CN213985161U - 一种晶圆固定机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆固定机构，包括下顶板，所述下顶板上方两侧对称设有基板；两侧的基板与下顶板组成“H”型，所述下顶板正上方设有铁框，所述铁框上方安装有粘性的薄膜，所述薄膜上方安装晶圆；位于晶圆的上方设有上盖板，所述上盖板与两侧的基板固定连接；两侧的基板上分别设有压紧组件且压紧组件对称设置，所述压紧组件与下顶板连接。本实用新型的有益效果是，将上盖板固定安装于两侧的基板上，通过压紧组件能够带动下顶板上下移动，从而将下顶板上方的晶圆与薄膜紧紧顶靠在上盖板的下方，从而使得晶圆能够达到平衡状态，保证了晶圆正背面的平整度，为后续视觉检测提供良好的条件。

Description

一种晶圆固定机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测用固定技术领域，特别是一种晶圆固定机构。

背景技术

晶圆在包装前通常需要对其表面进行测试，待测试合格后才能打包发货，但是目前在测试时，晶圆安装固定时表面平整度无法得到一定的控制，平整度比较差，进而会干扰后期晶圆的一些测试结果，例如晶圆在进行AOI测试时，需要晶圆正背面保持一定的平整度，不然可能会导致一定的误判率；现有对晶圆进行固定的机构通常只能实现对晶圆的固定，但是其表面平整度无法满足晶圆正常使用的一定需求。

鉴于上述情况，有必要对现有的晶圆固定机构加以改进，使其能够适应现在对晶圆固定及表面平整度的需要。

实用新型内容

由于目前对于晶圆在固定时，虽然能够对晶圆起到一定的固定作用，但是晶圆固定时其表面平整度不能满足后期检测的使用需求，因此我们在现有技术缺陷的基础上设计了一种晶圆固定机构，能够对晶圆进行固定的同时保持晶圆表面平整度达到一定需求，便于人们使用。

实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种晶圆固定机构，包括下顶板，所述下顶板上方两侧对称设有基板；两侧的基板与下顶板组成“H”型，所述下顶板正上方设有铁框，所述铁框上方安装有粘性的薄膜，所述薄膜上方安装晶圆；位于晶圆的上方设有上盖板，所述上盖板与两侧的基板固定连接；两侧的基板上分别设有压紧组件且压紧组件对称设置，所述压紧组件与下顶板连接。

对本技术方案的进一步补充，所述下顶板上位于铁框的下方设有顶圈，所述顶圈的下表面固定安装于下顶板的上表面，所述顶圈的上表面固定安装于铁框的下表面。

对本技术方案的进一步补充，所述压紧组件包括气缸安装块、设置于气缸安装块上的气缸、与气缸连接的推杆、与推杆固定连接的连接块、与连接块固定连接的压块、与压块固定连接的顶板安装块；所述气缸固定安装于气缸安装块上，所述顶板安装块与下顶板固定连接。

对本技术方案的进一步补充，所述上盖板与基板通过螺钉连接。

对本技术方案的进一步补充，所述上盖板与下顶板上两侧同一位置均安装有对射传感器。

对本技术方案的进一步补充，所述上盖板上位于对射传感器的导线连接处还设有保护盖，所述保护盖与上盖板固定连接。

对本技术方案的进一步补充，所述连接块下方设有驱动板，所述驱动板通过气缸安装块上的滑轨滑动安装于气缸安装块上。

对本技术方案的进一步补充，所述基板上位于压块的两侧固定安装有限位板。

对本技术方案的进一步补充，每一块限位板上设有两个等高螺丝，所述等高螺丝贯穿限位板的上下表面且其下端与顶板安装块固定连接。

其有益效果在于，将上盖板固定安装于两侧的基板上，通过压紧组件能够带动下顶板上下移动，从而将下顶板上方的晶圆与薄膜紧紧顶靠在上盖板的下方，从而使得晶圆能够达到平衡状态，保证了晶圆正背面的平整度，为后续视觉检测提供良好的条件。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型晶圆安装结构示意图；

图3是本实用新型局部安装结构示意图；

图中，1、下顶板；11、顶圈；2、基板；21、限位板；22、等高螺丝；3、铁框；4、薄膜；5、晶圆；6、上盖板；71、气缸安装块；72、气缸；73、推杆；74、连接块；75、压块；76、顶板安装块；77、驱动板；78、滑轨；8、对射传感器；81、保护盖。

具体实施方式

由于人们目前在晶圆检测时，其对晶圆的固定存在一定的缺陷，不能保证晶圆在检测时的平整度，因此我们设计了一种新型的晶圆固定机构，能够对晶圆固定的同时保持晶圆的平整度，方便后续对晶圆更好的检测。

下面将结合附图1-3详细阐述本实用新型的技术方案：

首先本实用新型包括用于固定晶圆5的固定机构、压紧组件，该固定机构主要包括用于支撑晶圆5的下顶板1，下顶板1上方设有上盖板6，该上盖板6能够对下顶板1上的晶圆5起到一定的压紧作用，其中，下顶板1与压紧组件连接，压紧组件能够带动其上下移动，进一步地，压紧组件对称设置于下顶板1的左右两侧且两侧的压紧组件是同时工作的，从而能够对下顶板1工作时能够保持下顶板1水平工作，不倾斜；如果上盖板6与下顶板1均不保持相对固定时，此时是无法控制晶圆5紧紧顶靠在上盖板6的下方，因此我们将上盖板6保持固定，进一步地，上盖板6的两侧设有基板2，该基板2与下顶板1、上盖板6安装后呈H型，上盖板6固定安装于基板2上，为了方便拆卸的话，可以采用螺钉连接，并且下顶板1与基板2是不保持固定的；如果直接将晶圆5安装在下顶板1上，容易对晶圆5造成一定的损害，因此我们在下顶板1上设置了铁框3，晶圆5安装于铁框3上方，从而能够对晶圆5起到一定的保护作用，在使用过程中，晶圆5容易在铁框3上移动，无法保持静止，因此我们在铁框3与晶圆5之间安装了一个具有粘性的薄膜4，该薄膜4能够对晶圆5起到一定的粘附作用，进而使得晶圆5能够稳稳地安装于铁框3上；由于铁框3直接与下顶板1连接，其上的晶圆5与下顶板1之间的高度比较小，下顶板1在移动时可能会将晶圆5裸露，此时容易对晶圆5造成一定损坏，因此我们在铁框3下方设置了顶圈11，该顶圈11采用弹性材质制成，具备一定的缓冲作用，并且能够对铁框3起到一定的支撑保护作用。

压紧组件，其通过气缸72驱动从而控制下顶板1上下移动，下面将对其结构做详细地阐述：其主要包括用于安装气缸72的气缸安装块71、气缸72、与气缸72连接的推杆73、与推杆73固定连接的连接块74、与连接块74固定连接的压块75、与压块75固定连接的顶板安装块76；气缸安装块71固定安装于基板2上，顶板安装块76与下顶板1固定连接，工作时，气缸72能够驱动推杆73上下移动，推杆73上下移动时能够带动连接块74上下移动，连接块74上下移动时压块75、顶板安装块76随之上下移动，进而使得下顶板1上下移动，直至使得下顶板1上的晶圆5向上撑使其紧紧顶靠在上盖板6下方，从而方便后续对晶圆5进行更好地检测，降低了误判率；其中，为了使得连接块74稳定的上下移动，在移动过程中横向不会产生一定的偏移，其下方设有驱动板77，气缸安装块71上两侧设有滑轨78，驱动板77通过滑轨78在气缸安装块71上稳定的上下移动，便于避免晶圆5移动过程中产生偏移；其中基板2上位于压块75的两侧固定安装有限位板21，用于限定压块75的移动幅度，并且能够对压块75起到一定的保护作用，进一步地，为了使得下顶板1上下移动时不会左右晃动，保证其向上顶起的稳定性，每一块限位板21上设有两个均匀分布等高螺丝22，所述等高螺丝贯穿限位板21的上下表面且其下端与顶板安装块76固定连接，其中，下顶板1在上下移动时，等高螺丝22能够在限位板21上纵向移动。

其中，为了更好地检测铁框3安装在下顶板1及上盖板6之间的位置是否能够满足需要，上盖板6及下顶板1上两侧同一位置均安装有对射传感器8，从而检测铁框3及其上的晶圆5是否安装到位，便于后续更好地对其进行检测；其中上盖板6上位于对射传感器8的导线连接处还设有保护盖81，用于保护对射传感器8连接时裸露在外的导线。

上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理，属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种晶圆固定机构，其特征在于，包括下顶板(1)，所述下顶板(1)上方两侧对称设有基板(2)；两侧的基板(2)与下顶板(1)组成“H”型，所述下顶板(1)正上方设有铁框(3)，所述铁框(3)上方安装有粘性的薄膜(4)，所述薄膜(4)上方安装晶圆(5)；位于晶圆(5)的上方设有上盖板(6)，所述上盖板(6)与两侧的基板(2)固定连接；两侧的基板(2)上分别设有压紧组件且压紧组件对称设置，所述压紧组件与下顶板(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆固定机构，其特征在于，所述下顶板(1)上位于铁框(3)的下方设有顶圈(11)，所述顶圈(11)的下表面固定安装于下顶板(1)的上表面，所述顶圈(11)的上表面固定安装于铁框(3)的下表面。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆固定机构，其特征在于，所述压紧组件包括气缸安装块(71)、设置于气缸安装块(71)上的气缸(72)、与气缸(72)连接的推杆(73)、与推杆(73)固定连接的连接块(74)、与连接块(74)固定连接的压块(75)、与压块(75)固定连接的顶板安装块(76)；所述气缸安装块(71)固定安装于基板(2)上，所述气缸(72)固定安装于气缸安装块(71)上，所述顶板安装块(76)与下顶板(1)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆固定机构，其特征在于，所述上盖板(6)与基板(2)通过螺钉连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆固定机构，其特征在于，所述上盖板(6)与下顶板(1)上两侧同一位置均安装有对射传感器(8)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆固定机构，其特征在于，所述上盖板(6)上位于对射传感器(8)的导线连接处还设有保护盖(81)，所述保护盖(81)与上盖板(6)固定连接。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆固定机构，其特征在于，所述连接块(74)下方设有驱动板(77)，所述驱动板(77)通过气缸安装块(71)上的滑轨(78)滑动安装于气缸安装块(71)上。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆固定机构，其特征在于，所述基板(2)上位于压块(75)的两侧固定安装有限位板(21)。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆固定机构，其特征在于，每一块限位板(21)上设有两个等高螺丝(22)，所述等高螺丝(22)贯穿限位板(21)的上下表面且其下端与顶板安装块(76)固定连接。

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