CN214099593U - 一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，属于太阳能电池片生产技术领域，一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，包括刻蚀槽，刻蚀槽的内侧壁水平设有多根输送辊，且多根输送辊水平平行排布，多根输送辊由带轮驱动机构驱动构成用于输送太阳能电池硅片的输送系统，输送辊上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片，输送辊上套接有两个限位轮，可以实现同时对太阳能电池硅片的背面和两侧侧壁进行刻蚀，提高刻蚀效率，有效避免刻蚀液的浪费，可以在刻蚀时对太阳能电池硅片进行有效定位，避免太阳能电池硅片偏移影响刻蚀，同时可以满足不同大小的太阳能电池硅片刻蚀使用，适应性和实用性强。

Description

一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产技术领域，更具体地说，涉及一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽。

背景技术

太阳能电池片的制造过程需要经过很多个步骤，其中对硅片的刻蚀工艺也是必不可少的一部分，硅片在刻蚀过程中，需要使用刻蚀液对硅片除了扩散面以外的所有面进行刻蚀。

刻蚀是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，其基本目标是在涂胶的硅片上正确地复制掩模图形。随着微制造工艺的发展，广义上来讲，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法。

刻蚀时需要利用刻蚀槽进行刻蚀，而现有的刻蚀槽通常利用滚轮输送机构对太阳能电池硅片进行输送，在输送过程中对太阳能电池硅片背面进行刻蚀，然而在输送过程中，太阳能电池硅片不能被很好的进行定位，容易产生晃动偏移现象，且现有的刻蚀槽只能对硅片的背面进行刻蚀，不能对其侧壁进行刻蚀，在刻蚀完成后还需继续对硅片侧壁进行刻蚀，影响了刻蚀加工效率。

实用新型内容

1．要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，可以实现同时对太阳能电池硅片的背面和两侧侧壁进行刻蚀，提高刻蚀效率，有效避免刻蚀液的浪费，可以在刻蚀时对太阳能电池硅片进行有效定位，避免太阳能电池硅片偏移影响刻蚀，同时可以满足不同大小的太阳能电池硅片刻蚀使用，适应性和实用性强。

2．技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，包括刻蚀槽，所述刻蚀槽的内底部装有刻蚀液，所述刻蚀槽的内侧壁水平设有多根输送辊，且多根输送辊水平平行排布，多根所述输送辊由带轮驱动机构驱动构成用于输送太阳能电池硅片的输送系统，所述输送辊上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片，所述输送辊上套接有两个限位轮，所述刻蚀槽的内壁上位于输送辊的下侧对应设置有限位导向杆，所述限位导向杆穿过限位轮设置，且限位导向杆为方形结构，所述刻蚀槽的两侧内壁上与限位轮相对位置均设有多组压缩弹簧，且压缩弹簧与限位轮的侧壁固定连接，所述限位轮相对的一侧侧壁上均固定有侧面刻蚀海绵层，所述刻蚀槽的两侧内壁顶部固定有水平设置的刻蚀定位杆，所述刻蚀槽的两侧内壁上位于刻蚀定位杆的下侧固定有支架，所述支架上表面固定有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的伸缩输出端与刻蚀定位杆相连接，所述刻蚀定位杆上转动连接有多个刻蚀滚轮，所述刻蚀滚轮的外壁上粘接有刻蚀海绵圈，所述刻蚀槽的底部连接有毛细吸附纤维束，且毛细吸附纤维束分别与多个刻蚀海绵圈相连接。可以实现同时对太阳能电池硅片的背面和两侧侧壁进行刻蚀，提高刻蚀效率，有效避免刻蚀液的浪费，可以在刻蚀时对太阳能电池硅片进行有效定位，避免太阳能电池硅片偏移影响刻蚀，同时可以满足不同大小的太阳能电池硅片刻蚀使用，适应性和实用性强。

进一步的，所述限位轮上开设有储液槽，所述储液槽内填充有刻蚀液，所述储液槽的顶端为封闭状态且设有补液口，所述补液口内部设有毛细吸附纤维，所述毛细吸附纤维的另一端与侧面刻蚀海绵层相连接。利用毛细吸附纤维的毛细吸附原理将储液槽内部的刻蚀液导入侧面刻蚀海绵层内，保证侧面刻蚀海绵层持续对太阳能电池硅片的侧壁进行刻蚀。

进一步的，所述限位轮上开设有两个与限位导向杆相匹配的限位孔，且限位导向杆穿过限位孔设置，所述限位孔的内壁上开设有多个球形槽，且球形槽内部嵌入有滚珠，所述滚珠与限位导向杆内壁相接触。利用限位导向杆可对限位轮进行有效限位，避免限位轮移动时产生晃动现象，保证限位轮对太阳能电池硅片的夹紧效果，另外设置的球形槽和滚珠可有效降低限位轮左右移动时收到的摩擦阻力，保证移动顺畅。

进一步的，所述球形槽内部填充有润滑介质，可对滚珠进行润滑，进一步减小阻力。

进一步的，所述输送辊的外壁上涂覆耐腐蚀涂层，有效减少刻蚀液对输送辊的腐蚀，延长使用寿命。

3．有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

（1）本方案可以实现同时对太阳能电池硅片的背面和两侧侧壁进行刻蚀，提高刻蚀效率，有效避免刻蚀液的浪费，可以在刻蚀时对太阳能电池硅片进行有效定位，避免太阳能电池硅片偏移影响刻蚀，同时可以满足不同大小的太阳能电池硅片刻蚀使用，适应性和实用性强。

（2）利用毛细吸附纤维的毛细吸附原理将储液槽内部的刻蚀液导入侧面刻蚀海绵层内，保证侧面刻蚀海绵层持续对太阳能电池硅片的侧壁进行刻蚀。

（3）利用限位导向杆可对限位轮进行有效限位，避免限位轮移动时产生晃动现象，保证限位轮对太阳能电池硅片的夹紧效果，另外设置的球形槽和滚珠可有效降低限位轮左右移动时收到的摩擦阻力，保证移动顺畅。

（4）球形槽内部填充有润滑介质，可对滚珠进行润滑，进一步减小阻力。

（5）输送辊的外壁上涂覆耐腐蚀涂层，有效减少刻蚀液对输送辊的腐蚀，延长使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的正视图；

图2为图1中A处的放大结构示意图；

图3为本实用新型中限位轮和限位导向杆连接处的结构示意图。

图中标号说明：

1刻蚀槽、2输送辊、3限位轮、4限位导向杆、5压缩弹簧、6侧面刻蚀海绵层、7刻蚀定位杆、8支架、9电动伸缩杆、10刻蚀滚轮、11刻蚀海绵圈、12毛细吸附纤维束、13储液槽、14补液口、15毛细吸附纤维、16限位孔、17球形槽、18滚珠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1：

请参阅图1，一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，包括刻蚀槽1，刻蚀槽1的内底部装有刻蚀液，刻蚀槽1的内侧壁水平设有多根输送辊2，且多根输送辊2水平平行排布，多根输送辊2由带轮驱动机构驱动构成用于输送太阳能电池硅片的输送系统，输送辊2上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片，输送辊2上套接有两个限位轮3，刻蚀槽1的内壁上位于输送辊2的下侧对应设置有限位导向杆4，限位导向杆4穿过限位轮3设置，且限位导向杆4为方形结构，刻蚀槽1的两侧内壁上与限位轮3相对位置均设有多组压缩弹簧5，且压缩弹簧5与限位轮3的侧壁固定连接，限位轮3相对的一侧侧壁上均固定有侧面刻蚀海绵层6，刻蚀槽1的两侧内壁顶部固定有水平设置的刻蚀定位杆7，刻蚀槽1的两侧内壁上位于刻蚀定位杆7的下侧固定有支架8，支架8上表面固定有电动伸缩杆9（电动伸缩杆为现有技术，在此不再赘述），且电动伸缩杆9的伸缩输出端与刻蚀定位杆7相连接，刻蚀定位杆7上转动连接有多个刻蚀滚轮10，刻蚀滚轮10的外壁上粘接有刻蚀海绵圈11，刻蚀槽1的底部连接有毛细吸附纤维束12，且毛细吸附纤维束12分别与多个刻蚀海绵圈11相连接。

请参阅图1，刻蚀槽工作时，将多个待刻蚀太阳能电池硅片放置在输送辊2上，输送辊2转动即可带动太阳能电池硅片移动，由于设置有压缩弹簧5和侧面刻蚀海绵层6，两个压缩弹簧5之间的位置可调，并利用压缩弹簧5的回弹力对太阳能电池硅片进行夹紧，能够有效避免太阳能电池硅片偏转影响刻蚀，还能满足不同大小的太阳能电池硅片刻蚀使用，提高适应性，而侧面刻蚀海绵层6具有较强的液体吸附能力，侧面刻蚀海绵层6内部吸附的刻蚀液可对太阳能电池硅片的两侧侧壁进行刻蚀，在太阳能电池硅片移动至刻蚀滚轮10下侧时，毛细吸附纤维束12将刻蚀槽1内部的刻蚀液利用毛细原理不断吸附至刻蚀海绵圈11内，利用刻蚀海绵圈11对太阳能电池硅片的背面进行滚动刻蚀，而设置的电动伸缩杆9能够调节刻蚀定位杆7的高度，满足不同厚度的太阳能电池硅片使用，进一步提高适应性，由于使用了刻蚀海绵圈11和侧面刻蚀海绵层6，能够有效避免刻蚀液的浪费。可以实现同时对太阳能电池硅片的背面和两侧侧壁进行刻蚀，提高刻蚀效率，有效避免刻蚀液的浪费，可以在刻蚀时对太阳能电池硅片进行有效定位，避免太阳能电池硅片偏移影响刻蚀，同时可以满足不同大小的太阳能电池硅片刻蚀使用，适应性和实用性强。

请参阅图1-2，限位轮3上开设有储液槽13，储液槽13内填充有刻蚀液，储液槽13的顶端为封闭状态且设有补液口14，补液口14内部设有毛细吸附纤维15，毛细吸附纤维15的另一端与侧面刻蚀海绵层6相连接。利用毛细吸附纤维15的毛细吸附原理将储液槽13内部的刻蚀液导入侧面刻蚀海绵层6内，保证侧面刻蚀海绵层6持续对太阳能电池硅片的侧壁进行刻蚀。

请参阅图1和图3，限位轮3上开设有两个与限位导向杆4相匹配的限位孔16，且限位导向杆4穿过限位孔16设置，限位孔16的内壁上开设有多个球形槽17，且球形槽17内部嵌入有滚珠18，滚珠18与限位导向杆4内壁相接触。利用限位导向杆4可对限位轮3进行有效限位，避免限位轮3移动时产生晃动现象，保证限位轮3对太阳能电池硅片的夹紧效果，另外设置的球形槽17和滚珠18可有效降低限位轮3左右移动时收到的摩擦阻力，保证移动顺畅。

请参阅图1和图3，球形槽17内部填充有润滑介质，可对滚珠18进行润滑，进一步减小阻力。

请参阅图1，输送辊2的外壁上涂覆耐腐蚀涂层，有效减少刻蚀液对输送辊2的腐蚀，延长使用寿命。

以上所述；仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此；任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内；根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变；都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (5)

1.一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，包括刻蚀槽（1），所述刻蚀槽（1）的内底部装有刻蚀液，所述刻蚀槽（1）的内侧壁水平设有多根输送辊（2），且多根输送辊（2）水平平行排布，多根所述输送辊（2）由带轮驱动机构驱动构成用于输送太阳能电池硅片的输送系统，所述输送辊（2）上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片，其特征在于：所述输送辊（2）上套接有两个限位轮（3），所述刻蚀槽（1）的内壁上位于输送辊（2）的下侧对应设置有限位导向杆（4），所述限位导向杆（4）穿过限位轮（3）设置，且限位导向杆（4）为方形结构，所述刻蚀槽（1）的两侧内壁上与限位轮（3）相对位置均设有多组压缩弹簧（5），且压缩弹簧（5）与限位轮（3）的侧壁固定连接，所述限位轮（3）相对的一侧侧壁上均固定有侧面刻蚀海绵层（6），所述刻蚀槽（1）的两侧内壁顶部固定有水平设置的刻蚀定位杆（7），所述刻蚀槽（1）的两侧内壁上位于刻蚀定位杆（7）的下侧固定有支架（8），所述支架（8）上表面固定有电动伸缩杆（9），且电动伸缩杆（9）的伸缩输出端与刻蚀定位杆（7）相连接，所述刻蚀定位杆（7）上转动连接有多个刻蚀滚轮（10），所述刻蚀滚轮（10）的外壁上粘接有刻蚀海绵圈（11），所述刻蚀槽（1）的底部连接有毛细吸附纤维束（12），且毛细吸附纤维束（12）分别与多个刻蚀海绵圈（11）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，其特征在于：所述限位轮（3）上开设有储液槽（13），所述储液槽（13）内填充有刻蚀液，所述储液槽（13）的顶端为封闭状态且设有补液口（14），所述补液口（14）内部设有毛细吸附纤维（15），所述毛细吸附纤维（15）的另一端与侧面刻蚀海绵层（6）相连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，其特征在于：所述限位轮（3）上开设有两个与限位导向杆（4）相匹配的限位孔（16），且限位导向杆（4）穿过限位孔（16）设置，所述限位孔（16）的内壁上开设有多个球形槽（17），且球形槽（17）内部嵌入有滚珠（18），所述滚珠（18）与限位导向杆（4）内壁相接触。

4.根据权利要求3所述的一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，其特征在于：所述球形槽（17）内部填充有润滑介质。

5.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，其特征在于：所述输送辊（2）的外壁上涂覆耐腐蚀涂层。

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