CN214063890U - 一种用于防止真空管道回压的自动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于防止真空管道回压的自动装置，包括通气通道；所述通气通道中部设置有断气结构；所述断气结构包括挡板和导向模块；所述挡板在通气通道进气口与导向模块之间来回运动，且所述挡板填堵于通气通道的进气口。本实用新型提供一种用于防止真空管道回压的自动装置能有效的防止真空管道气体逆流，减少晶圆不良率的发生的效果。

Description

一种用于防止真空管道回压的自动装置

技术领域

本实用新型涉及半导体及面板领域。

背景技术

在没有寿命管控的PUMP上，常因PUMP不预期停机，导致气体回灌，腔体污染，从而导致不良品发生；同时还要对已污染腔体进行清洁保养，严重影响了生产计划，降低了产能；因此能有效的防止气体回流，避免腔体受污染将能大大的提高生产效率，提高生产产能，保证产品合格率。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种用于防止真空管道回压的自动装置能有效的防止真空管道气体逆流，减少晶圆不良率的发生的效果。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于防止真空管道回压的自动装置，包括通气通道；所述通气通道中部设置有断气结构；所述断气结构包括挡板和导向模块；所述挡板在通气通道进气口与导向模块之间来回运动，且所述挡板填堵于通气通道的进气口，避免回灌的气体污染腔体。

进一步的，所述通气通道包括法兰板块结构和主体环板；所述主体环板两侧对称设置多个法兰板块结构，且通过螺栓固定设置；所述法兰板块结构中部设置有输气管道；多个所述输气管道与主体环板内部形成通气通道，便于气体流通。

进一步的，所述输气管道朝向通气通道中部一端凸进，且所述凸进侧壁倒圆角，用于与导柱相互配合形成导向滑道。

进一步的，所述导向模块包括容置挡环结构；所述容置挡环结构侧壁与主体环板内壁之间间距设置；所述容置挡环结构中部开设有通孔；所述容置挡环结构朝向于通气通道出气口一侧固设有多个连接柱；所述容置挡环结构通过连接柱固定于法兰板块结构内壁，且多个所述连接柱环绕于凸进设置；用于稳固容置挡环结构，并且不影响气体流通。

进一步的，所述通孔朝向于通气通道进气口一侧开设有容置槽；所述挡板对应嵌合于容置槽内，且所述挡板封堵住通孔，防止气体逆流。

进一步的，所述容置挡环结构朝向通气通道进气口一侧固设有若干导柱；若干所述导柱一端固定于容置槽槽口边缘，所述导柱另一端向外延伸；所述导柱延伸端对应间距于倒圆角；若干所述导柱、容置槽和凸进之间形成导向滑道，且所述挡板在导向滑道内来回滑动，当气体回流时，用于堵住通气通道进气口，避免气体回灌腔体内，造成污染。

有益效果：本实用新型能防止气体回灌到腔体内，避免造成污染；包括但不限于以下有益效果：

1)通气通道中部设置断气结构，不影响气体的流通；同时当气体回流时，挡板能在回流气压的作用下运动堵住通气通道进气口，避免了回流的气体污染与通气通道进气口连通的腔体；

2)凸进、导柱和容置槽之间形成导向滑道，气体正常流通时，挡板被挤压在容置槽内，当气体回流时，气压挤压挡板运行到凸进，堵住通气通道进气口，防止气体回流。

附图说明

附图1为通气通道结构图；

附图2为断气结构图；

附图3为容置挡环结构图；

附图4为导向滑道结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。

如附图1-4：一种用于防止真空管道回压的自动装置，包括通气通道1；所述通气通道1中部设置有断气结构2；所述断气结构2包括挡板21和导向模块22；所述挡板 21在通气通道1进气口与导向模块22之间来回运动，且所述挡板21填堵于通气通道1 的进气口。气体从通气通道1进气口进入，然后从导向模块周边经过，之后从通气通道 1出气口流出；当气体回流时，回流的气体冲击挡板21运动堵住通气通道1进气口，避免回流的气体污染到腔体，影响产品质量。

所述通气通道1包括法兰板块结构11和主体环板12；所述主体环板12两侧对称设置多个法兰板块结构11，且通过螺栓固定设置；所述法兰板块结构11中部设置有输气管道111；多个所述输气管道111与主体环板12内部形成通气通道1；而法兰板块结构 11的输气通道111可以直接连接安装，操作简便快捷。

所述输气管道111朝向通气通道1中部一端凸进112，便于气体的流通入主体环板12的内部空间，便于气体流通；且所述凸进112侧壁倒圆角113，与导柱224的延伸端相配合形成导向滑道225，便于挡板21滑动堵住输气管道111。

所述导向模块22包括容置挡环结构221；所述容置挡环结构221侧壁与主体环板12内壁之间间距设置，这样行通气通道1进气口进入的空气就从容置挡环结构221侧壁与主体环板12内壁之间通过，然后从通气通道1出气口流出；所述容置挡环结构221 中部开设有通孔222；所述容置挡环结构221朝向于通气通道1出气口一侧固设有多个连接柱223；所述容置挡环结构221通过连接柱223固定于法兰板块结构11内壁，且多个所述连接柱223环绕于凸进112设置；这样容置挡环结构221就被稳固在通气通道1 内部，并且不影响气体的流通。

所述通孔222朝向于通气通道1进气口一侧开设有容置槽226；所述挡板21对应嵌合于容置槽226内，且所述挡板21封堵住通孔222；然后从通气通道1进入的气体只能从容置挡环结构221侧壁经过，之后从通气通道出气口流出，这样的话，当气体回流时，挡板21能够运动到凸进112然后堵住通气通道1进气口，避免气体回灌到腔体内。

所述容置挡环结构221朝向通气通道1进气口一侧固设有若干导柱224；若干所述导柱224一端固定于容置槽226槽口边缘，所述导柱224另一端向外延伸；所述导柱224 延伸端对应间距于倒圆角113；若干所述导柱224、容置槽226和凸进112之间形成导向滑道225，且所述挡板21在导向滑道225内来回滑动。当PUMP停机时，通气通道1 出气口处的气压大于通气通道1进气口处的气压；这样气体将从通气通道1出气口回流到通气通道1进气口，在回流过程中，由于气压差，气体冲击挡板21，将挡板21冲击移出容置槽226，然后沿导向滑道225运动至凸进112，之后挡板21堵住输气管道；这样就避免了回流的气体流入与通气通道1进气口连通的腔体内，避免造成腔体的污染，减少了清洁保养的时间，防止产能受到影响，避免了晶圆不良率的发生；装置装配简单，便于维修，并且装置表面进行耐腐蚀性处理，防止工艺中的附着物腐蚀产品表面。

上述描述是本实用新型的优选实施例，对于本领域普通技术人员而言，不脱离本实用新型的原理还可以做出若干改进和修饰，这些改进和修饰还视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种用于防止真空管道回压的自动装置，其特征在于：包括通气通道(1)；所述通气通道(1)中部设置有断气结构(2)；所述断气结构(2)包括挡板(21)和导向模块(22)；所述挡板(21)在通气通道(1)进气口与导向模块(22)之间来回运动，且所述挡板(21)填堵于通气通道(1)的进气口。

2.根据权利要求1所述的一种用于防止真空管道回压的自动装置，其特征在于：所述通气通道(1)包括法兰板块结构(11)和主体环板(12)；所述主体环板(12)两侧对称设置多个法兰板块结构(11)，且通过螺栓固定设置；所述法兰板块结构(11)中部设置有输气管道(111)；多个所述输气管道(111)与主体环板(12)内部形成通气通道(1)。

3.根据权利要求2所述的一种用于防止真空管道回压的自动装置，其特征在于：所述输气管道(111)朝向通气通道(1)中部一端凸进(112)，且所述凸进(112)侧壁倒圆角(113)。

4.根据权利要求3所述的一种用于防止真空管道回压的自动装置，其特征在于：所述导向模块(22)包括容置挡环结构(221)；所述容置挡环结构(221)侧壁与主体环板(12)内壁之间间距设置；所述容置挡环结构(221)中部开设有通孔(222)；所述容置挡环结构(221)朝向于通气通道(1)出气口一侧固设有多个连接柱(223)；所述容置挡环结构(221)通过连接柱(223)固定于法兰板块结构(11)内壁，且多个所述连接柱(223)环绕于凸进(112)设置。

5.根据权利要求4所述的一种用于防止真空管道回压的自动装置，其特征在于：所述通孔(222)朝向于通气通道(1)进气口一侧开设有容置槽(226)；所述挡板(21)对应嵌合于容置槽(226)内，且所述挡板(21)封堵住通孔(222)。

6.根据权利要求5所述的一种用于防止真空管道回压的自动装置，其特征在于：所述容置挡环结构(221)朝向通气通道(1)进气口一侧固设有若干导柱(224)；若干所述导柱(224)一端固定于容置槽(226)槽口边缘，所述导柱(224)另一端向外延伸；所述导柱(224)延伸端对应间距于倒圆角(113)；若干所述导柱(224)、容置槽(226)和凸进(112)之间形成导向滑道(225)，且所述挡板(21)在导向滑道(225)内来回滑动。

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