CN213876308U

CN213876308U - 一种用于曝光光源的冷却系统

Info

Publication number: CN213876308U
Application number: CN202022250029.9U
Authority: CN
Inventors: 胡存银; 吴志雄
Original assignee: Dongguan Csray Intelligent Control Co ltd
Current assignee: Dongguan Csray Intelligent Control Co ltd
Priority date: 2020-10-12
Filing date: 2020-10-12
Publication date: 2021-08-03
Anticipated expiration: 2030-10-12

Abstract

本实用新型公开了一种用于曝光光源的冷却系统，包括壳体、液冷散热板、电路安装板和散热风扇；所述壳体内设有进风口和排风口；所述液冷散热板设置于所述壳体内，其内均匀布满有冷却流道，前部设有分别与所述冷却流道首尾相接的进液口和回液口，上部设有用于安装LED灯板的安装孔；所述电路安装板设置于所述液冷散热板的下部，用于安装电路模块；所述散热风扇设置于所述壳体内，用于提供负压，使得外界风能从所述进风口进入，并从排风口排出；本实用新型通过设有液冷散热板、电路安装板和散热风扇，LED灯板安装于液冷散热板的上部，电路安装板安装于液冷散热板的下部，通过冷却液的循环同时对灯板和电路进行热交换，具有散热性能好的优点。

Description

一种用于曝光光源的冷却系统

技术领域

本实用新型涉及光学设备散热系统技术领域，特别涉及一种用于曝光光源的冷却系统。

背景技术

紫外曝光机，是印刷线路板(PCB)制作工艺中的重要设备。随着大规模集成电路器件集成度的提高，光刻工作分辨力要求愈来愈高，而除了要求曝光机的整体机构系统精度和稳定性必须保证外，对曝光系统的曝光光源的要求就越来越高。现有的曝光光源的散热采用散热鳍片配合风冷进行散热，而随着复合波段曝光光源的诞生，光源设备中的控制电路板和LED灯珠的发热量也随之增加，现有的冷却系统已不能满足要求。因此，需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提供一种用于曝光光源的冷却系统，以解决上述问题。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种用于曝光光源的冷却系统，包括壳体、液冷散热板、电路安装板和散热风扇；所述壳体内设有进风口和排风口；所述液冷散热板设置于所述壳体内，其内均匀布满有冷却流道，前部设有分别与所述冷却流道首尾相接的进液口和回液口，上部设有用于安装LED灯板的安装孔；所述电路安装板设置于所述液冷散热板的下部，用于安装电路模块；所述散热风扇设置于所述壳体内，用于提供负压，使得外界风能从所述进风口进入，并从排风口排出。

进一步地，所述壳体包括外侧壳体和板体支架；所述板体支架设置于所述外侧壳体内左右内壁。

进一步地，所述进液口和所述回液口贯穿出所述外侧壳体的前端。

进一步地，所述进风口设置于所述外侧壳体的左右两端；所述排风口设置于所述外侧壳体的后端。

进一步地，所述液冷散热板设置于所述板体支架的上部。

进一步地，所述液冷散热板的下部设有拼接凹槽；所述拼接凹槽与所述冷却流道相连接。

进一步地，所述电路安装板的形状与所述拼接凹槽相契合。

本实用新型的有益效果在于，散热性能好，占用体积小，保障工作稳定性；本实用新型通过设有液冷散热板、电路安装板和散热风扇，LED灯板安装于液冷散热板的上部，电路安装板安装于液冷散热板的下部，通过冷却液的循环同时对灯板和电路进行热交换，具有散热性能好的优点；且电路安装板契合设置于拼接凹槽内，用于安装电路模块，在契合安装后，电路安装板与液冷散热板组成一体，能缩小整体体积，并提高导热性能；电路模块一方面能通过电路安装板进行热交换，另一方面能通过进风口、排风口和散热风扇组成的风冷渠道进行热交换，进一步提高散热性能，保障电路模块的工作稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的爆炸结构示意图；

图3为本实用新型的俯视局部结构示意图；

图4为本实用新型的液冷散热板的结构示意图；

图5为本实用新型的仰视局部结构示意图。

1、LED灯板；2、电路模块；10、壳体；11、外侧壳体；12、板体支架； 13、进风口；14、排风口；20、液冷散热板；21、冷却流道；22、进液口； 23、回液口；24、安装孔；25、拼接凹槽；30、电路安装板；31、L型片；40、散热风扇。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式并均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

如图1～图5所示，一种用于曝光光源的冷却系统，包括壳体10、液冷散热板20、电路安装板30和散热风扇40；

所述壳体10包括外侧壳体11、板体支架12、进风口13和排风口14；所述板体支架12设置于所述外侧壳体11内左右内壁；所述进风口13设置于所述外侧壳体11的左右两端；所述排风口14设置于所述外侧壳体11的后端；在本实施例中，板体支架12上具有与进风口13对应设置的中空槽，能增加整体强度，保证机体不因发热而变形，同时也极大的缩减了产品的重量；

所述液冷散热板20设置于所述壳体10内，并位于所述板体支架12的上部，其内均匀布满有冷却流道21，前部设有分别与所述冷却流道21首尾相接的进液口22和回液口23，上部设有用于安装LED灯板1的安装孔24，下部设有拼接凹槽25；所述进液口22和所述回液口23贯穿出所述外侧壳体11的前端；所述拼接凹槽25与所述冷却流道21相连接；

所述电路安装板30契合设置于所述拼接凹槽25内，用于安装电路模块2，在契合安装后，所述电路安装板30与所述液冷散热板20组成一体，能缩小整体体积，并提高导热性能；在本实施例中，电路模块2通过L型片31固定于所述电路安装板30上，一方面，能使得排线整洁，固定更加稳固，另一方面，L型片31的底部能增加与电路安装板30的接触面积，增加导热性能；

所述散热风扇40设置于所述壳体10内，用于提供负压，使得外界风能从所述进风口13进入，并从排风口14排出；在本实施例中，进风口13、排风口14和散热风扇40均与电路安装板30处于同一夹层，用于增加散热性能并且及时排出由于冷热交替产生的冷凝气。

工作原理：进液口22和回液口23外接有冷水机，冷却流道21内的介质为冷却液，通过冷水机的循环，使得冷却液在液冷散热板20中进行吸热，并在外界进行放热。LED灯板1安装在液冷散热板20的上部，LED产生的热量能经其下端传递至液冷散热板20进行热交换，而电路模块2一方面能通过电路安装板30进行热交换，另一方面能通过进风口13、排风口14和散热风扇 40组成的风冷渠道进行热交换，进一步提高散热性能，保障电路模块2的工作稳定性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。

Claims

1.一种用于曝光光源的冷却系统，其特征在于：包括壳体、液冷散热板、电路安装板和散热风扇；所述壳体内设有进风口和排风口；所述液冷散热板设置于所述壳体内，其内均匀布满有冷却流道，前部设有分别与所述冷却流道首尾相接的进液口和回液口，上部设有用于安装LED灯板的安装孔；所述电路安装板设置于所述液冷散热板的下部，用于安装电路模块；所述散热风扇设置于所述壳体内，用于提供负压，使得外界风能从所述进风口进入，并从排风口排出。

2.根据权利要求1所述的一种用于曝光光源的冷却系统，其特征在于：所述壳体包括外侧壳体和板体支架；所述板体支架设置于所述外侧壳体内左右内壁。

3.根据权利要求2所述的一种用于曝光光源的冷却系统，其特征在于：所述进液口和所述回液口贯穿出所述外侧壳体的前端。

4.根据权利要求2所述的一种用于曝光光源的冷却系统，其特征在于：所述进风口设置于所述外侧壳体的左右两端；所述排风口设置于所述外侧壳体的后端。

5.根据权利要求2所述的一种用于曝光光源的冷却系统，其特征在于：所述液冷散热板设置于所述板体支架的上部。

6.根据权利要求1所述的一种用于曝光光源的冷却系统，其特征在于：所述液冷散热板的下部设有拼接凹槽；所述拼接凹槽与所述冷却流道相连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于曝光光源的冷却系统，其特征在于：所述电路安装板的形状与所述拼接凹槽相契合。