CN214099850U - 一种新型高效三销钉调节装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种新型高效三销钉调节装置,包括波导管和散热罩,所述波导管左右两端困设置有法兰,所述波导管顶部设置有散热罩,所述散热罩顶部设置有旋钮,所述散热罩内部设置有销钉调节螺杆,所述螺杆外侧设置有销钉铜棒,所述销钉调节螺杆上部套装有轴承,所述波导管包括上合件和下合件,所述上合件顶部设置有安装座,所述安装座内侧设置有套筒,所述上合件底部设置有卡紧条,所述下合件顶部开设有卡紧槽;本实用新型具有提高导电性、运行稳定、结构设计稳定、使用方便、便于更换、适合推广使用的优点。

Description

一种新型高效三销钉调节装置
技术领域
本实用新型涉及金刚石生长技术领域,尤其是涉及一种新型高效三销钉调节装置。
背景技术
微波等离子体化学气相沉积技术,简称MPCVD,是在真空状态下设计微波能量激发的等离子体态的工作环境,同时激活被沉积物的表面化学键和沉积气体分子形成的离子,交换结合形成沉积,它是目前世界上生长金刚石材料的最先进技术之一,微波等离子体技术能提供大面积的沉积工作区域,并且没有电极污染;
离开微波发生器的微波能量,在波导管中传播时不可避免的产生反射,现有技术的三销钉经常不能完美的匹配金刚石沉积工艺要求,存在微波发射不稳定和高反射率的缺陷,现有三销钉调配器是在波导管上直接焊接三个带螺纹孔的基座,制作装配非常复杂,一旦基座或其散热罩发生损坏,需要更换整个调配器,存在更换难度大、成本高的问题,为此,我们提出一种新型高效三销钉调节装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种具有提高导电性、运行稳定、结构设计稳定、使用方便、便于更换、适合推广使用的一种新型高效三销钉调节装置,解决了现有技术中的问题。
本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的:一种新型高效三销钉调节装置,包括波导管和散热罩,所述波导管左右两端困设置有法兰,所述波导管顶部设置有散热罩,所述散热罩顶部设置有旋钮,所述散热罩内部设置有销钉调节螺杆,所述螺杆外侧设置有销钉铜棒,所述销钉调节螺杆上部套装有轴承;
所述波导管包括上合件和下合件,所述上合件顶部设置有安装座,所述安装座内侧设置有套筒,所述上合件底部设置有卡紧条,所述下合件顶部开设有卡紧槽。
本实用新型进一步设置为:所述上合件与所述下合件之间相互扣合形成贯通腔。
通过采用上述技术方案,销钉调节螺杆配合以销钉铜棒伸入贯通内腔中,对产生的微波峰值进行调整。
本实用新型进一步设置为:所述旋钮底端与所述销钉调节螺杆固定连接,且所述销钉调节螺杆设有外螺纹。
通过采用上述技术方案,通过外置旋钮设计可以便于对销钉调节螺杆进行调节,以达到方便使用的目的。
本实用新型进一步设置为:所述销钉调节螺杆与所述销钉铜棒相互套装装配。
通过采用上述技术方案,通过销钉调节螺杆的转动从而使得销钉铜棒的高度进行调节,进而对微波峰值进行调整。
本实用新型进一步设置为:所述卡紧条与所述卡紧槽之间相互适配扣合。
通过采用上述技术方案,提高波导管装配使用的灵活性,卡紧条与卡紧槽相互适配扣合,可以有效的保证产生的微波传递过程中的密封性。
本实用新型进一步设置为:所述安装座表面开设有装配孔,所述装配孔设有四组呈中心对称分布,且所述散热罩与上合件之间通过装配孔固定连接。
通过采用上述技术方案,提高散热罩与波导管之间装配的灵活性,便于对损坏部件进行更换,降低了部件更换难度,同时降低了成本投入。
综上所述,本实用新型的有益技术效果为:
1.本一种新型高效三销钉调节装置在使用过程中,在结构上,旋钮与销钉调节螺杆固定连接,转动旋钮,销钉调节螺杆在轴承的作用下进行转动,从而对销钉铜棒的高度进行调节,实现对微波峰值的调节,调节容易,微波功率和能量稳定,发射率易于调低,长期稳定运行;
2.在结构上,安装座通过装配孔以可拆卸方式固定在波导管上,同时散热罩部分的安装同样以可拆卸的方式进行安装,装配简单方便,且在安装座或散热罩发生损坏时,不需要更换整个三销钉调节装置,只需对损坏部件进行更换安装即可,可降低更换难度、节省成本。
附图说明
图1是本实用新型一种新型高效三销钉调节装置的整体结构示意图;
图2是本实用新型一种新型高效三销钉调节装置的内部结构示意图;
图3是本实用新型一种新型高效三销钉调节装置的A处放大结构示意图;
图4是本实用新型一种新型高效三销钉调节装置的B处放大结构示意图;
图5是本实用新型一种新型高效三销钉调节装置的剖面结构示意图;
图6是本实用新型一种新型高效三销钉调节装置的波导管结构示意图;
图7是本实用新型一种新型高效三销钉调节装置的上合件结构示意图;
图8是本实用新型一种新型高效三销钉调节装置的下合件结构示意图。
图中,1、波导管;2、贯通腔;3、法兰;4、散热罩;5、旋钮;6、销钉调节螺杆;7、销钉铜棒;8、上合件;9、下合件;10、安装座;11、轴承;12、卡紧条;13、卡紧槽;14、套筒;15、装配孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1、图2和图6,为本实用新型公开的一种新型高效三销钉调节装置,包括波导管1和散热罩4,波导管1顶部设置有散热罩4,散热罩4顶部设置有旋钮5,散热罩4内部设置有销钉调节螺杆6,螺杆外侧设置有销钉铜棒7,波导管1包括上合件8和下合件9,上合件8顶部设置有安装座10,安装座10内侧设置有套筒14,上合件8底部设置有卡紧条12,下合件9顶部开设有卡紧槽13;
在本实施例中,在使用过程中,上合件8与下合件9之间通过卡紧条12与卡紧槽13相互适配扣合,组合成为波导管1,上合件8与下合件9相互扣合形成贯通腔2,将散热罩4通过装配孔15与安装座10进行连接,提高该装置装配使用的灵活性,便于对损坏的部件进行更换,将旋钮5连接销钉调节螺杆6装配在散热罩4中,销钉铜棒7位于套筒14的内侧,在实际应用中,也可根据实际需要更改上合件8和安装座10的布置方式,在这里不做具体限定。
如图2、图4和图6所示,波导管1左右两端困设置有法兰3,散热罩4顶部设置有旋钮5,上合件8与下合件9之间相互扣合形成贯通腔2,散热罩4内部设置有销钉调节螺杆6,螺杆外侧设置有销钉铜棒7,销钉调节螺杆6上部套装有轴承11,上合件8顶部设置有安装座10;
在本实施例中,在使用过程中,通过法兰3与外部微波发生器进行连接,通过转动旋钮5,在轴承11的作用下带动销钉调节螺杆6转动,销钉铜棒7在销钉调节螺杆6外螺纹的作用下进行高度调节,将销钉铜棒7伸入在贯通腔2中,以达到对微波峰值进行调整目的,散热罩4通过装配孔15以可拆卸方式固定在波导管1上,装配方式简单方便,当安装座10或散热罩4发生损坏时,只需对相应的损坏部件进行更换安装即可,可降低更换难度、节省成本。
参照图1,上合件8与下合件9之间相互扣合形成贯通腔2,销钉调节螺杆6配合以销钉铜棒7伸入贯通内腔中,对产生的微波峰值进行调整。
参照图2,旋钮5底端与销钉调节螺杆6固定连接,且销钉调节螺杆6设有外螺纹,通过外置旋钮5设计可以便于对销钉调节螺杆6进行调节,以达到方便使用的目的。
参照图2,销钉调节螺杆6与销钉铜棒7相互套装装配,通过销钉调节螺杆6的转动从而使得销钉铜棒7的高度进行调节,进而对微波峰值进行调整。
参照图7和图8,卡紧条12与卡紧槽13之间相互适配扣合,提高波导管1装配使用的灵活性,卡紧条12与卡紧槽13相互适配扣合,可以有效的保证产生的微波传递过程中的密封性。
参照图6,安装座10表面开设有装配孔15,装配孔15设有四组呈中心对称分布,且散热罩4与上合件8之间通过装配孔15固定连接,提高散热罩4与波导管1之间装配的灵活性,便于对损坏部件进行更换,降低了部件更换难度,同时降低了成本投入。
本实施例的实施原理为:
本实用新型一种新型高效三销钉调节装置,在使用过程中,上合件8与下合件9之间通过卡紧条12与卡紧槽13相互适配扣合,组合成为波导管1,上合件8与下合件9之间相互扣合形成贯通腔2,将散热罩4通过装配孔15与安装座10进行连接,提高该装置装配使用的灵活性,便于对损坏的部件进行更换,将旋钮5连接销钉调节螺杆6装配在散热罩4中,销钉铜棒7位于套筒14的内侧,在使用过程中,通过法兰3与外部微波发生器进行连接,通过转动旋钮5,在轴承11的作用下带动销钉调节螺杆6转动,销钉铜棒7在销钉调节螺杆6外螺纹的作用下进行高度调节,将销钉铜棒7伸入在贯通腔2中,以达到对微波峰值进行调整目的,散热罩4通过装配孔15以可拆卸方式固定在波导管1上,装配方式简单方便,当安装座10或散热罩4发生损坏时,只需对相应的损坏部件进行更换安装即可,可降低更换难度、节省成本,以解决现有技术中存在的技术问题。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型;因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内,不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种新型高效三销钉调节装置,包括波导管(1)和散热罩(4),其特征在于:所述波导管(1)左右两端困设置有法兰(3),所述波导管(1)顶部设置有散热罩(4),所述散热罩(4)顶部设置有旋钮(5),所述散热罩(4)内部设置有销钉调节螺杆(6),所述螺杆外侧设置有销钉铜棒(7),所述销钉调节螺杆(6)上部套装有轴承(11);
所述波导管(1)包括上合件(8)和下合件(9),所述上合件(8)顶部设置有安装座(10),所述安装座(10)内侧设置有套筒(14),所述上合件(8)底部设置有卡紧条(12),所述下合件(9)顶部开设有卡紧槽(13)。
2.根据权利要求1所述的一种新型高效三销钉调节装置,其特征在于:所述上合件(8)与所述下合件(9)之间相互扣合形成贯通腔(2)。
3.根据权利要求1所述的一种新型高效三销钉调节装置,其特征在于:所述旋钮(5)底端与所述销钉调节螺杆(6)固定连接,且所述销钉调节螺杆(6)设有外螺纹。
4.根据权利要求1或3所述的一种新型高效三销钉调节装置,其特征在于:所述销钉调节螺杆(6)与所述销钉铜棒(7)相互套装装配。
5.根据权利要求1所述的一种新型高效三销钉调节装置,其特征在于:所述卡紧条(12)与所述卡紧槽(13)之间相互适配扣合。
6.根据权利要求1所述的一种新型高效三销钉调节装置,其特征在于:所述安装座(10)表面开设有装配孔(15),所述装配孔(15)设有四组呈中心对称分布,且所述散热罩(4)与上合件(8)之间通过装配孔(15)固定连接。
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