分别对应与第二U型槽板300两竖部的末端抵接并经焊接固定，同样的，由第一U型槽板200与第二U型槽板300构成的槽身的底部与环挡部110的顶部抵接并经焊接固定，环形溢流板400经球面弧形钣金放样制得后，套设在槽身的槽口部位，且环形溢流板400的内环表面与槽身的环侧面抵接配合，并进抵接部位焊接形成焊缝，实现环形溢流板400与槽身的固定连接。

一实施例中，第一U型槽板200的竖部的高度大于、等于或小于第二U型槽板300的竖部的高度。本实施例中，第一U型槽板200竖部的高度是指竖部的顶部至第一U型槽板200的横部之间的距离，第二U型槽板300竖部的高度是指竖部的顶部至第二U型槽板300的横部之间的距离。可以理解为，第一U型槽板200既可以与第二U型槽板300结构尺寸相同，即对称设置，也可以是尺寸不同，具体可依据生产材料及生产条件确定，于此不再赘述。

第二弧面过渡部130为环挡部110上相邻两个侧面与底板100底部之间的连接过渡部位，分别连接底板100上构成同一顶角的三个面，即设置在底板100的顶角部位。为了实现底板100顶角处的平滑过渡，采用球面模压成型对该顶角部位进行处理，即第二弧面过渡部130为由球面模压成型的球面结构，以避免槽体10清洗过程中杂质的存留。

环形溢流板400用于承接元器件清洗过程中，因元器件置入槽体10内腔而溢出的清洗水。一实施例中，槽身的顶部呈波浪状结构或锯齿状结构。具体的，在元器件的清洗过程中，元器件表面的浮灰进入清洗溶剂中并漂浮在溢流表面，由于清洗溶剂对浮灰的张力较大，使得浮灰不容易从溢流出去，锯齿状结构或波浪状结构的设置实现了对清洗溶剂的阻流，即克服了清洗溶剂对浮灰的液体张力，使得浮灰随着清洗溶剂从锯齿状或波浪状的凹位流走，从而增加槽体10内部的清洁度。在实际使用中，通常在槽体10下部增加一个进水口，使得洁净的清洗溶剂从槽体10下部不断补充，以便于溢流带走浮灰。

一实施例中，槽身顶部的水平高度大于环形溢流板400的底面的高度，当然，槽身的顶部还可以与环形溢流板400的底部齐平。如此，在元器件的清洗过程中，因元器件置入而溢出的水漫入槽身外表面与环形溢流板400围成的溢流区中，以便于统一收集溢流或对溢流进行处理，环形溢流板400的尺寸和容量可以根据元器件的大小来决定，以免因环形溢流板400围成的容积较小进而造成的溢流漫溢问题。实际使用中，通常会在环形溢流板400的底部开一个孔，并于该孔的位置安装排水管。进一步的，经由排水管流出的清洗溶剂还可以通入外部循环过滤装置，将灰尘颗粒过滤掉，随后将洁净的清洗溶剂经由槽体10底部的进水口重新接入槽体10，从而形成水路循环，以减少清洗溶剂排放，节约能源。

需要说明的是，在槽体10的加工过程中，各部件经放样折弯及焊接形成槽体10坯体后，还需要对槽体10的内外表面进行打磨清洗以及电解抛光等作业，以消除槽体10内外表面的不平整问题，提升槽体10的表面光滑度，进而提升槽体10对元器件的清洗效果。

需要进一步说明的是，本实用新型的高精度清洗机槽体10不仅可以用于芯片晶圆的清洗，还可以用于OLED与AMOLED柔性屏幕以及人造骨骼等器材的清洗作业，当然，同样可以用于其他体积较小的高精密度元器件的清洗，于此不再赘述。

实施本实用新型的高精度清洗机槽体10，通过在底板100、第一U型槽板200、第二U型槽板300以及环形溢流板400上分别设置弧面过渡部，消除了槽体10上的直角或死角，便于槽体10加工过程中对槽体10内表面的边角进行打磨及焊接，槽体10内表面的杂质或颗粒等在清洗水的冲洗下即离开槽体10，避免了因存留的杂质对后续待清洗元器件的污染，从而保证对元器件的清洗效果及元器件的洁净度。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种高精度清洗机槽体，其特征在于，包括：

底板，所述底板的边缘折弯形成环挡部，所述底板上于所述环挡部任一个边侧的底部的内表面设有第一弧面过渡部，所述底板上于所述环挡部转角的底部内表面设有第二弧面过渡部；

第一U型槽板及第二U型槽板，所述第一U型槽板与所述第二U型槽板合围并焊接以形成槽身，所述槽身的底部与所述环挡部的顶部焊接，所述第一U型槽板上相邻两个侧面板连接处的内表面设有第三弧面过渡部，所述第二U型槽板上相邻两个侧面板连接处的内表面设有第四弧面过渡部；以及

环形溢流板，所述环形溢流板套设于所述槽身的槽口处并与所述槽身焊接，所述环形溢流板上任意两个相邻侧面板连接处的内表面设有第五弧面过渡部。

2.根据权利要求1所述的高精度清洗机槽体，其特征在于，所述第一弧面过渡部、所述第三弧面过渡部以及所述第四弧面过渡部分别由金属板料经球面弧形钣金放样制得。

3.根据权利要求2所述的高精度清洗机槽体，其特征在于，所述第一U型槽板及所述第二U型槽板分别由球面弧形钣金放样后的板料经圆弧形钣金折弯制得。

4.根据权利要求1所述的高精度清洗机槽体，其特征在于，所述第二弧面过渡部为由球面模压成型的球面结构。

5.根据权利要求1至4任一项所述的高精度清洗机槽体，其特征在于，所述底板、所述第一U型槽板、所述第二U型槽板以及所述环形溢流板分别采用304或316不锈钢镜面板制作。

6.根据权利要求5所述的高精度清洗机槽体，其特征在于，所述槽身顶部的水平高度大于所述环形溢流板的底面的高度。

7.根据权利要求6所述的高精度清洗机槽体，其特征在于，所述槽身的顶部呈波浪状结构或锯齿状结构。

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