CN214075521U - 一种用于真空除尘设备的振打结构、过滤机构及真空除尘设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种用于真空除尘设备的振打结构、过滤机构及真空除尘设备。振打结构包括盖体和气缸。盖体呈水平设置，盖体具有穿孔，穿孔的轴线呈竖直延伸。气缸具有活塞杆和驱动部，活塞杆呈竖直设置，活塞杆的上端与驱动部连接，驱动部使活塞杆作上下伸缩运动，气缸设于穿孔中，驱动部位于盖体的上侧，活塞杆的第二端位于盖体的下侧。本申请的振打结构采用气缸实现振打，使得振打频次可调节，振打频率可高至1秒1次，从而使得真空除尘设备的除尘效果更佳，能适应不同抽气阶段真空度的要求，满足了大型号单晶生长炉在连续拉晶过程的需求，降低了设备维护的成本。另外，本申请的气缸为外置，使得气缸的拆装更为便捷，同时还便于气缸的散热。

Description

一种用于真空除尘设备的振打结构、过滤机构及真空除尘 设备

技术领域

本申请涉及环保除尘领域，尤其涉及一种用于真空除尘设备的振打结构、过滤机构及真空除尘设备。

背景技术

在光伏技术飞速发展的环境下，单晶硅的生产技术不断突破，生产效率不断提升。随着单晶生长炉的生产力量增大，对真空泵与单晶生长炉之间的真空除尘设备要求也是越来越高。

实用新型内容

本申请提供一种用于真空除尘设备的振打结构、过滤机构及真空除尘设备，能够使得真空除尘设备的除尘效果更佳。

第一方面，本申请的实施例提供了一种用于真空除尘设备的振打结构。振打结构包括盖体和气缸。盖体呈水平设置，盖体具有穿孔，穿孔的轴线呈竖直延伸。气缸具有活塞杆和驱动部，活塞杆呈竖直设置，活塞杆的上端与驱动部连接，驱动部使活塞杆作上下伸缩运动，气缸设于穿孔中，驱动部位于盖体的上侧，活塞杆的下端位于盖体的下侧。

在其中一些实施例中，气缸的数量为至少两个，各气缸环绕盖体的垂直于自身的中心线均匀布置，穿孔的数量为至少两个，穿孔与气缸一一对应。

在其中一些实施例中，气缸的数量为三个。

在其中一些实施例中，盖体具有安装孔，安装孔的数量为至少两个，各安装孔的轴线呈竖直延伸，各安装孔环绕中心线均匀布置。

第二方面，本申请的实施例提供了一种用于真空除尘设备的过滤机构。过滤机构包括主体、挂板、过滤袋、固定板和上述任意一个实施例中的振打结构。主体为筒状，主体的轴线呈竖直延伸，主体的上端具有上开口，下端具有下开口，侧壁具有出气口。挂板位于主体中，挂板呈水平设置，挂板经弹簧挂设于主体中。过滤袋位于主体中并位于挂板的下侧，过滤袋为筒状，过滤袋的轴线呈竖直延伸，过滤袋的上端封堵，下端敞开，过滤袋的上端与挂板连接。固定板封堵下开口，固定板呈水平设置，固定板具有固定孔，固定孔的轴线呈竖直延伸，固定孔处配置成使得过滤袋的下端固定。振打结构封堵上开口，振打结构的活塞杆的第二端与挂板连接。

在其中一些实施例中，过滤机构包括吊耳、压力表、换气阀、观察窗、控制柜、检修门和反冲阀门。吊耳位于主体的侧壁，吊耳用于主体的运输和拆装。压力表位于主体的侧壁，压力表用于检测主体中的压力。换气阀位于主体的侧壁，换气阀用于实现主体的内部和外部的气体交换，以防止主体的进气量过大使得过滤袋燃烧。观察窗位于主体的侧壁，观察窗用于观察主体中的情况。控制柜位于主体的侧壁，控制柜用于控制真空除尘设备的运行。检修门位于主体的侧壁，检修门用于维护过滤袋。反冲阀门位于主体的侧壁，反冲阀门用于向主体中供应气体，以吹掉过滤袋上的粉尘。

在其中一些实施例中，换气阀包括电动换气阀和手动换气阀。

第三方面，本申请的实施例提供了一种真空除尘设备。真空除尘设备包括底座和上述任意一个实施例中的过滤机构。底座具有集灰室，集灰室的上端具有安装口，集灰室的侧壁具有进气口。过滤机构位于底座的上侧，过滤机构的固定孔与安装口连通。

在其中一些实施例中，真空除尘设备包括底脚和清灰门。底脚位于底座的底壁，底脚用于支撑真空除尘设备。清灰门位于底座的侧壁，清灰门用于清除集灰室中的粉尘。

在其中一些实施例中，底脚具有脚轮。

根据本申请的实施例提供的一种用于真空除尘设备的振打结构。振打结构包括盖体和气缸。盖体呈水平设置，盖体具有穿孔，穿孔的轴线呈竖直延伸。气缸具有活塞杆和驱动部，活塞杆呈竖直设置，活塞杆的上端与驱动部连接，驱动部使活塞杆作上下伸缩运动，气缸设于穿孔中，驱动部位于盖体的上侧，活塞杆的第二端位于盖体的下侧。本申请的振打结构采用气缸实现振打，使得振打频次可调节，振打频率可高至1秒1次，从而使得真空除尘设备的除尘效果更佳，能适应不同抽气阶段真空度的要求，满足了大型号单晶生长炉在连续拉晶过程的需求，降低了设备维护的成本。另外，本申请的气缸为外置，使得气缸的拆装更为便捷，同时还便于气缸的散热。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例中的真空除尘设备在第一角度的结构示意图；

图2为本申请实施例中的真空除尘设备在第二角度的结构示意图；

图3为本申请实施例中的真空除尘设备在第三角度的结构示意图；

图4为本申请实施例中的真空除尘设备在第四角度的结构示意图；

图5为本申请实施例中的真空除尘设备的剖视结构示意图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

参阅图1-5，本申请的实施例提供了一种用于真空除尘设备1的振打结构100。真空除尘设备1安装在单晶生长炉的真空管道与真空泵之间，能有效过滤拉晶过程中产生的挥发物，实现在线清灰，降低真空油的污染，极大的延长了真空泵的连续工作时间从而延长了单晶生长炉连续运行时间。振打结构100包括盖体101和气缸102。盖体101用于承载气缸102。盖体101呈水平设置，盖体101具有穿孔，穿孔的轴线呈竖直延伸。盖体101可以为圆状。

气缸102具有活塞杆1020和驱动部1021，活塞杆1020呈竖直设置，活塞杆1020的上端与驱动部1021连接，驱动部1021使活塞杆1020作上下伸缩运动，气缸102设于穿孔中，驱动部1021位于盖体101的上侧，活塞杆1020的下端位于盖体101的下侧。需要说明的是，气缸102设于穿孔中的同时封堵穿孔。

气缸102可以经安装件104安装于穿孔中。安装筒1040和安装法兰1041安装于穿孔中，安装筒1040限定出开口向上的凹腔，安装筒1040的底部具有第一装配孔，第一装配孔用于供活塞杆穿过，第一装配孔的轴线呈竖直延伸，安装法兰1041封堵凹腔的开口，安装法兰1041具有第二装配孔和通孔，第二装配孔用于供驱动部穿过，第二装配孔的轴线与第一装配孔的轴线重合，通孔用于与盖体101经螺栓连接，通孔的数量为多个，各通孔环绕第二装配孔布置，各通孔的轴线均分别呈竖直延伸，各通孔均分别位于安装筒1040的外周。上述设置实现了气缸102的安装。

气缸102的进气气源可以为氩气，以防止进气气源为空气时气缸102漏气导致空气进入真空处理设备内部与易燃粉尘作用导致过滤袋1102燃烧。气缸102排出的氩气可以由回收管路收集，以实现循环使用不浪费。

气缸102的数量可以为至少两个，如气缸102的数量可以为三个，以加大振打幅度。各气缸102可以环绕盖体101的垂直于自身的中心线均匀布置。穿孔的数量可以为至少两个。穿孔可以与气缸102一一对应。气缸102可以依次运行，以避免同时运行对炉压造成影响，保证了单晶硅的正常生长。

盖体101可以具有安装孔103。安装孔103用于供螺栓穿过，使得振打结构100为螺纹安装。安装孔103的数量可以为至少两个。各安装孔103的轴线可以呈竖直延伸。各安装孔103可以环绕中心线均匀布置。

本申请的振打结构100采用气缸102实现振打，使得振打频次可调节，振打频率可高至1秒1次，从而使得真空除尘设备1的除尘效果更佳，能适应不同抽气阶段真空度的要求，满足了大型号单晶生长炉在连续拉晶过程的需求，降低了设备维护的成本。另外，本申请的气缸102为外置，使得气缸102的拆装更为便捷，同时还便于气缸102的散热。

本申请的实施例提供了一种用于真空除尘设备1的过滤机构10。过滤机构10包括主体110、挂板1101、过滤袋1102、固定板120和上述任意一个实施例中的振打结构100。主体110用于提供气体流道以及容置过滤结构。主体110为筒状，主体110的轴线呈竖直延伸，主体110的上端具有上开口，下端具有下开口，侧壁具有出气口1100。主体110可以为圆筒状。出气口1100的尺寸可以与真空泵的管路进口的尺寸相配合。出气口1100可以用螺栓与真空泵的管路进口相连接。

挂板1101用于安装以及振打过滤袋1102。挂板1101位于主体110中，挂板1101呈水平设置，挂板1101经弹簧1110挂设于主体110中。可选地，过滤机构10包括安装板1111，安装板1111位于主体110中并位于挂板1101的上侧，挂板1101经弹簧1110挂设于安装板1111中。安装板1111可以具有连接孔。

过滤袋1102用于过滤单晶生长炉排出的粉尘。过滤袋1102位于主体110中并位于挂板1101的下侧，过滤袋1102为筒状，过滤袋1102的轴线呈竖直延伸，过滤袋1102的上端封堵，下端敞开，过滤袋1102的上端与挂板1101连接。过滤袋1102可以为PTFE覆膜除尘布袋，以在能够保证通气量的同时，很好的过滤粉尘，过滤效率≥99.99％。过滤袋1102捕集粗粒粉尘主要靠惯性碰撞作用，捕集细粒粉尘主要靠扩散和筛分作用。

固定板120用于安装过滤袋1102以及封堵下开口。固定板120封堵下开口，固定板120呈水平设置，固定板120具有固定孔，固定孔的轴线呈竖直延伸，固定孔处配置成使得过滤袋1102的下端固定。

振打结构100用于振打过滤袋1102以及封堵上开口。振打结构100封堵上开口，振打结构100的活塞杆1020的第二端与挂板1101连接。连接孔可以与振打结构100上下对应设置，使得振打结构100可穿过连接孔。振打结构100可以经螺栓、密封圈与主体110密封连接。

过滤机构10可以包括吊耳1103。吊耳1103用于主体110的运输和拆装。吊耳1103可以位于主体110的侧壁。吊耳1103的数量可以为至少两个，如吊耳1103的数量为两个。各吊耳1103可以环绕主体110的轴线布置。吊耳1103可以为“J”型。各吊耳1103可以焊接在主体110。

过滤机构10可以包括压力表1104。压力表1104用于检测主体110中的压力。压力表1104可以位于主体110的侧壁。

过滤机构10可以包括换气阀1105。换气阀1105用于实现主体110的内部和外部的气体交换，以防止主体110的进气量过大使得过滤袋1102燃烧。换气阀1105可以位于主体110的侧壁。换气阀1105可以包括电动换气阀1112和手动换气阀1113。

过滤机构10可以包括观察窗1106。观察窗1106用于观察主体110中的情况。观察窗1106可以位于主体110的侧壁。观察窗1106可以向下倾斜设置。倾斜角度可以为45度。

过滤机构10可以包括控制柜1107。控制柜1107用于控制真空除尘设备1的运行。控制柜1107可以位于主体110的侧壁。可选地，过滤机构10包括控制柜挂板1114，控制柜挂板1114位于主体110的侧壁，控制柜1107连接于控制柜挂板1114。上述连接可以用螺栓。控制柜挂板1114可以具有电磁阀安装板1115，电磁阀安装板1115可以具有电磁阀底座1116，电磁阀底座1116具有气缸电磁阀1022。电磁阀安装板1115可以具有手动球阀1117，手动球阀1117控制主气路的开闭。控制柜1107可以与气缸电磁阀1022、换气阀1105、压力表1104、手动球阀1117等连接。

过滤机构10可以包括检修门1108。检修门1108用于维护过滤袋1102。检修门1108可以位于主体110的侧壁。检修门1108可以为圆状。检修门1108的一侧可以经检修折页连接于主体110。相对设置的另一侧可以具有检修把手，以使得检修更方便。检修门1108的四周可以用8个活节螺栓连接于主体110。

过滤机构10可以包括反冲阀门1109。反冲阀门1109用于向主体110中供应气体，以吹掉过滤袋1102上的粉尘，并保证真空除尘设备1平稳运行。反冲阀门1109可以位于主体110的侧壁。

采用本申请的过滤机构10的真空除尘设备1中，气缸电磁阀1022通电时，气缸102的供气口进气，气缸102的活塞杆1020伸展，推动挂板1101，从而使得过滤袋1102压缩，进而使得过滤袋1102上的粉尘振动并脱离过滤袋1102；气缸102的排气口排气，气缸102的活塞杆1020收缩，弹簧1110复位，从而使得过滤袋1102瞬间抻直，并使得过滤袋1102抖动，进而使得过滤袋1102上的粉尘再次振动并脱离过滤袋1102。

本申请的实施例提供了一种真空除尘设备1。真空除尘设备1包括底座20和上述任意一个实施例中的过滤机构10。

底座20具有集灰室，集灰室的上端具有安装口，集灰室的侧壁具有进气口200。集灰室用于收集粉尘。集灰高度需极大满足超长时间拉晶的需求。进气口200位于出气口1100的斜下方，以使得进气与出气更通畅。进气口200的口径需满足现场使用的需要。进气口200可以用活套法兰及螺栓与单晶生长炉的管路出口相连接。

过滤机构10位于底座20的上侧，过滤机构10的固定孔与安装口连通。过滤机构10可以经螺栓、密封圈与底座20连接。

真空除尘设备1可以包括底脚210。底脚210用于支撑真空除尘设备1。底脚210位于底座20的底壁。底脚210可以具有脚轮2100，底脚210的数量可以为四个。四个底脚210可以分别位于四个角。脚轮2100可以为尼龙材质。脚轮2100可以带闸。

真空除尘设备1可以包括清灰门220。清灰门220用于清除集灰室中的粉尘。清灰门220可以位于底座20的侧壁。清灰门220所封堵的清灰口的轴线可以与进气口200的轴线可以异面垂直。清灰门220的一侧可以经清灰折页连接于底座20。相对设置的另一侧可以具有清灰把手，以使得清灰更方便。清灰门220的四周可以用吊环螺母把紧。

本申请的真空除尘设备1由于依靠机械抖动实现滤袋清尘，无需外界气体介入，密封性能较好，能在真空负压条件下使用。本申请的真空除尘设备1能够在内部真空度2帕负压条件长时间正常工作。除此之外，本申请的所有部件均采用耐腐蚀、耐高温、强力高的材质制成，整体设备使用寿命长。

本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本申请的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于真空除尘设备的振打结构，其特征在于，包括

盖体，呈水平设置，所述盖体具有穿孔，所述穿孔的轴线呈竖直延伸；

气缸，具有活塞杆和驱动部，所述活塞杆呈竖直设置，所述活塞杆的上端与所述驱动部连接，所述驱动部使所述活塞杆作上下伸缩运动，所述气缸设于所述穿孔中，所述驱动部位于所述盖体的上侧，所述活塞杆的下端位于所述盖体的下侧。

2.如权利要求1所述的振打结构，其特征在于，

所述气缸的数量为至少两个，各所述气缸环绕所述盖体的垂直于自身的中心线均匀布置，所述穿孔的数量为至少两个，所述穿孔与所述气缸一一对应。

3.如权利要求1所述的振打结构，其特征在于，

所述气缸的数量为三个。

4.如权利要求2所述的振打结构，其特征在于，

所述盖体具有安装孔，所述安装孔的数量为至少两个，各所述安装孔的轴线呈竖直延伸，各所述安装孔环绕所述中心线均匀布置。

5.一种用于真空除尘设备的过滤机构，其特征在于，包括：

主体，为筒状，所述主体的轴线呈竖直延伸，所述主体的上端具有上开口，下端具有下开口，侧壁具有出气口；

挂板，位于所述主体中，所述挂板呈水平设置，所述挂板经弹簧挂设于所述主体中；

过滤袋，位于所述主体中并位于所述挂板的下侧，所述过滤袋为筒状，所述过滤袋的轴线呈竖直延伸，所述过滤袋的上端封堵，下端敞开，所述过滤袋的上端与所述挂板连接；

固定板，封堵所述下开口，所述固定板呈水平设置，所述固定板具有固定孔，所述固定孔的轴线呈竖直延伸，所述固定孔处配置成使得所述过滤袋的下端固定；

权利要求1-4任意一项所述的振打结构，封堵所述上开口，所述振打结构的活塞杆的第二端与所述挂板连接。

6.如权利要求5所述的过滤机构，其特征在于，包括：

吊耳，位于所述主体的侧壁，所述吊耳用于所述主体的运输和拆装；

压力表，位于所述主体的侧壁，所述压力表用于检测所述主体中的压力；

换气阀，位于所述主体的侧壁，所述换气阀用于实现所述主体的内部和外部的气体交换，以防止主体的进气量过大使得过滤袋燃烧；

观察窗，位于所述主体的侧壁，所述观察窗用于观察主体中的情况；

控制柜，位于所述主体的侧壁，所述控制柜用于控制所述真空除尘设备的运行；

检修门，位于所述主体的侧壁，所述检修门用于维护所述过滤袋；

反冲阀门，位于所述主体的侧壁，所述反冲阀门用于向所述主体中供应气体，以吹掉所述过滤袋上的粉尘。

7.如权利要求6所述的过滤机构，其特征在于，

所述换气阀包括电动换气阀和手动换气阀。

8.一种真空除尘设备，其特征在于，包括：

底座，具有集灰室，所述集灰室的上端具有安装口，所述集灰室的侧壁具有进气口；

权利要求5-7任意一项所述的过滤机构，位于所述底座的上侧，所述过滤机构的固定孔与所述安装口连通。

9.如权利要求8所述的真空除尘设备，其特征在于，包括：

底脚，位于所述底座的底壁，所述底脚用于支撑所述真空除尘设备；

清灰门，位于所述底座的侧壁，所述清灰门用于清除所述集灰室中的粉尘。

10.如权利要求9所述的真空除尘设备，其特征在于，

所述底脚具有脚轮。

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