CN213984624U - 一种退火炉用热能回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种退火炉用热能回收装置，包括退火炉本体和排气管，所述退火炉本体的底部设置有支腿，所述退火炉本体上设置有排气口和多个进气口，所述排气口设置在所述退火炉本体的顶部，多个所述进气口设置在所述退火炉本体侧壁的近底端，多个所述进气口的外部设置有保温筒。本实用新型通过将排气管的一部分设置在保温筒内，从而实现对保温筒内的空气进行初步加热，从而实现了热量的回收，节省了能源，对退火炉排出的废气进行有效的处理，从而避免了废气直接排出对周围环境造成破坏，提高了退火炉的实用性。

Description

一种退火炉用热能回收装置

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体涉及一种退火炉用热能回收装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

目前退火炉在工作中通过上开口排出带热较高热量的废气，这些废气中的热量得不到有效利用，造成白白浪费，并且废气还会对周围的环境造成破坏，导致实用性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述的不足，提供一种退火炉用热能回收装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是：一种退火炉用热能回收装置，包括退火炉本体和排气管，所述退火炉本体的底部设置有支腿，所述退火炉本体上设置有排气口和多个进气口，所述排气口设置在所述退火炉本体的顶部，多个所述进气口设置在所述退火炉本体侧壁的近底端，多个所述进气口的外部设置有保温筒，所述保温筒的一端固定在所述退火炉本体的侧壁上，所述保温筒的另一端敞开，所述排气管的一端连接所述排气口，所述排气管的另一端插入所述保温筒内，并由所述保温筒的另一端穿出，所述排气管的另一端连接有废气处理装置。

进一步的，所述废气处理装置包括处理箱和吸附装置，所述处理箱的底部设置有支柱，所述处理箱的侧壁近底端连接所述排气管的另一端，所述处理箱内部中空，所述处理箱的顶部设置有排放管，所述处理箱的内侧壁上设置有定位块，所述吸附装置包括活性炭吸附网和网圈，所述活性炭吸附网固定在所述网圈内，所述网圈通过螺栓固定在所述定位块上。

进一步的，所述排放管内设置有防护网。

进一步的，还包括喷淋装置，所述喷淋装置设置在所述活性炭吸附网的上方并位于所述处理箱内，所述喷淋装置包括喷淋管、分流管和多个喷头，所述喷淋管的一端穿过所述处理箱的侧壁外接有水泵，所述喷淋管的另一端连通所述分流管，所述分流管上设置有连接杆，所述连接杆的上端固定连接所述处理箱的顶壁，多个所述喷头分别设置在所述分流管的底部。

进一步的，所述分流管包括圆管和十字管，所述十字管设置在所述圆管内并连通所述圆管。

进一步的，所述处理箱的侧壁底端设置有排料管。

进一步的，所述排料管上设置有截止阀。

进一步的，所述处理箱的底板上设置有倾斜的导向板，所述导向板的较低的一端靠近所述排料管。

对比现有技术，本实用新型具有如下的有益效果：

1、本实用新型通过在进料口外设置保温筒，并且通过将排气管的一部分设置在保温筒内，从而实现对保温筒内的空气进行初步加热，从而实现了热量的回收，节省了能源；

2、本实用新型通过设置处理箱，对退火炉排出的废气进行有效的处理，从而避免了废气直接排出对周围环境造成破坏，提高了退火炉的实用性。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的主视结构示意图。

图2为本实用新型一实施例的主视部分剖视结构示意图。

图3为本实用新型一实施例的废气处理装置的主视剖视结构示意图。

图4为本实用新型一实施例的分流管的俯视结构示意图。

图中：1、退火炉本体；2、排气管；11、支腿；12、排气口；13、进气口；14、保温筒；3、废气处理装置；31、处理箱；32、吸附装置；311、支柱；33、排放管；34、定位块；321、活性炭吸附网；322、网圈；331、防护网；4、喷淋装置；41、喷淋管；42、分流管；43、喷头；44、连接杆；421、圆管；422、十字管；35、排料管；351、截止阀；36、导向板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，“多个”指两个以上。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

如图1-4所示，本实用新型退火炉用热能回收装置，包括退火炉本体1和排气管2，所述退火炉本体1的底部设置有支腿11，所述退火炉本体1上设置有排气口12和多个进气口13，所述排气口12设置在所述退火炉本体1的顶部，多个所述进气口13设置在所述退火炉本体1侧壁的近底端，多个所述进气口13的外部设置有保温筒14，所述保温筒14的一端固定在所述退火炉本体1的侧壁上，所述保温筒14的另一端敞开，所述排气管2的一端连接所述排气口12，所述排气管2的另一端插入所述保温筒14内，并由所述保温筒14的另一端穿出，所述排气管2的另一端连接有废气处理装置3。

退火炉在使用的过程中，通过进气口13抽取外部的空气进入退火炉本体1内部，排出的携带热量的废气通过排气管2进入处理箱31内，废气在排气管2内运动时，对保温筒14内的空气进行加热，从而对进气口13处的空气进行加热，实现热量的回收，使得退火炉本体1从外部抽取携带热量的气体，降低能耗。

在一实施例中，所述废气处理装置3包括处理箱31和吸附装置32，所述处理箱31的底部设置有支柱311，所述处理箱31的侧壁近底端连接所述排气管2的另一端，所述处理箱31内部中空，所述处理箱31的顶部设置有排放管33，所述处理箱31的内侧壁上设置有定位块34，所述吸附装置32包括活性炭吸附网321和网圈322，所述活性炭吸附网321固定在所述网圈322内，所述网圈322通过螺栓固定在所述定位块34上。这样设计，通过设置活性炭吸附网321，对废气进行有效的吸附处理，从而保证了排出气体的整洁，且通过将活性炭吸附网321固定在定位孔上，避免进入处理箱31内气体将活性炭吸附网321顶起，保证了活性炭吸附网321的结构稳定。

在一实施例中，所述排放管33内设置有防护网331。这样设计，避免外部杂物落入处理箱31内，影响处理箱31的正常性能。

在一实施例中，还包括喷淋装置4，所述喷淋装置4设置在所述活性炭吸附网321的上方并位于所述处理箱31内，所述喷淋装置4包括喷淋管41、分流管42和多个喷头43，所述喷淋管41的一端穿过所述处理箱31的侧壁外接有水泵，所述喷淋管41的另一端连通所述分流管42，所述分流管42上设置有连接杆44，所述连接杆44的上端固定连接所述处理箱31的顶壁，多个所述喷头43分别设置在所述分流管42的底部。这样设计，通过设置喷淋装置4，能够对使用的活性炭吸附网321进行再生，从而不需要将活性炭吸附网321取出，操作方便快捷。

在一实施例中，所述分流管42包括圆管421和十字管422，所述十字管422设置在所述圆管421内并连通所述圆管421。这样设计，能够保证喷淋装置4对活性炭吸附网321进行全方位的喷淋，保证了活性炭吸附网321再生的效果。

在一实施例中，所述处理箱31的侧壁底端设置有排料管35。这样设计，能够对喷淋后的废液和杂质进行清除。

在一实施例中，所述排料管35上设置有截止阀351。这样设计，便于对排料管35的排料进行控制，便于使用。

在一实施例中，所述处理箱31的底板上设置有倾斜的导向板36，所述导向板36的较低的一端靠近所述排料管35。这样设计，通过设置导向板36，将废液和杂质送至排料管35内，从而方便了排料操作的进行。

本实用新型提供了一种退火炉用热能回收装置，退火炉在使用的过程中，通过进气口抽取外部的空气进入退火炉本体内部，排出的携带热量的废气通过排气管进入处理箱内，废气在排气管内运动时，对保温筒内的空气进行加热，从而对进气口处的空气进行加热，实现热量的回收，使得退火炉本体从外部抽取携带热量的气体，降低能耗；进入处理箱内的废气，在活性炭吸附网的作用下进行吸附，除去废气中有害成分和颗粒，吸附后的气体通过排放管进行安全排放，当活性炭吸附网吸附作用下降时，通过喷淋管外接的水泵抽取再生液，通过分流管和喷头对活性炭吸附网进行喷淋，从而实现活性炭吸附网的再生，通过打开截止阀，能够对喷淋后的废液和杂质进行清除。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。

Claims (8)

1.一种退火炉用热能回收装置，其特征在于：包括退火炉本体(1)和排气管(2)，所述退火炉本体(1)的底部设置有支腿(11)，所述退火炉本体(1)上设置有排气口(12)和多个进气口(13)，所述排气口(12)设置在所述退火炉本体(1)的顶部，多个所述进气口(13)设置在所述退火炉本体(1)侧壁的近底端，多个所述进气口(13)的外部设置有保温筒(14)，所述保温筒(14)的一端固定在所述退火炉本体(1)的侧壁上，所述保温筒(14)的另一端敞开，所述排气管(2)的一端连接所述排气口(12)，所述排气管(2)的另一端插入所述保温筒(14)内，并由所述保温筒(14)的另一端穿出，所述排气管(2)的另一端连接有废气处理装置(3)。

2.如权利要求1所述的退火炉用热能回收装置，其特征在于：所述废气处理装置(3)包括处理箱(31)和吸附装置(32)，所述处理箱(31)的底部设置有支柱(311)，所述处理箱(31)的侧壁近底端连接所述排气管(2)的另一端，所述处理箱(31)内部中空，所述处理箱(31)的顶部设置有排放管(33)，所述处理箱(31)的内侧壁上设置有定位块(34)，所述吸附装置(32)包括活性炭吸附网(321)和网圈(322)，所述活性炭吸附网(321)固定在所述网圈(322)内，所述网圈(322)通过螺栓固定在所述定位块(34)上。

3.如权利要求2所述的退火炉用热能回收装置，其特征在于：所述排放管(33)内设置有防护网(331)。

4.如权利要求2所述的退火炉用热能回收装置，其特征在于：还包括喷淋装置(4)，所述喷淋装置(4)设置在所述活性炭吸附网(321)的上方并位于所述处理箱(31)内，所述喷淋装置(4)包括喷淋管(41)、分流管(42)和多个喷头(43)，所述喷淋管(41)的一端穿过所述处理箱(31)的侧壁外接有水泵，所述喷淋管(41)的另一端连通所述分流管(42)，所述分流管(42)上设置有连接杆(44)，所述连接杆(44)的上端固定连接所述处理箱(31)的顶壁，多个所述喷头(43)分别设置在所述分流管(42)的底部。

5.如权利要求4所述的退火炉用热能回收装置，其特征在于：所述分流管(42)包括圆管(421)和十字管(422)，所述十字管(422)设置在所述圆管(421)内并连通所述圆管(421)。

6.如权利要求2所述的退火炉用热能回收装置，其特征在于：所述处理箱(31)的侧壁底端设置有排料管(35)。

7.如权利要求6所述的退火炉用热能回收装置，其特征在于：所述排料管(35)上设置有截止阀(351)。

8.如权利要求6所述的退火炉用热能回收装置，其特征在于：所述处理箱(31)的底板上设置有倾斜的导向板(36)，所述导向板(36)的较低的一端靠近所述排料管(35)。

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