CN213932043U - 一种带预热功能的退火炉 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种带预热功能的退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体上设置有排气管，所述退火炉一侧设置有预热组件，所述预热组件包括预热炉和进气管，所述预热炉设置于退火炉本体一侧，所述进气管安装在预热炉上，进气管远离预热炉一端与排气管相连，通过进气管和排气管连通预热炉和退火炉，进气管上安装有抽风机。本申请具有通过将退火炉本体内排出的热气存储在预热炉内，将需加热的工件在放入退火炉前先放入预热炉内预热，提升工件进入退火炉的初始温度，从而降低工件吸热升温的时间，提升退火炉的效率且节约能源的效果。
Description
技术领域
本申请涉及热处理设备的领域，尤其是涉及一种带预热功能的退火炉。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
针对上述中的相关技术，发明人认为退火炉在使用时会消耗大量能源。
实用新型内容
为了降低退火炉使用时的能源消耗，本申请提供一种带预热功能的退火炉。
本申请提供的一种带预热功能的退火炉采用如下的技术方案：
一种带预热功能的退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体上设置有排气管，所述退火炉本体一侧设置有预热组件，所述预热组件包括预热炉和进气管，所述预热炉设置于退火炉本体一侧，所述进气管安装在预热炉上，进气管远离预热炉一端与排气管相连，通过进气管和排气管连通预热炉和退火炉本体，进气管上安装有抽风机。
通过采用上述技术方案，通过将退火炉本体内排出的热气存储在预热炉内，将需加热的工件在放入退火炉前先放入预热炉内预热，提升工件进入退火炉的初始温度，从而降低工件吸热升温的时间，提升退火炉的效率且节约能源。
可选的，进气管上安装有过滤组件，过滤组件对退火炉本体内排出的气体进行过滤。
通过采用上述技术方案，过滤组件能够对退火炉本体排出的气体进行过滤，将部分有毒有害气体吸收，降低预热炉内有毒有害气体的量，降低使用预热炉时，有毒有害气体对操作人员的影响。
可选的，过滤组件包括了过滤盒和滤芯，所述过滤盒安装设置与进气管上，所述滤芯可拆卸插设在过滤盒上，滤芯覆盖分隔整个进气管。
通过采用上述技术方案，滤芯用于吸附有毒有害气体，后续通过更换滤芯以保证滤芯长期使用后的过滤效果。
可选的，预热炉包括炉体和炉门，所述炉体放置于退火炉本体一侧，炉体一端开口，所述炉门于炉体开口处铰接在炉体上，炉门通过转动封闭开口。
通过采用上述技术方案，炉门配合炉体实现了预热炉的开启和关闭。
可选的，预热炉表面以及炉门外侧均覆盖有一层隔热层。
通过采用上述技术方案，隔热层的设置能够降低预热炉炉体内热量的散失。
可选的，炉体上安装有尾气排放管。
通过采用上述技术方案，尾气排放管将用于预热后的气体进行排放。
可选的，炉体上安装有温度计，炉体内设置有加热组件。
通过采用上述技术方案，温度计用于测量炉体内的温度，当炉体内温度较低时可通过加热组件对炉体内进行加温，以保证预热效果。
可选的，加热组件包括吹风机和加热管，所述吹风机安装于炉体内，所述加热管安装于吹风机出风口处。
通过采用上述技术方案，吹风机配合加热管能够将热气均匀的分散于预热炉内。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
通过将退火炉本体内排出的热气存储在预热炉内，将需加热的工件在放入退火炉前先放入预热炉内预热，提升工件进入退火炉的初始温度，从而降低工件吸热升温的时间，提升退火炉的效率且节约能源；
过滤组件能够对退火炉本体排出的气体进行过滤，将部分有毒有害气体吸收，降低预热炉内有毒有害气体的量，降低使用预热炉时，有毒有害气体对操作人员的影响；
隔热层的设置能够降低预热炉炉体内热量的散失；
温度计用于测量炉体内的温度，当炉体内温度较低时可通过加热组件对炉体内进行加温，以保证预热效果；
吹风机配合加热管能够将热气均匀的分散于预热炉内。
附图说明
图1是本实施例的整体结构示意图。
图2是本实施例的整体结构另一视角的示意图。
附图标记说明：1、退火炉本体；2、排气管；3、预热组件；31、预热炉；311、炉体；312、炉门；32、进气管；4、抽风机；5、过滤组件；51、过滤盒；52、滤芯；6、隔热层；7、尾气排放管；8、温度计；9、加热组件；91、吹风机；92、加热管。
具体实施方式
以下结合附图1-2对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种带预热功能的退火炉，参照图1，包括退火炉本体1，退火炉本体1呈矩形，放置于地面上一端开口，开口处安装有密封门，退火炉本体1内设置有加热装置，退火炉本体1上设置有排气管2，排气管2在退火完成后将退火炉内的气体排出，退火炉本体1一侧设置有预热组件3，预热组件3包括设置于退火炉本体1一侧的预热炉31和安装在预热炉31上的进气管32，进气管32远离预热炉31一端与排气管2相连，通过进气管32和排气管2连通预热炉31和退火炉本体1，进气管32上安装有抽风机4，抽风机4将退火炉内的气体抽入预热炉31内，通过将退火炉本体1内排出的热气存储在预热炉31内，将需加热的工件在放入退火炉本体1前先放入预热炉31内预热，提升工件进入退火炉本体1的初始温度，从而降低工件吸热升温的时间，提升退火的效率且节约能源。
参照图1，预热炉31包括放置于退火炉本体1一侧的炉体311，炉体311一端开口，炉体311开口处铰接设置有炉门312，炉门312通过转动封闭开口，炉门312配合炉体311实现了预热炉31的开启和关闭；炉门312封闭开口时，炉门312和炉体311相互密封设置，以降低热气流失的概率；预热炉31表面以及炉门312外侧均覆盖有一层隔热层6，隔热层6选用石棉，石棉隔热效果好且易获取成本较低，隔热层6的设置能够降低预热炉31炉体311内热量的散失。
参照图1，炉体311上安装有尾气排放管7，尾气排放管7将预热后的气体进行排放，通过连接尾气吸收处理的管道将尾气进行排放处理，降低退火工艺中有毒有害气体的排放；炉体311上安装有温度计8，炉体311内设置有加热组件9，温度计8用于测量炉体311内的温度，当炉体311内温度较低时可通过加热组件9对炉体311内进行加温，通过适量的对炉体311内进行加温保证预热效果，预热炉31内本身温度高于室温，适量的加热消耗能源不大，且与直接将工件放入退火炉对比相对节能；加热组件9包括安装于炉体311内的吹风机91和安装于吹风机91出风口处的加热管92，加热管92选用弯曲的金属管，通过给加热管92通电使其发热，弯曲的加热管92能够散发更多的热量，加热管92产生的热量仅能通过温度差进行流动，其流动效果较差，吹风机91配合加热管92能够将热气均匀的分散于预热炉31内。
参照图1-2，进气管32上安装有过滤组件5，过滤组件5能够对退火炉本体1排出的气体进行过滤，将部分有毒有害气体吸收，降低预热炉31内有毒有害气体的量，降低使用预热炉31时，有毒有害气体对操作人员的影响；过滤组件5包括了安装设置与进气管32上的过滤盒51和可拆卸插设在过滤盒51上的滤芯52，滤芯52插接设置与过滤盒51上时与过滤盒51连接处密封设置，从而保证降低有毒气体的泄漏，滤芯52覆盖分隔整个进气管32，滤芯52选用活性炭制成的滤芯52，滤芯52用于吸附有毒有害气体，而滤芯52长时间使用后其过滤效果会逐渐变差，可拆卸的滤芯52能够通过拆卸更换，从而保证滤芯52的过滤效果。
本申请实施例的实施原理为：将工件放入退火炉本体1内进行退火处理，同时将另一批工件放入预热炉31内，当退火处理结束后，将退火炉本体1内的热气通过排气管2和进气管32排入预热炉31内，退火炉本体1排出的热气在预热炉31内对工件预热后，将预热炉31内的气体通过尾气排放管7排放，之后再将预热炉31内工件取出放置退火炉内进行退火处理，通过预热炉31提升工件进入退火炉本体1的初温，降低工件在退火炉本体1内需吸收的热量，从而提升退火效率节约能源。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种带预热功能的退火炉，包括退火炉本体(1)，所述退火炉本体(1)上设置有排气管(2)，其特征在于：所述退火炉本体(1)一侧设置有预热组件(3)，所述预热组件(3)包括预热炉(31)和进气管(32)，所述预热炉(31)设置于退火炉本体(1)一侧，所述进气管(32)安装在预热炉(31)上，进气管(32)远离预热炉(31)一端与排气管(2)相连，通过进气管(32)和排气管(2)连通预热炉(31)和退火炉本体(1)，进气管(32)上安装有抽风机(4)。
2.根据权利要求1所述的一种带预热功能的退火炉，其特征在于：所述进气管(32)上安装有过滤组件(5)，过滤组件(5)对退火炉本体(1)内排出的气体进行过滤。
3.根据权利要求2所述的一种带预热功能的退火炉，其特征在于：所述过滤组件(5)包括了过滤盒(51)和滤芯(52)，所述过滤盒(51)安装设置与进气管(32)上，所述滤芯(52)可拆卸插设在过滤盒(51)上，滤芯(52)覆盖分隔整个进气管(32)。
4.根据权利要求1所述的一种带预热功能的退火炉，其特征在于：所述预热炉(31)包括炉体(311)和炉门(312)，所述炉体(311)放置于退火炉本体(1)一侧，炉体(311)一端开口，所述炉门(312)于炉体(311)开口处铰接在炉体(311)上，炉门(312)通过转动封闭开口。
5.根据权利要求4所述的一种带预热功能的退火炉，其特征在于：所述预热炉(31)表面以及炉门(312)外侧均覆盖有一层隔热层(6)。
6.根据权利要求4所述的一种带预热功能的退火炉，其特征在于：所述炉体(311)上安装有尾气排放管(7)。
7.根据权利要求4所述的一种带预热功能的退火炉，其特征在于：所述炉体(311)上安装有温度计(8)，炉体(311)内设置有加热组件(9)。
8.根据权利要求7所述的一种带预热功能的退火炉，其特征在于：所述加热组件(9)包括吹风机(91)和加热管(92)，所述吹风机(91)安装于炉体(311)内，所述加热管(92)安装于吹风机(91)出风口处。
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