CN214075431U - 一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，涉及表面处理设备领域，包括硅烷喷淋槽，进行工件表面喷淋的装置；过滤部件，过滤含有杂质溶液的装置；待滤液管道，连通硅烷喷淋槽底部和过滤部件的管道；滤液回流管道，连通过滤部件和硅烷喷淋槽内部硅烷管道的管道；驱动部件，驱动溶液在硅烷喷淋槽和过滤部件之间循环的液流驱动装置。对于相关技术中硅烷喷淋槽内沉积的溶液不便再利用的问题，本申请具有净化沉积的硅烷溶液、将净化后的溶液自动补入硅烷喷淋槽中的效果。

Description

一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置

技术领域

本申请涉及表面处理设备领域，尤其是涉及一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置。

背景技术

表面处理是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求。对于金属铸件，我们比较常用的表面处理方法是，机械打磨，化学处理，表面热处理，喷涂表面，表面处理就是对工件表面进行清洁、清扫、去毛刺、去油污、去氧化皮等。

相关技术中，硅烷化处理是以有机硅烷水溶液为主要成分对金属或非金属材料进行表面处理的过程。常用的处理方式是在硅烷喷淋槽中向工件上喷淋硅烷，硅烷喷淋槽内部周侧设置有硅烷管道，硅烷管道上安装多个朝向槽体内部的喷嘴，管道内充入硅烷，硅烷再经喷嘴喷洒到槽体内的工件上。硅烷喷淋过程中，硅烷附着在工件表面，对金属材料的表面进行表面处理，同时硅烷在重力作用下汇集下落，积聚硅烷喷淋槽的底部。

针对上述中的相关技术，发明人认为硅烷喷淋槽中沉积的硅烷溶液容易混杂工件表面的杂质、沉积的硅烷溶液无法直接再利用的问题。

实用新型内容

为了方便硅烷喷淋槽中沉积硅烷溶液的再利用，本申请提供一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置,具有净化硅烷喷淋槽底部积聚的溶液、将净化后的溶液自动补充入硅烷喷淋槽的效果。

本申请提供的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置采用如下的技术方案：

一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，包括：

硅烷喷淋槽，进行工件表面喷淋的装置；

过滤部件，过滤含有杂质溶液的装置；

待滤液管道，连通硅烷喷淋槽底部和过滤部件的管道；

滤液回流管道，连通过滤部件和硅烷喷淋槽内部硅烷管道的管道；

驱动部件，驱动溶液在硅烷喷淋槽和过滤部件之间循环的液流驱动装置。

通过采用上述技术方案，在驱动部件的作用下，硅烷喷淋槽底部的沉积液依次经过待滤液管道、过滤部件、滤液回流管道，并再次进入硅烷喷淋槽内的硅烷管道中，进而能够自动进行沉积硅烷溶液的循环使用，减少了硅烷消耗，硅烷喷淋与沉积液过滤同时进行，提高工作效率，减少了人工劳动。

可选的，所述过滤部件包括作为过滤容器的罐体、将罐体分隔为两个腔室的隔板和设置在隔板上连通罐体内两个腔室并发挥过滤作用的过滤件，所述待滤液管道和所述滤液回流管道分别与所述罐体内不同的腔体直接连通。

通过采用上述技术方案，含有杂质的溶液穿过过滤件后得到无杂质或杂质含量降低的滤液，以便进行再次利用；由于两个腔室互通过过滤件相连通，即待滤液管道和滤液回流管道相连通，仅需一个泵类的驱动部件即可驱动整个系统的溶液循环。

可选的，所述罐体上开设有安装所述过滤件的沉头安装孔；

所述过滤件包括插设在所述沉头安装孔中的滤袋，所述安装孔内可拆卸固定有圆环装的压盖，所述滤袋的边缘压合在所述压盖与所述沉头安装孔的沉头底之间。

通过采用上述技术方案，在隔板上安装滤袋，通过滤袋对溶液进行过滤，滤袋通过压盖压紧固定在沉头安装孔中，滤袋能够方便的进行拆卸、更换。

可选的，所述罐体上端设置有罐顶人孔，所述隔板将罐体分隔为上下两个腔室，所述待滤液管道与罐体的上侧腔室连通，所述滤液回流管道与罐体的下侧腔室连通。

通过采用上述技术方案，溶液自罐体上方腔室中充入，溶液再经过滤袋进入罐体下方腔室中。

可选的，所述过滤件还包括安装在隔板上的沉头安装孔中的防脱网孔筒，防脱网孔筒为竖直设置的筒体，筒体的筒壁上贯通开设有多个滤液通孔，防脱网孔筒的上端敞口设置且上端周侧同轴设置有凸环结构，防脱网孔筒上的凸环结构与沉头安装孔的沉头底抵接，所述滤袋插设置在防脱网孔筒中，所述滤袋的底部与防脱网孔筒的底部抵接。

通过采用上述技术方案，设置刚性的防脱网孔筒对滤袋进行托举，防脱网孔筒能够代替滤袋承受溶液流动产生的冲击力，进而有效避免柔性的滤袋受到冲击脱落；防脱网孔筒能够让滤液顺利流下。

可选的，所述压盖的环体内侧固定有把手，所述把手设置有至少两个且沿压盖的周向呈圆形阵列均匀分布。

通过采用上述技术方案，设置把手方便工人对压盖进行操作，把手至少设置两个，则方便工人进行双手操作，进一步方便压盖的拆装。

可选的，所述驱动部件为串联安装在所述待滤液管道上的隔膜泵，所述隔膜泵两端的管道上安装有管道阀。

通过采用上述技术方案，隔膜泵在驱动管道内的溶液流动的同时，能够起到较好的防泄漏作用，隔膜泵两端的管道阀能够方便将隔膜泵在管道中单独拆卸，以便对驱动部件进行维修、更换。

可选的，所述罐顶人孔上安装有检测罐体内压力表。

通过采用上述技术方案，能够检测并反馈罐体内的液压，滤袋使用时间越长、截获的杂质越多，通透性会越差，会赵成罐体上方的腔室内压力组件升高，通过液压监测能够反映滤袋的工作情况，及时更换、清洁滤袋，能够有效提高过溶液的循环效率，使沉积溶液的过滤和滤液的供应都更加迅速，提高装置效率。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

通过硅烷喷淋槽、待滤液管道、过滤部件、滤液回流管道和驱动部件组成硅烷溶液循环流动的硅烷喷淋装置，实现硅烷喷淋槽内沉积溶液的自动过滤以及滤液的自动补充入硅烷喷淋槽内，能够有效利用硅烷溶液，减少浪费；

通过设置滤袋和防脱网孔筒作为过滤件，滤袋发挥过滤作用，有效截留溶液中的杂质，防脱网孔筒对履带起到支撑作用，分担滤袋承受的液流冲击力，进而有效预防履带脱落；

通过在罐顶人孔上设置压力表，通过罐体上方腔室内的压力变化间接反映滤袋的工作情况，便于工人及时更换滤袋，以提高整个装置的工作效率。

附图说明

图1是本申请实施例的整体结构示意图；

图2是本申请实施例中过滤罐的结构示意图一；

图3是本申请实施例中过滤罐的结构图示意二；

图4是本申请实施例中过滤部件的内部结构示意图；

图5是图4中A区域的放大示意图。

附图标记：1、硅烷喷淋槽；11、注液口；2、过滤部件；21、罐体；22、隔板；221、沉头安装孔；222、倒L卡块；23、罐顶人孔；24、压力表；25、过滤件；251、滤袋；252、防脱网孔筒；26、压盖；261、把手；27、压杆；3、待滤液管道；4、滤液回流管道；5、隔膜泵；6、管道阀。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，参照图1，包括硅烷喷淋槽1、过滤部件2、待滤液管道3和滤液回流管道4，待滤液管道3和滤液回流管道4连通硅烷喷淋槽1和过滤部件2形成硅烷过滤回路，硅烷自硅烷喷淋槽1的槽底通过待滤液管道3进入过滤部件2中，经过滤部件2得到的滤液通过滤液回流管道4刘辉硅烷过滤槽内的喷淋管道中。本装置还包括安装在待滤液管道3上驱动溶液在硅烷过滤中循环流动的驱动部件，本实施中，驱动部件选用隔膜泵5，隔膜泵5串联安装在待滤液管道3上，隔膜泵5两端的管道上串联安装有管道阀6，允许封闭隔膜泵5两端管道以便于隔膜泵5的拆卸，便于隔膜泵5的维修、更换。

硅烷喷淋槽1底部的一侧侧壁上设置有连通槽体内部的排液口，排液口与待滤液管道3连接；硅烷喷淋槽1的侧壁上设置有连通喷淋管道的注液口11和回流口，注液口11用于直接向喷淋管道中注入硅烷溶液，回流口连接滤液回流管道4。

参考图1，过滤部件2包括圆柱状的罐体21，罐体21的顶部设置有罐顶人孔23；参考图2，罐体21内水平设置有隔板22将罐体21分隔成上下两个腔室，隔板22上安装有连通上下两个腔室并具有过滤功能的过滤件25；待滤液管道3穿过罐体21的侧壁焊接固定在隔板22上并与罐体21的上方腔室连通；滤液回流管大焊接固定在罐体21的底部并与罐体21的下方腔室连通；罐顶人孔23的外侧安装有压力表24，压力表24检测罐体21上方腔室内的液压；罐体21的下端周侧焊接固定多个立柱状的支脚，用于支撑固定罐体21。

参考图3，罐体21内的隔板22上安装有两个过滤件25，以提高通待滤液的过滤效率。

参考图4和图5，隔板22上开设有两个沉头安装孔221来安装过滤件25，并通过压盖26、压杆27和隔板22上的倒L形卡块将过滤袋251固定在沉头安装孔221中。

参考图5，过滤件25包括筒状的滤袋251和防脱网孔筒252，防脱网孔筒252的筒壁上开设多个供滤液流通的滤液通孔，防脱网孔筒252一端敞口设置且敞口端的周侧一体设置有圆环状的凸环结构，防脱网孔筒252筒身与沉头安装孔221的过孔插接配合。凸环结构与沉头安装孔221的沉头底抵接以限制防脱网孔筒252的高度位置，筒身与孔的插接关系提高了防脱网孔筒252的稳定性。滤袋251插设在防脱网孔筒252中且滤袋251的底部与防脱网孔筒252的底部抵接。

参考图5，滤袋251的敞口边向周侧延展，滤袋251远离防脱网孔筒252的一侧设置上述压盖26，压盖26整体倒T形的环体，压盖26的下端与环体与沉头安装孔221的沉头孔间隙配合，压盖26配合沉头安装孔221的沉头底夹持固定滤袋251和防脱网孔管；压盖26的内环上焊接规定有把手261，把手261设置有两个且沿压盖26的周向呈圆心阵列均匀分布，以方便拆装压盖26；倒L卡块222对应每个沉头安装孔221设置多个，多个倒L卡块222沿沉头安装孔221的周向呈圆形阵列均匀分布，压杆27设置两个与沉头安装孔221一一对应；本实施例中压杆27由三根圆柱杆体焊接而成，多个杆体的一端两两相互抵接并焊接固定，倒L卡块222对应压杆27的杆体设置有三个。将压杆27同轴放置在压盖26上，通过转动压杆27将压杆27上的杆体卡入倒L卡块222中，进而对压盖26进行固定。

本申请实施例公开的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置的实施原理为：设置硅烷喷淋槽1和过滤部件2两个装置，并通过待滤液管道3和滤液回流管道4在两个装置之间形成液流回路，在隔膜泵5的驱动下，使硅烷喷淋槽1槽底的沉积溶液依次经过待滤液管道3、过滤部件2和滤液回流管道4进入到硅烷喷淋槽1中的喷淋管道中，实现自动过滤并补充入硅烷过滤槽中的功能，提高了整个装置的工作效率，通过滤液减少注液口11处的硅烷补充需求量，减少了硅烷的浪费。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：包括：

硅烷喷淋槽（1），进行工件表面喷淋的装置；

过滤部件（2），过滤含有杂质溶液的装置；

待滤液管道（3），连通硅烷喷淋槽（1）底部和过滤部件（2）的管道；

滤液回流管道（4），连通过滤部件（2）和硅烷喷淋槽（1）内部硅烷管道的管道；

驱动部件，驱动溶液在硅烷喷淋槽（1）和过滤部件（2）之间循环的液流驱动装置。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述过滤部件（2）包括作为过滤容器的罐体（21）、将罐体（21）分隔为两个腔室的隔板（22）和设置在隔板（22）上连通罐体（21）内两个腔室并发挥过滤作用的过滤件（25），所述待滤液管道（3）和所述滤液回流管道（4）分别与所述罐体（21）内不同的腔体直接连通。

3.根据权利要求2所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述罐体（21）上开设有安装所述过滤件（25）的沉头安装孔（221）；

所述过滤件（25）包括插设在所述沉头安装孔（221）中的滤袋（251），所述安装孔内可拆卸固定有圆环装的压盖（26），所述滤袋（251）的边缘压合在所述压盖（26）与所述沉头安装孔（221）的沉头底之间。

4.根据权利要求3所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述罐体（21）上端设置有罐顶人孔（23），所述隔板（22）将罐体（21）分隔为上下两个腔室，所述待滤液管道（3）与罐体（21）的上侧腔室连通，所述滤液回流管道（4）与罐体（21）的下侧腔室连通。

5.根据权利要求4所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述过滤件（25）还包括安装在隔板（22）板上的沉头安装孔（221）中的防脱网孔筒（252），防脱网孔筒（252）为竖直设置的筒体，筒体的筒壁上贯通开设有多个滤液通孔，防脱网孔筒（252）的上端敞口设置且上端周侧同轴设置有凸环结构，防脱网孔筒（252）上的凸环结构与沉头安装孔（221）的沉头底抵接，所述滤袋（251）插设置在防脱网孔筒（252）中，所述滤袋（251）的底部与防脱网孔筒（252）的底部抵接。

6.根据权利要求5所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述压盖（26）的环体内侧固定有把手（261），所述把手（261）设置有至少两个且沿压盖（26）的周向呈圆形阵列均匀分布。

7.根据权利要求4-6任一项所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述驱动部件为串联安装在所述待滤液管道（3）上的隔膜泵（5），所述隔膜泵（5）两端的管道上安装有管道阀（6）。

8.根据权利要求4-6任一项所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述罐顶人孔（23）上安装有检测罐体（21）内压力表（24）。

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