CN214115712U - 一种溅射镀膜上料平移架 - Google Patents

一种溅射镀膜上料平移架 Download PDF

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Abstract

为了解决真空室的上料口设置在一高洁净度的洁净室内,在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程,现在需要把上料架上的镀膜成品卸下来然后搬运到洁净室内贴上镀膜基片,工序复杂且需要耗费大量的人力和时间的问题,本实用新型提出一种溅射镀膜上料平移架,包括平移架和两条平移轨道,平移架包括上框架、控制箱体、传动轨道、滑动轨道、限位装置和底板架,通过将机片架运输到平移架上,通过控制箱体内的电机控制走位链条的运动从而带动平移架沿平移轨道运行,方便搬运,且底板架的上表面设有人行道,当搬运的同时操作员站在人行道上进行需要镀膜产品的上料工作,同时上框架为中空结构可两边同时上料,节省了时间。

Description

一种溅射镀膜上料平移架
技术领域
本实用新型涉及溅射镀膜技术领域,较为具体的,涉及到一种溅射镀膜上料平移架。
背景技术
目前,真空磁控溅射镀膜机是对金属、玻璃和塑料表面进行镀膜的专用设备,其可适用于镀制耐磨损的涂层。现有技术的真空磁控溅射镀膜机,包括真空抽气系统、真空室、真空室的上料口、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置,可利用物理气相沉积(以下简称“PVD”)技术在工件表面沉积一层几个微米薄的金属层。随着生活水平的提高,人们对于具有更加广泛用途和性能的涂层需求也越来越大。
目前真空室的上料口设置在一高洁净度的洁净室内,在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程,现在需要把上料架上的镀膜成品卸下来然后搬运到洁净室内贴上镀膜基片后送入上料口,工序复杂且需要耗费大量的人力物力。
实用新型内容
有鉴于此,为了解决真空室的上料口设置在一高洁净度的洁净室内,在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程,现在需要把上料架上的镀膜成品卸下来然后搬运到洁净室内贴上镀膜基片后送入上料口,工序复杂且需要耗费大量的人力和时间的问题,本实用新型提出一种溅射镀膜上料平移架,通过将机片架运输到平移架上,通过控制箱体内的电机控制走位链条的运动从而带动平移架沿平移轨道运行,方便搬运,且底板架的上表面设有人行道,当搬运的同时操作员站在人行道上进行需要镀膜产品的上料工作,同时上框架为中空结构,可进行两边同时上料,节省了大量的时间。
一种溅射镀膜上料平移架,包括平移架1和两条平移轨道2,平移架1包括上框架11、控制箱体12、传动轨道13、滑动轨道14、限位装置15和底板架17,两条平移轨道2位于底板架17下方两侧且两条平移轨道2相互平行,底板架17上方设有控制箱体12,控制箱体12的一侧设有控制开关121,通过控制开关121控制平移架1的运行,其特征在于:底板架17底部一端设有走位链条172,走位链条172电性连接控制箱体12内的电机,通过控制箱体12内的电机控制走位链条172的运动从而带动平移架1沿平移轨道2运行,控制箱体12的上方固定有传动轨道13,传动轨道13内部靠近镀膜机端设有传动齿轮132,当机片架安装在传动轨道13内时,传动齿轮132带动机片架运动,传动轨道13一侧壁旁设有上框架11,上框架11与控制箱体12一体成型且垂直于控制箱体12上表面,上框架11为中空结构,上框架11顶部下方设有滑动轨道14,滑动轨道14与传动轨道13相互平行且在一条垂直直线上,滑动轨道14旁设有限位装置15,限位装置15固定在上框架11顶部且与滑动轨道14平行,通过限位装置15限制机片架的位置。
进一步的,底板架17的上表面设有人行道171,人行道171表面设有凸起的纹路,增大上表面与操作人员鞋底之间的摩擦,当操作人员在移动的上料平移架1上安置镀膜基片时不易打滑摔跤。
进一步的,走位链条172为环形结构。
进一步的,底板架17底部两侧与两个平移轨道2相接触的地方设有数个滚轮,滚轮与平移轨道2配合运动。
进一步的,控制箱体12的一侧设有急停按钮122,当遇到紧急情况下可以按急停按钮122使得上料平移架1停止作业。
进一步的,传动轨道13中间间隔设有数个间距相同的支撑杆131,防止传动轨道13由于热胀冷缩而导致的形变。
进一步的,上框架11顶部为封闭结构,由于上料平移架1在运输中有一部分会接触到正常空气环境中,防止上框架11上安装的机片架受到外界环境的污染而影响镀膜产品的镀膜效果。
进一步的,上框架11的限位装置15为一长杆,长杆的长度与上框架11的长度相同且与上框架11上的滑动轨道14平行。
进一步的,限位装置15上间隔设有安装块16,通过安装块16与上框架11可拆卸安装,方便调节和维修限位装置15。
本实用新型的有益效果:本实用新型提出一种溅射镀膜上料平移架,通过将机片架运输到平移架1上,通过控制箱体12内的电机控制走位链条172的运动从而带动平移架1沿平移轨道2运行,方便搬运,且底板架17的上表面设有人行道171,当搬运的同时操作员站在人行道171上进行需要镀膜产品的上料工作,同时上框架11为中空结构,可进行两边同时上料,节省了大量的时间。
附图说明
图1为本实用新型的溅射镀膜上料平移架的结构示意图。
图2为本实用新型的溅射镀膜上料平移架传动轨道的俯视结构示意图。
图3为本实用新型的溅射镀膜上料平移架的走位链条的结构示意图。
主要元件符号说明
平移架 1
上框架 11
控制箱体 12
控制开关 121
急停按钮 122
传动轨道 13
支撑杆 131
传动齿轮 132
滑动轨道 14
限位装置 15
安装块 16
底板架 17
人行道 171
走位链条 172
平移轨道 2
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
如图1所示,为本实用新型的溅射镀膜上料平移架的结构示意图;如图2所示,为本实用新型的溅射镀膜上料平移架传动轨道的俯视结构示意图;如图3所示,为本实用新型的溅射镀膜上料平移架的走位链条的结构示意图。
一种溅射镀膜上料平移架,包括平移架1和两条平移轨道2,平移架1包括上框架11、控制箱体12、传动轨道13、滑动轨道14、限位装置15和底板架17,两条平移轨道2位于底板架17下方两侧且两条平移轨道2相互平行,底板架17上方设有控制箱体12,控制箱体12的一侧设有控制开关121,通过控制开关121控制平移架1的运行,其特征在于:底板架17底部一端设有走位链条172,走位链条172电性连接控制箱体12内的电机,通过控制箱体12内的电机控制走位链条172的运动从而带动平移架1沿平移轨道2运行,控制箱体12的上方固定有传动轨道13,传动轨道13内部靠近镀膜机端设有传动齿轮132,当机片架安装在传动轨道13内时,传动齿轮132带动机片架运动,传动轨道13一侧壁旁设有上框架11,上框架11与控制箱体12一体成型且垂直于控制箱体12上表面,上框架11为中空结构,上框架11顶部下方设有滑动轨道14,滑动轨道14与传动轨道13相互平行且在一条垂直直线上,滑动轨道14旁设有限位装置15,限位装置15固定在上框架11顶部且与滑动轨道14平行,通过限位装置15限制机片架的位置。
所述底板架17的上表面设有人行道171,人行道171表面设有凸起的纹路,增大上表面与操作人员鞋底之间的摩擦,当操作人员在移动的上料平移架1上安置镀膜基片时不易打滑摔跤。
所述走位链条172为环形结构。
所述底板架17底部两侧与两个平移轨道2相接触的地方设有数个滚轮,滚轮与平移轨道2配合运动。
所述控制箱体12的一侧设有急停按钮122,当遇到紧急情况下可以按急停按钮122使得上料平移架1停止作业。
所述传动轨道13中间间隔设有数个间距相同的支撑杆131,防止传动轨道13由于热胀冷缩而导致的形变。
所述上框架11顶部为封闭结构,由于上料平移架1在运输中有一部分会接触到正常空气环境中,防止上框架11上安装的机片架受到外界环境的污染而影响镀膜产品的镀膜效果。
所述上框架11的限位装置15为一长杆,长杆的长度与上框架11的长度相同且与上框架11上的滑动轨道14平行。
所述限位装置15上间隔设有安装块16,通过安装块16与上框架11可拆卸安装,方便调节和维修限位装置15。
本实用新型的有益效果:本实用新型提出一种溅射镀膜上料平移架,通过将机片架运输到平移架1上,通过控制箱体12内的电机控制走位链条172的运动从而带动平移架1沿平移轨道2运行,方便搬运,且底板架17的上表面设有人行道171,当搬运的同时操作员站在人行道171上进行需要镀膜产品的上料工作,同时上框架11为中空结构,可进行两边同时上料,节省了大量的时间。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.一种溅射镀膜上料平移架,包括平移架(1)和两条平移轨道(2),平移架(1)包括上框架(11)、控制箱体(12)、传动轨道(13)、滑动轨道(14)、限位装置(15)和底板架(17),两条平移轨道(2)位于底板架(17)下方两侧且两条平移轨道(2)相互平行,底板架(17)上方设有控制箱体(12),控制箱体(12)的一侧设有控制开关(121),通过控制开关(121)控制平移架(1)的运行,其特征在于:底板架(17)底部一端设有走位链条(172),走位链条(172)电性连接控制箱体(12)内的电机,通过控制箱体(12)内的电机控制走位链条(172)的运动从而带动平移架(1)沿平移轨道(2)运行,控制箱体(12)的上方固定有传动轨道(13),传动轨道(13)内部靠近镀膜机端设有传动齿轮(132),当机片架安装在传动轨道(13)内时,传动齿轮(132)带动机片架运动,传动轨道(13)一侧壁旁设有上框架(11),上框架(11)与控制箱体(12)一体成型且垂直于控制箱体(12)上表面,上框架(11)为中空结构,上框架(11)顶部下方设有滑动轨道(14),滑动轨道(14)与传动轨道(13)相互平行且在一条垂直直线上,滑动轨道(14)旁设有限位装置(15),限位装置(15)固定在上框架(11)顶部且与滑动轨道(14)平行,通过限位装置(15)限制机片架的位置。
2.如权利要求1所述的溅射镀膜上料平移架,其特征在于:底板架(17)的上表面设有人行道(171),人行道(171)表面设有凸起的纹路。
3.如权利要求1所述的溅射镀膜上料平移架,其特征在于:走位链条(172)为环形结构。
4.如权利要求1所述的溅射镀膜上料平移架,其特征在于:底板架(17)底部两侧与两个平移轨道(2)相接触的地方设有数个滚轮。
5.如权利要求1所述的溅射镀膜上料平移架,其特征在于:控制箱体(12)的一侧设有急停按钮(122)。
6.如权利要求1所述的溅射镀膜上料平移架,其特征在于:传动轨道(13)中间间隔设有数个间距相同的支撑杆(131)。
7.如权利要求1所述的溅射镀膜上料平移架,其特征在于:上框架(11)顶部为封闭结构。
8.如权利要求1所述的溅射镀膜上料平移架,其特征在于:上框架(11)的限位装置(15)为一长杆,长杆的长度与上框架(11)的长度相同且与上框架(11)上的滑动轨道(14)平行。
9.如权利要求1所述的溅射镀膜上料平移架,其特征在于:限位装置(15)上间隔设有安装块(16),安装块(16)与上框架(11)可拆卸安装。
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