CN214012905U - 一种腐蚀清洗用装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及石英晶片生产技术领域，用于加工石英晶片，其具体地公开了一种腐蚀清洗用装置，此装置包括两个彼此相对设置的固定板以及位于固定板之间的晶片支撑单元，所述晶片支撑单元有多个且其从上至下依次排列；位于最上方的支撑单元的上方设置有压紧轴，所述压紧轴的两端分别各与一个固定板连接，所述限位轴位于条形通槽A的一侧并与条形通槽A的槽口相对，限位轴的两端分别各与一个固定板可拆卸连接；本装置通过晶片支撑单元共同形成隔断空间，将每个晶片单独分开，并对其余部分进行了镂空设计，使得液体流动无阻碍，晶片与液体充分接触，且可用于腐蚀工序和清洗工序，因而具有较高的实用价值。

Description

一种腐蚀清洗用装置

技术领域

本实用新型涉及石英晶片生产技术领域，用于加工石英晶片，具体为一种腐蚀清洗用装置。

背景技术

石英晶片广泛应用于电子信息产业各领域，如彩电、空调、电脑、DVD、无电线通讯等，尤其在高性能电子设备及数字化设备中应用日益扩大；在石英晶片的加工过程中，石英晶片在经过腐蚀液腐蚀后，需要在清洗液中清洗，清洗好的晶片通过镀膜形成电极电路，若晶片清洗效果不佳将会影响到镀膜效果；现有技术中清洗装置包括网篮，将一定数量的晶片放置在一个网篮中，再放入清洗槽进行清洗，其缺陷在于：

1.晶片本身较薄，清洗时晶片之间很容易吸附在一起，导致晶片吸附部分难以清洗干净，晶片干燥后能明显看到表面研磨砂的残留，影响后续工序。

2.现有技术晶片进行腐蚀后，取出来还需要单独分开，再一片一片装入新的网篮中，随后浸入清洗液清洗。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种腐蚀清洗用装置，以解决上述背景技术存在的问题，提高生产效率。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种腐蚀清洗用装置，包括两个彼此相对设置的固定板以及位于固定板之间的晶片支撑单元，所述晶片支撑单元有多个且其从上至下依次排列；

所述晶片支撑单元包括分隔件、支撑轴和限位轴，所述分隔件、支撑轴和限位轴的两端均分别各与一个固定板连接；

在分隔件的同时垂直于固定板板面和水平面的一对相对侧壁中至少有一个侧壁上开有多个条形通槽A，所述支撑轴位于分隔件的下方，并与所述条形通槽A的底端相对；

位于最上方的支撑单元的上方设置有压紧轴，所述压紧轴的两端分别各与一个固定板连接，所述限位轴位于条形通槽A的一侧并与条形通槽A的槽口相对，限位轴的两端分别各与一个固定板可拆卸连接；

进一步地，所述固定板的一侧均连接有条形件，所述限位轴的两端分别各与一个条形件可拆卸连接；

进一步地，仅在所述分隔件的一个侧壁上开有多个条形通槽A时，所述分隔件远离条形通槽A的一侧设置有加固轴，所述加固轴与限位轴沿固定板竖向轴线对称，加固轴两端分别各与一个固定板固定连接；

进一步地，所述分隔件同时垂直于固定板板面和水平面的侧壁均开有条形通槽A；

进一步地，所述分隔件上开有多个透水孔；

进一步地，所述条形通槽A槽壁上设置有多个弧形凸起,在同一个条形通槽A中，其两侧的弧形凸起一一对应；

进一步地，所述分隔件两端设置有条形凸起，所述固定板上与条形凸起对应位置设置有与条形凸起配合的通孔；

进一步地，所述分隔件两端设置有条形凸起，所述固定板上对应设置有与条形凸起过盈配合的通孔；

进一步地，所述压紧轴上方还设置有提手，所述提手两端分别各与一个固定板的顶部固定连接。

与现有技术相比，本实用新型有以下有益效果：

1.本腐蚀清洗用装置通过晶片隔板将晶片保持固定距离均匀分布，保证清洗时单个晶片能得到有效清洗；

2.本腐蚀清洗用装置整体镂空，保证晶片与腐蚀液或清洗液均匀接触，取出后液体残留少。

3.本装置可同时用于晶片的腐蚀工序和清洗工序，节省中间的人力成本和时间成本。

附图说明

图1为装置使用示意图；

图2为装置结构拆解图(隐去固定板与把手)；

图3为装置局部示意图；

图4为分隔件俯视图；

图5为侧盖A结构示意图；

图6为实施例4的装置结构示意图；

图7为实施例4的分隔件俯视图；

图8为实施例4的装置局部示意图；

1、分隔件；2、固定板；3、支撑轴；4、加固轴；5、条形件；6、晶片；7、防护轴；8、条形凸起；9、条形通槽A；10、弧形凸起；11、通孔；12、提手；13、透水孔；14、压紧轴。

具体实施方式

以下结合实施例对本实用新型的特征和性能作进一步的详细描述。

实施例1

请参照图1-图4，本实施例提供一种腐蚀清洗用装置，包括两个彼此相对设置的固定板2以及位于固定板2之间的晶片支撑单元，所述晶片支撑单元有多个且其从上至下依次排列；

所述晶片支撑单元包括分隔件1、支撑轴3和限位轴7，所述分隔件1、支撑轴3和限位轴7的两端均分别各与一个固定板2连接；

在分隔件1的同时垂直于固定板2板面和水平面的一对相对侧壁中至少有一个侧壁上开有多个条形通槽A9，所述支撑轴3位于分隔件1的下方，并与所述条形通槽A9的底端相对；

位于最上方的支撑单元的上方设置有压紧轴14，所述压紧轴14的两端分别各与一个固定板2连接，所述限位轴7位于条形通槽A9的一侧并与条形通槽A9的槽口相对，限位轴7的两端分别各与一个固定板2可拆卸连接。

本实施例工作原理：

本装置通过晶片支撑单元将晶片与晶片之间互相隔开，在最上方的一列晶片6，分隔件1、限位轴7、支撑轴3和压紧轴14共同组成一个镂空空间，除最上方的晶片6，其余各列晶片经由分隔件1、限位轴7、支撑轴3共同组成一个镂空空间，这样的空间在避免对晶片6施加较大的紧固力的同时使得液体能够与晶片6充分接触，整个装置从清洗液或是腐蚀液中取出时，液体不会残留，晶片6可在其中随液体做小幅度运动。

使用本装置时，将晶片依次装入各个小的镂空空间，随后将可拆卸连接的限位轴7装入固定板2之间，随后将整个装置一并放入腐蚀液中进行腐蚀工序，随后连同整个装置一并进行清洗工序。

通过本装置将各个晶片分开，使得晶片的腐蚀和清洗充分，相比于现有技术，不会因为晶片之间发生粘连使得表面研磨砂残留。

实施例2

请参照图5，在实施例1的基础上，本实施例提供一种限位轴7与固定板2的优选连接方案，具体为所述固定板2的一侧均连接有条形件5，所述限位轴7的两端分别各与一个条形件5可拆卸连接。

本实施例工作原理：

将多根限位轴7的两端连接条形件5，组成一个类围栏件，由于放置在本装置上的晶片都是整体取出的，故在取出时，只需把该类围栏件取下即可，若一根根单独取下限位轴7较为麻烦。

实施例3

请参照图1-图4，在实施例1的基础上，本实施例提供一种晶片固定的优选方案，具体为仅在所述分隔件1的一个侧壁上开有多个条形通槽A9时，所述分隔件1远离条形通槽A9的一侧设置有加固轴4，所述加固轴4与限位轴7沿固定板2竖向轴线对称，加固轴4两端分别各与一个固定板2固定连接。

本实施例工作原理：

实施例3适用于大型号的晶片的情况，此时单个大型晶片在夹持时使用了两个分隔件1，而限位轴7为整个装置的单侧提供了支撑，而分隔件1远离条形通槽A9的一侧并没有相应的轴可以加固，如图2，因而在同限位轴7设置位置的对应位置，即两个分隔件1的中间位置设置加固轴4，仅作加固整个装置使用，以达到平衡。

实施例4

请参照图6-图8，在实施例1的基础上，本实施例提供一种用于小型号晶片的夹持方案，具体为所述分隔件1同时垂直于固定板2板面和水平面的侧壁均开有条形通槽A9。

本实施例工作原理：

小型号的晶片尺寸比较小，因而采用新的分隔件1设计方案，即将条形通槽A9对称设置在另外一侧，因而两侧均可用于装载晶片，如图7；与此同时，由于晶片的装填取用需要，如实施例所示，限位轴7始终与条形通槽A9相对设置，故同样复制到了另外一侧，用于限制晶片位置。

小型晶片在夹持时只需要一个分隔件1，分隔件1的条形通槽A9夹持在晶片中部，上下两侧由支撑轴3进行限位，侧面由于分隔件1平行的限位轴7进行限位，本实施例的限位轴7同时也起到实施例3的加固轴4的作用。

实施例5

请参照图7，在实施例1的基础上，本实施例提供一种进一步提高分隔件1透水能力的优选方案，具体为所述分隔件1上开有多个透水孔13。

本实施例工作原理：

在分隔件1上增加透水孔13，使得液体能迅速流出，避免液体残留。

实施例6

请参照图4与图7，在实施例1和实施例4的基础上，本实施例提供一种分隔件1夹持晶片的优选方案，具体为所述条形通槽A9槽壁上设置有多个弧形凸起10,在同一个条形通槽A9中，其两侧的弧形凸起10一一对应。

本实施例工作原理：

在不大幅度减少条形通槽A9的体积的情况下，设置弧形凸起10将晶片6的可活动位置进一步缩小，但同时不会过多削减条形通槽A9的透水性。

实施例7

请参照图1，在实施例1的基础上，本实施例提供一种分隔件1与固定板连接的优选方案，具体为所述分隔件1两端设置有条形凸起8，所述固定板2上与条形凸起8对应位置设置有与条形凸起8配合的通孔11。

本实施例工作原理：

使用条形凸起8与固定板2配合，方便拆卸安装，同时分隔件1也不易发生旋转。

实施例8

请参照图1，在实施例1的基础上，本实施例提供一种便于移动整个装置的方案，具体为所述分隔件1上方还设置有提手12，所述提手12两端分别各与一个固定板2的顶部固定连接。

本实施例工作原理：

在装置顶部设置提手12，便于移动装置。

Claims (8)

1.一种腐蚀清洗用装置，其特征在于：包括两个彼此相对设置的固定板(2)以及位于固定板(2)之间的晶片支撑单元，所述晶片支撑单元有多个且其从上至下依次排列；

所述晶片支撑单元包括分隔件(1)、支撑轴(3)和限位轴(7)，所述分隔件(1)、支撑轴(3)和限位轴(7)的两端均分别各与一个固定板(2)连接；

在分隔件(1)的同时垂直于固定板(2)板面和水平面的一对相对侧壁中至少有一个侧壁上开有多个条形通槽A(9)，所述支撑轴(3)位于分隔件(1)的下方，并与所述条形通槽A(9)的底端相对；

位于最上方的支撑单元的上方设置有压紧轴(14)，所述压紧轴(14)的两端分别各与一个固定板(2)连接，所述限位轴(7)位于条形通槽A(9)的一侧并与条形通槽A(9)的槽口相对，限位轴(7)的两端分别各与一个固定板(2)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种腐蚀清洗用装置，其特征在于：所述固定板(2)的一侧均连接有条形件(5)，所述限位轴(7)的两端分别各与一个条形件(5)可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种腐蚀清洗用装置，其特征在于：仅在所述分隔件(1)的一个侧壁上开有多个条形通槽A(9)时，所述分隔件(1)远离条形通槽A(9)的一侧设置有加固轴(4)，所述加固轴(4)与限位轴(7)沿固定板(2)竖向轴线对称，加固轴(4)两端分别各与一个固定板(2)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种腐蚀清洗用装置，其特征在于：所述分隔件(1)同时垂直于固定板(2)板面和水平面的侧壁均开有条形通槽A(9)。

5.根据权利要求1所述的一种腐蚀清洗用装置，其特征在于：所述分隔件(1)上开有多个透水孔(13)。

6.根据权利要求1所述一种腐蚀清洗用装置，其特征在于：所述条形通槽A(9)槽壁上设置有多个弧形凸起(10),在同一个条形通槽A(9)中，其两侧的弧形凸起(10)一一对应。

7.根据权利要求1所述的一种腐蚀清洗用装置，其特征在于：所述分隔件(1)两端设置有条形凸起(8)，所述固定板(2)上与条形凸起(8)对应位置设置有与条形凸起(8)配合的通孔(11)。

8.根据权利要求1所述的一种腐蚀清洗用装置，其特征在于：所述压紧轴上方还设置有提手(12)，所述提手(12)两端分别各与一个固定板(2)的顶部固定连接。

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