CN214039205U - 一种单晶硅片甩干烘干装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶硅片甩干烘干装置，包括箱体，箱体内通过支撑轴转动安装有转动轴，转动轴为中空结构，转动轴上固定安装有若干硅片放置架，硅片放置架的上下部均设有喷气板，喷气板的一端与转动轴连通，转动轴的顶端穿过箱体顶部，且顶端口转动安装有进气管，转动轴的顶端上套装有从动齿轮，且一侧设置有驱动电机，驱动电机的输出轴上安装有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮啮合。本实用新型利用硅片放置架装夹单晶硅片并且通过旋转产生离心力分离水分的同时通过热风进行烘干，效率高，值得大力推广。

Description

一种单晶硅片甩干烘干装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，具体为一种单晶硅片甩干烘干装置。

背景技术

单晶硅太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池，这种太阳电池以高纯的单晶硅棒为原料，纯度要求99.999％。单晶硅棒切成片后为单晶硅片，单晶硅片在清洗后需要对其进行烘干，现有技术中均是采用热风吹拂烘干，烘干效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片甩干烘干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片甩干烘干装置，包括箱体，所述箱体内通过支撑轴转动安装有转动轴，所述转动轴为中空结构，所述转动轴上固定安装有若干硅片放置架，所述硅片放置架的上下部均设有喷气板，所述喷气板的一端与所述转动轴连通，所述转动轴的顶端穿过所述箱体顶部，且顶端口转动安装有进气管，所述转动轴的顶端上套装有从动齿轮，且一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上安装有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合。

所述箱体一侧设有硅片放取口，所述硅片放取口上安装有箱门。

所述喷气板上间隔设有喷气口。

所述箱体下端一侧安装有抽风机。

所述进气管内设有气体过滤器。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1.本实用新型利用硅片放置架装夹单晶硅片并且通过旋转产生离心力分离水分的同时通过热风进行烘干，效率高，值得大力推广。

2.本实用新型硅片放置架的上下部均设有喷气板，喷气板的一端与所述转动轴连通，喷气板的长度及面积与硅片放置架上下部的长度及面积相匹配，使得喷气板可将热气体喷至硅片放置架的每部分，进而使得硅片放置架上的单晶硅片能够受到均匀的热气体，提高喷气的均匀性，同时可提高喷气的力度，提高烘干的速率，进而提高烘干的效率。

3.本实用新型进气管内设有气体过滤器，可过滤进入转动轴内的热气体，避免热气体中的杂质粘附在单晶硅片的表面，进而保持单晶硅片的表面的清洁。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型喷气板的结构示意图；

图中：1箱体；2转动轴；3硅片放置架；4喷气板；5进气管；6从动齿轮；7驱动电机；8主动齿轮；9硅片放取口；10箱门；11抽风机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供技术方案：一种单晶硅片甩干烘干装置，包括箱体1，箱体1内通过支撑轴转动安装有转动轴2，具体的为支撑轴的下端插设在箱体1内底部的轴承座内，而支撑轴的顶端与转动轴2的底端固接，转动轴2为中空结构，转动轴2上固定安装有若干硅片放置架3，硅片放置架3的上下部均设有喷气板4，喷气板4的一端与转动轴2连通，转动轴2的顶端穿过箱体1顶部，且顶端口转动安装有进气管5，进气管5是通过轴承套与转动轴2的顶端连接的，可保证转动轴2转动时，进气管5不会跟着转动，转动轴2的顶端上套装有从动齿轮6，且一侧设置有驱动电机7，驱动电机7的输出轴上安装有主动齿轮8，主动齿轮8与从动齿轮6啮合。

箱体1一侧设有硅片放取口9，硅片放取口9上安装有箱门10，可放取单晶硅片。

喷气板4上间隔设有喷气口，可提高热气体喷出的均匀性，进而提高烘干的效率。

箱体1下端一侧安装有抽风机11，可将箱体1内的热气体抽出，保持箱体1内热气体的流动，进而使得新鲜的热气体源源不断的进入箱体1内，提高烘干的效率，同时可防止箱体1内的气压过高。

进气管5内设有气体过滤器，可将进入的热气体中的杂质过滤掉，防止污染单晶体硅片。

具体的，先打开箱门10将单晶体硅片放置在硅片放置架3内，而后关上箱门10，箱门10上设有密封圈，可保持箱体1的密封性，避免漏气，启动驱动电机7通过主动齿轮8带动从动齿轮6转动，进而带动转动轴2转动，热气体从进气管5进入转动轴2内，而后进入喷气板4内，通过喷气口喷出热气体，提高热气体喷出的均匀性，进而提高烘干的效率，同时，转动轴2带动硅片放置架3转动，对箱体1内的热气体混搅，使得热气体充满箱体1内的每部分，提高烘干的效率。

需要说明的是，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种单晶硅片甩干烘干装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内通过支撑轴转动安装有转动轴(2)，所述转动轴(2)为中空结构，所述转动轴(2)上固定安装有若干硅片放置架(3)，所述硅片放置架(3)的上下部均设有喷气板(4)，所述喷气板(4)的一端与所述转动轴(2)连通，所述转动轴(2)的顶端穿过所述箱体(1)顶部，且顶端口转动安装有进气管(5)，所述转动轴(2)的顶端上套装有从动齿轮(6)，且一侧设置有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出轴上安装有主动齿轮(8)，所述主动齿轮(8)与从动齿轮(6)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片甩干烘干装置，其特征在于：所述箱体(1)一侧设有硅片放取口(9)，所述硅片放取口(9)上安装有箱门(10)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片甩干烘干装置，其特征在于：所述喷气板(4)上间隔设有喷气口。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片甩干烘干装置，其特征在于：所述箱体(1)下端一侧安装有抽风机(11)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片甩干烘干装置，其特征在于：所述进气管(5)内设有气体过滤器。

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