CN213956737U - 一种测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于硅基OLED显示器检测技术领域，公开了一种测试装置，该测试装置包括显微检测仪、移载机构、载台及基座，显微检测仪能够检测被载台承载的显示器，移载机构能够调整载台的倾角，以使显微检测仪能够检测处于不同倾角位置的显示器上的像素点，测试装置还包括检测机构，检测机构被配置检测载台的实际倾角，以使移载机构能够补偿载台的实际倾角与预设的检测倾角之间的偏差，移载机构还能够移动载台，以校正偏离的显示器上的像素点至与显微检测仪的检测光轴重合，使得该测试装置避免了移载机构或显微检测仪在移动的过程中出现的偏差，提高了检测效率。

Description

一种测试装置

技术领域

本实用新型涉及硅基OLED显示器检测技术领域，尤其涉及一种测试装置。

背景技术

硅基OLED微型显示器是结合CMOS(互补金属氧化物半导体)工艺和OLED(有机发光半导体)技术，以单晶硅作为有源驱动背板而制作的主动式有机发光二极管显示器件。硅基OLED微型显示器的尺寸很小，发光面一般在2英寸以内，但是显示器的像素分辨率较高，使得显示器上的每一个像素单元的尺寸很小。

现有的检测装置一般采用三维直线运动平台，并通过调整显微检测仪的检测角度来完成像素单元在不同角度的检测，但是由于像素单元的尺寸小，使得显微检测仪的显微镜组长，并且景深非常小。

在直线运动平台运动或在显微检测仪转动的过程中，可能会出现移动的偏差，进而导致检测图像四周不清晰，像素边界无法正常抓取，导致检测效率低。

因此，亟于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种测试装置，以解决测试装置在直线运动平台运动或在显微检测仪转动的过程中，可能会出现移动的偏差，进而导致检测图像四周不清晰的问题。

为达此目的，本实用新型提供一种测试装置，该测试装置包括显微检测仪、移载机构、载台及基座，所述显微检测仪能够检测被所述载台承载的显示器，所述移载机构能够调整所述载台的倾角，以使所述显微检测仪能够检测处于不同倾角位置的所述显示器上的像素点，所述测试装置还包括检测机构，其中：

所述检测机构被配置检测所述载台的实际倾角，以使所述移载机构能够补偿所述载台的所述实际倾角与预设的检测倾角之间的偏差；

所述移载机构还能够移动所述载台，以校正偏离的所述显示器上的所述像素点至与所述显微检测仪的检测光轴重合。

作为优选，所述移载机构包括第一驱动部和第二驱动部，其中：

所述载台、所述第一驱动部、所述基座及所述第二驱动部依次连接；

所述第一驱动部被配置为驱动所述载台绕第一转轴转动，以调节被所述载台承载的所述显示器绕所述第一转轴的倾角；

所述第二驱动部能够驱动所述基座沿垂直于所述第一转轴的第一方向移动。

作为优选，所述检测机构包括分别设置于所述第一转轴两侧的第一检测部和第二检测部，所述第一检测部和所述第二检测部能够分别检测各自与所述载台沿竖直方向的距离，所述第一检测部和所述第二检测部的连线垂直于所述第一转轴。

作为优选，所述移载机构还包括第三驱动部和第四驱动部，其中：

所述载台、所述第一驱动部、所述第三驱动部、所述基座、所述第二驱动部、所述第四驱动部依次连接；

所述第三驱动部驱动所述载台绕第二转轴转动，以调节被所述载台承载的所述显示器绕所述第二转轴的倾角，所述第二转轴垂直于所述第一转轴；

所述第四驱动部能够驱动所述基座沿垂直于所述第二转轴的第二方向移动。

作为优选，所述检测机构还包括第三检测部，所述第三检测部能够检测其与所述载台沿竖直方向的距离，所述第三检测部与所述第一检测部和所述第二检测部中的一个的连线垂直于所述第二转轴。

作为优选，所述检测机构还包括第四检测部，所述第四检测部能够检测其与所述载台沿竖直方向的距离，所述第三检测部与所述第一检测部和所述第二检测部中的另外一个的连线垂直于所述第二转轴。

作为优选，所述第一检测部、所述第二检测部、所述第三检测部和所述第四检测部均包括激光探头，多个所述激光探头固定于所述基座的顶面，以能够分别检测所述第一检测部、所述第二检测部、所述第三检测部和所述第四检测部各自与所述载台沿竖直方向的距离。

作为优选，所述第一检测部、所述第二检测部、所述第三检测部和所述第四检测部还均包括反射块，多个所述反射块均设置于所述载台的底面，并且多个所述反射块分别与多个所述激光探头一一对应。

作为优选，所述移载机构还包括第五驱动部，所述第五驱动部能够升降所述基座，以调整所述载台与所述显微检测仪之间沿竖直方向的距离。

作为优选，所述第一驱动部与所述载台之间设置有连接部，所述连接部包括依次设置的第一法兰盘、支撑柱与第二法兰盘，所述第一法兰盘固定于所述载台的底面，所述支撑柱的两端分别固接于所述第一法兰盘和所述第二法兰盘，所述第二法兰盘连接于所述基座。

本实用新型的有益效果：通过移载机构调整载台倾角，并通过检测机构检测载台的实际倾角，移载机构能够补偿载台与实际倾角的偏差，从而使得载台准确的位于显微检测仪中，并且移载机构能够根据载台的倾角，校正偏离的显示器上的像素点至与显微检测仪的检测光轴重合，无需调整显微检测仪的检测角度，避免了因显微检测仪的显微镜组长，并且景深非常小而造成在调整过程中丢失正在检测的显示器上的像素点，并且补偿了移载机构的移动的偏差，使检测图像四周清晰，提高了检测效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的测试装置的结构示意图；

图2是图1的主视图；

图3是本实用新型实施例提供的载台绕第一转轴转动后的测试装置的结构示意图；

图4是图2中A-A截面示意图；

图5是图1的右视图；

图6是本实用新型实施例提供的载台绕第二转轴转动后的测试装置的结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的测试方法的原理图。

图中：

1、基座；

2、载台；

311、第一驱动部；312、第一导向部；321、第二驱动部；322、第二导向部；331、第三驱动部；332、第三导向部；341、第四驱动部；342、第四导向部；351、第五驱动部；352、第五导向部；36、连接部；

41、第一检测部；411、第一激光探头；412、第一反射块；42、第二检测部；421、第二激光探头；422、第二反射块；43、第三检测部；431、第三激光探头；432、第三反射块；44、第四检测部；441、第四激光探头；442、第四反射块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实施例提供一种测试装置，该测试装置无需调整显微检测仪的检测角度，避免了因显微检测仪的显微镜组长，并且景深非常小而造成在调整过程中丢失正在检测的显示器上的像素点，并且补偿了移载机构因本体机械装配误差而造成的移动偏差，使检测图像清晰，提高了检测效率。

该测试装置包括显微检测仪、移载机构、载台2及基座1，显微检测仪固定在测试装置上，并能够检测被载台2承载的显示器。移载机构能够调整载台2的倾角，以使显微检测仪能够检测处于不同倾角位置的显示器上的像素点。

由于机械结构装配误差，或者移载机构的移动误差，可能导致载台2在移载过程中，出现一定的误差。为了提高该测试装置的测试精度，使该测试装置能够补偿有机械本体带来的误差，该测试装置还包括检测机构，检测机构被配置检测载台2的实际倾角，以使移载机构能够补偿载台2的实际倾角与预设的检测倾角之间的偏差。移载机构还能够移动载台2，以校正偏离的显示器上的像素点至与显微检测仪的检测光轴重合。

通过设置移载机构及检测机构，移载机构能够调整载台2的倾角，从而避免了因显微检测仪的显微镜组长，景深非常小而造成在调整过程中丢失正在检测的显示器上的像素点，提高了检测效率。并且，检测机构在检测载台2的实际倾角后，移载机构能够补偿载台2的实际倾角与预设的检测倾角之间的偏差，并能够校正因载台2转动导致偏离的显示器上的像素点，并能够将其校正至与限位检测仪的检测光轴重合，避免了因装配误差引起的移动偏差，令检测图像更加清晰，提高了检测效率。

具体地，如图1至图6所示，移载机构包括第一驱动部311和第一导向部312，第一驱动部311和第一导向部312均设置在基座1上。显微检测仪固定于该测试装置上，并设置在载台2的顶部，待检测的显示器固定在载台2的顶面上，载台2设置在第一导向部312上，第一驱动部311设置在基座1上，第一导向部312能够使第一驱动部311驱动载台2绕第一转轴转动，以调节被载台2承载的显示器绕第一转轴的倾角，其中，第一转轴沿水平方向延伸。

在第一驱动部311驱动载台2绕第一转轴转动时，由于第一导向部312的第一转轴未设置在载台2顶面上，因而载台2在转动的过程中，载台2的顶面会与固定在该测试装置上的显微检测仪发生相对运动，使得移载前的位于显微检测仪的检测光轴上的显示器的像素点发生偏离，并可能会偏离出显微检测仪正在检测的区域，从而丢失正在检测的像素点。

为了解决上述问题，移载机构还包括第二驱动部321和第二导向部322，基座1设置在第二驱动部321和第二导向部322上，第二导向部322能够使第二驱动部321驱动基座1沿垂直于第一转轴的第一方向移动，以校正偏离的显示器上的像素点至与显微检测仪的检测光轴重合，其中第一方向沿垂直于第一转轴的延伸方向的水平方向延伸。

可以理解的是，在本实施例中，由于该测试装置的显微检测仪和载台2在竖直方向上间隔设置，使得第一转轴沿水平方向延伸，在其它的实施例中，显微检测仪和载台2可以在水平方向上间隔设置，以使第一转轴沿竖直方向延伸，在此不做限制。

由于校正后显示器上的像素点与显微检测仪的检测光轴重合，但是该像素点可能脱离了显微检测仪的焦点，进一步地，移载机构还包括第五驱动部351和第五导向部352，第二驱动部321和第二导向部322设置于第五导向部352上，第五导向部352能够使第五驱动部351升降基座1，以调整载台2与显微检测仪之间沿竖直方向的距离，从而使得校正后显示器上的像素点移至显微检测仪的焦点上。

进一步地，为了能够准确检测被载台2承载的显示器绕第一转轴的倾角，检测机构包括分别设置于所述第一转轴两侧的第一检测部41和第二检测部42，第一检测部41和第二检测部42能够分别检测各自与载台2沿竖直方向的距离，第一检测部41和第二检测部42的连线垂直于第一转轴，通过检测第一检测部41和第二检测部42各自分别与载台2沿竖直方向的距离，计算出载台2分别在第一检测部41的竖直方向上和第二检测部42的竖直方向上偏转的幅度，并可以通过增大第一检测部41和第二检测部42之间的间距，放大载台2偏转的幅度，从而能够准确地计算出载台2绕第一转轴的倾角。

进一步地，为了使该测试装置一次性完成显示器上的同一个像素点的检测，移载机构还包括第三驱动部331和第三导向部332。载台2、第一驱动部311和第一导向部312均设置在第三导向部332上，第三导向部332和第三驱动部331设置在基座1上，第三导向部332能够使第三驱动部331驱动载台2绕第二转轴转动，以调节被载台2承载的显示器绕第二转轴的倾角，从而使得该测试装置能够一次性完成显示器上的同一个像素点的检测。

在第三驱动部331驱动载台2绕第二转轴转动时，由于第二转轴可能也未设置在载台2顶面上，因而载台2在转动的过程中，载台2的顶面会与固定在该测试装置上的显微检测仪发生相对运动，使得移载前的位于显微检测仪的检测光轴上的显示器的像素点发生偏离，并可能会偏离出显微检测仪正在检测的区域，从而丢失正在检测的像素点。

为了解决上述问题，移载机构还包括第四驱动部341和第四导向部342，第二驱动部321和第二导向部322设置在第四导向部342上，第四导向部342能够使第四驱动部341驱动设置于第二导向部322上的基座1沿垂直于第二转轴的第二方向移动，以校正偏离的显示器上的像素点至与显微检测仪的检测光轴重合，其中，第二方向沿垂直于第二转轴的延伸方向的水平方向延伸。

进一步地，为了能够准确检测被载台2承载的显示器绕第二转轴的倾角，检测机构还包括第三检测部43，第三检测部43能够检测其与载台2沿竖直方向的距离，第三检测部43与第一检测部41和第二检测部42中的一个的连线垂直于第二转轴。通过计算第三检测部43和第一检测部41各自沿竖直方向的距离，或第三检测部43和第二检测部42各自沿竖直方向的距离，计算出载台2绕第二转轴偏转的幅度，并可以通过增大第三检测部43和第一检测部41之间的间距或者增大第三检测部43和第二检测部42之间的间距，以放大载台2绕第二转轴偏转的幅度，从而能够准确地计算出载台2绕第二转轴的倾角。

进一步地，为了提高检测机构的检测精度，检测机构还包括第四检测部44，第四检测部44能够检测其与载台2沿竖直方向的距离，第三检测部43与第一检测部41和第二检测部42中的另外一个的连线垂直于第二转轴，以使检测机构能够检测出两组载台2分别绕第一转轴和第二转轴的倾角，通过计算出两组载台2绕第一转轴的倾角的平均值和两组载台2绕第二转轴的倾角的平均值，进而提高了检测机构的检测精度。

进一步地，为了提高第一检测部41、第二检测部42、第三检测部43和第四检测部44的检测精度，第一检测部41、第二检测部42、第三检测部43和第四检测部44均包括激光探头和反射块，其中，第一激光探头411、第二激光探头421、第三激光探头431和第四激光探头441均固定于基座1上。由于载台2上设置有多个定位安装孔，第一激光探头411、第二激光探头421、第三激光探头431和第四激光探头441发射的激光脉冲可能会穿过载台2上的定位安装孔，从而降低检测精度，为了解决该问题，第一反射块412、第二反射块422、第三反射块432和第四反射块442分别与第一激光探头411、第二激光探头421、第三激光探头431和第四激光探头441一一对应地设置于载台2的底面上，以使第一激光探头411、第二激光探头421、第三激光探头431和第四激光探头441能够分别朝向第一反射块412、第二反射块422、第三反射块432和第四反射块442发射激光脉冲，并能够分别接收到由第一反射块412、第二反射块422、第三反射块432和第四反射块442漫反射的激光脉冲，从而提高了第一检测部41、第二检测部42、第三检测部43和第四检测部44的检测精度。

进一步地，为了使载台2稳固地跟随第一导向部312转动，第一驱动部311与载台2之间设置有连接部36，连接部36包括依次设置的第一法兰盘、支撑柱与第二法兰盘，第一法兰盘固定于载台2的底面，支撑柱的两端分别固接于第一法兰盘和第二法兰盘，第二法兰盘固定于第一导向部312的顶面，以使载台2稳固地跟随第一导向部312转动。

本实施例还提供了一种测试方法，该测试方法包括如上所述的测试装置，如图7所示，该测试方法包括：

S1、将显示器固定于载台2，基于载台2需要转动获得的预设的检测倾角α，移载机构驱动载台2转动至响应位置；

S2、检测位于响应位置的载台2转动的实际倾角α₁，计算实际倾角α₁与检测倾角α的差值，并再次驱动载台2以补偿该差值，使载台2转动至检测倾角α；

S3、根据显示器上的像素点的转动半径，计算出像素点偏离检测光轴的距离；

S4、移动载台2以校正偏离的显示器上的像素点至与显微检测仪的检测光轴重合。

通过调整载台2倾角，并检测载台2位于响应位置的的实际倾角，然后补偿因测试系统本体的误差导致载台2的实际倾角与预设的检测倾角的偏差，从而使得载台2准确的位于显微检测仪中。并且能够根据载台2的倾角，校正偏离的显示器上的像素点至与显微检测仪的检测光轴重合，使得无需调整显微检测仪的检测角度，避免了因显微检测仪的显微镜组长，使检测图像清晰，提高了检测效率。

进一步地，为了提高该测试方法的检测精度，步骤S2包括：

S21、检测基座1上不同的两个检测点分别与载台2沿竖直方向的距离差值，第一检测点与载台2沿竖直方向的距离差值为S₁，第二检测点与载台2沿竖直方向的距离差值为S₂，并计算第一检测点的距离差值与第二检测点的距离差值之和Δs，其中Δs＝S₁+S₂，并且不同的两个点之间的连线垂直于载台2转动的轴线；

S22、通过三角函数关系

计算得到实际倾角α₁，其中d为基座1上不同的两个检测点之间的距离；

S23、计算实际倾角α₁与检测倾角α的差值，并驱动载台2转动至检测倾角α。

通过检测基座1上不同的两个点分别与载台2沿竖直方向的距离差值S₁和S₂，并计算两个距离的差值之和Δs，并可以通过增大基座1上不同的两个点之间的距离d，放大载台2偏转的幅度，从而能够准确地计算出载台2的倾角。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种测试装置，包括显微检测仪、移载机构、载台(2)及基座(1)，所述显微检测仪能够检测被所述载台(2)承载的显示器，其特征在于，所述移载机构能够调整所述载台(2)的倾角，以使所述显微检测仪能够检测处于不同倾角位置的所述显示器上的像素点，所述测试装置还包括检测机构，其中：

所述检测机构被配置检测所述载台(2)的实际倾角，以使所述移载机构能够补偿所述载台(2)的所述实际倾角与预设的检测倾角之间的偏差；

所述移载机构还能够移动所述载台(2)，以校正偏离的所述显示器上的所述像素点至与所述显微检测仪的检测光轴重合。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述移载机构包括第一驱动部(311)和第二驱动部(321)，其中：

所述载台(2)、所述第一驱动部(311)、所述基座(1)及所述第二驱动部(321)依次连接；

所述第一驱动部(311)被配置为驱动所述载台(2)绕第一转轴转动，以调节被所述载台(2)承载的所述显示器绕所述第一转轴的倾角；

所述第二驱动部(321)能够驱动所述基座(1)沿垂直于所述第一转轴的第一方向移动。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述检测机构包括分别设置于所述第一转轴两侧的第一检测部(41)和第二检测部(42)，所述第一检测部(41)和所述第二检测部(42)能够分别检测各自与所述载台(2)沿竖直方向的距离，所述第一检测部(41)和所述第二检测部(42)的连线垂直于所述第一转轴。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述移载机构还包括第三驱动部(331)和第四驱动部(341)，其中：

所述载台(2)、所述第一驱动部(311)、所述第三驱动部(331)、所述基座(1)、所述第二驱动部(321)、所述第四驱动部(341)依次连接；

所述第三驱动部(331)驱动所述载台(2)绕第二转轴转动，以调节被所述载台(2)承载的所述显示器绕所述第二转轴的倾角，所述第二转轴垂直于所述第一转轴；

所述第四驱动部(341)能够驱动所述基座(1)沿垂直于所述第二转轴的第二方向移动。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述检测机构还包括第三检测部(43)，所述第三检测部(43)能够检测其与所述载台(2)沿竖直方向的距离，所述第三检测部(43)与所述第一检测部(41)和所述第二检测部(42)中的一个的连线垂直于所述第二转轴。

6.根据权利要求5所述的测试装置，其特征在于，所述检测机构还包括第四检测部(44)，所述第四检测部(44)能够检测其与所述载台(2)沿竖直方向的距离，所述第三检测部(43)与所述第一检测部(41)和所述第二检测部(42)中的另外一个的连线垂直于所述第二转轴。

7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述第一检测部(41)、所述第二检测部(42)、所述第三检测部(43)和所述第四检测部(44)均包括激光探头，多个所述激光探头固定于所述基座(1)的顶面，以能够分别检测所述第一检测部(41)、所述第二检测部(42)、所述第三检测部(43)和所述第四检测部(44)各自与所述载台(2)沿竖直方向的距离。

8.根据权利要求7所述的测试装置，其特征在于，所述第一检测部(41)、所述第二检测部(42)、所述第三检测部(43)和所述第四检测部(44)还均包括反射块，多个所述反射块均设置于所述载台(2)的底面，并且多个所述反射块分别与多个所述激光探头一一对应。

9.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述移载机构还包括第五驱动部(351)，所述第五驱动部(351)能够升降所述基座(1)，以调整所述载台(2)与所述显微检测仪之间沿竖直方向的距离。

10.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述第一驱动部(311)与所述载台(2)之间设置有连接部(36)，所述连接部(36)包括依次设置的第一法兰盘、支撑柱与第二法兰盘，所述第一法兰盘固定于所述载台(2)的底面，所述支撑柱的两端分别固接于所述第一法兰盘和所述第二法兰盘，所述第二法兰盘连接于所述基座(1)。

Images