CN213853835U - 一种废气处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种废气处理设备，包括管道系统、废气中和系统和控制系统，所述废气中和系统包括多个吸附罐；所述管道系统包括进气总管、出气总管、与吸附罐数量相等的多个进气支管和出气支管，所述进气总管、出气总管分别与每个进气支管、每个出气支管之间通过气动阀连接；所述控制系统包括人机交互控制界面和控制器，所述控制器用于控制废气处理设备内每个气动阀的开启和关闭；当在人机交互界面进行吸附罐切换，人机交互界面将切换信号反馈到控制器，控制器通过控制气动阀的关闭和开启，将废气切换到另一个吸附罐处理。本实用新型的废气处理设备有多个吸附罐，维护或出现故障时可自由切换，一台设备顶两台或多台，降低了设备成本。

Description

一种废气处理设备

技术领域

本实用新型涉及废气处理领域，尤其涉及一种用于半导体领域的废气处理设备。

背景技术

工艺废气处理设备即属于环保行业，又属于半导体等新兴行业专用高端智能附属设备，在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块如：化学气相沉淀、刻蚀、离子注入和扩散,以及非晶硅薄膜太阳能、液晶薄膜的PECVD工艺等都会用到大量的特殊气体，这些气体参与工艺反应之后，以废气的形式被排放，其种类可分为：有毒、酸性、碱性、自燃、易燃、腐蚀性以及PFCS与VOC类气体等。

干式废气处理设备是目前市场上处理金属蚀刻和氢化物科技含量最高的干式洗涤塔，主要用于分解半导体制造过程中产生的有废气体(如砷烷、磷烷、硒化氢、硫化氢等)，干式废气处理设备吸附罐中的吸附剂可根据制造过程中产生的有废气体进行定制。

每个吸附罐中的介质都有不同的作用.工作时，罐中的介质会和进入的废气发生化学反应使其含量远低于TLV标准，反应后废气将变为固体.废气通过与罐中介质反应，毒素会迅速降低到可控范围。吸附罐中的放热反应会产生大量热量加速废气分解，罐中的热电偶会实时测量罐中的温度以保证反应安全进行。

有废气体从干式处理设备柜体顶部的进气口进入，然后，与吸附罐出气口连在一起的文丘里泵让气体加速流过整个系统，同时，压力传感器实时监测真空度并控制比例阀将系统真空度维持在720Torr(托)左右。

干式处理设备的优点是结构简单，除害能力高，日常操作简单，只需要更换吸附罐就可以，但是干式处理设备也有以下缺点：1、气体处理量较少2、设备在使用过程中往往要安装两台及以上，做到一备一用或多台干式处理设备互相切换，以保证其中一台处理设备出现故障或保养时不会影响主设备运行，避免停产或造成在制品的报废。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种含有多个吸附罐，且在使用过程中吸附罐之间可以相互切换的废气处理设备。

本实用新型提供如下技术方案：

一种废气处理设备，包括框架、管道系统、废气中和系统和控制系统，

所述废气中和系统包括多个吸附罐；

所述管道系统包括进气总管、出气总管、与吸附罐数量相等的多个进气支管和出气支管，所述进气总管与所述每个进气支管之间通过气动阀连接，所述出气总管与所述每个出气支管之间通过气动阀连接；

所述控制系统包括人机交互界面和控制器，所述控制器用于控制废气处理设备内每个气动阀的开启和关闭；

当需要进行吸附罐更换时，可在人机交互界面进行吸附罐切换，此时人机交互界面将切换信号反馈到控制器，控制器通过控制待停用吸附罐进气支管和出气支管上气动阀的关闭和待启用吸附罐进气支管和出气支管上气动阀的开启，将废气切换到另一个吸附罐处理。

进一步的，还包括废气监测系统，所述废气监测系统包括废气传感器、第一真空泵和出口废气采集管道，

所述废气传感器一端与所述出口废气采集管道连接，另一端与所述第一真空泵进气口连接；

所述出口废气采集管道另一端与所述出气总管连接；

所述第一真空泵出气口与所述进气总管连接；

废气传感器将监测的出口废气采集管道中的废气浓度信号反馈给控制器，当出口废气采集管道中废气浓度高于预定值A时，控制器自动将废气切换到另一个吸附罐中处理。

进一步的，所述控制器还连接有报警装置；

所述废气监测系统还包括多个吸附罐内废气采集管道，所述吸附罐内废气采集管道一端与废气传感器连接，另一端通过金属管插入吸附罐内预定位置，所述吸附罐内废气采集管道的数量与吸附罐数量相同；

废气传感器将监测的吸附罐内废气采集管道中的废气浓度信号反馈给控制器，当吸附罐内废气采集管道中的废气浓度高于预定值A时，控制器控制报警装置进行报警。

进一步的，所述废气监测系统还包括框架内废气采集管道，所述框架内废气采集管道一端与废气传感器连接，另一端暴露在框架内部，废气传感器将监测的框架内废气采集管道中的废气浓度信号反馈给控制器，当框架内废气采集管道中的废气浓度高于预定值A时，控制器控制报警装置进行报警。

进一步的，还包括温度控制系统，所述温度控制系统包括热电偶，

所述热电偶设置在所述吸附罐的罐体上，所述热电偶与所述控制器连接，用于将检测到的温度信号反馈给所述控制器；

所述控制器还连接有报警装置；

当所述热电偶检测到的温度超过预定值B时，控制器控制报警装置进行报警。

进一步的，所述温度控制系统还包括冷却气总管和多个冷却气支管，

所述冷却气支管数量与吸附罐相同，每个冷却气支管上设置有气动阀，所述冷却气支管一端与相对应的进气支管连接，另一端与所述冷却气总管连接；

当所述热电偶检测到的温度超过预定值C时，控制器控制待降温吸附罐冷却气支管上的气动阀的开启，气体直接从冷却气支管进入进气支管，最后进入待降温吸附罐进行降温，当热电偶检测到温度低于预定值B时，所述待降温吸附罐冷却气支管上的气动阀关闭。

进一步的，所述热电偶为3个，分别设置于吸附罐外侧上、中、下位置。

进一步的，还包括吹扫净化系统，所述吹扫净化系统包括吹扫气总管和多个吹扫气支管，

所述吹扫气支管数量与吸附罐相同，每个吹扫气支管上设置有气动阀，所述吹扫气支管一端与相对应的进气支管连接，另一端与所述吹扫气总管连接；

进一步的，所述吹扫净化系统为两组，两组吹扫净化系统通过人机交互界面进行切换。

进一步的，所述每个吹扫气支管上的气动阀与相连接的进气支管之间还设置有流量计。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型所研发的干式处理设备利用多个吸附罐结构，单套控制系统可有效的做到单台设备，多个吸附罐，一个吸附罐使用的同时还有一个或多个备用吸附罐，维护或出现故障时可自由切换，一台设备顶两台或多台，降低了设备成本。

2.本实用新型废气处理设备当出气口检测到废气时，控制器将废气自动切换到另外一个吸附罐处理，设备无需停机，提升了设备稼动率；

3.本实用新型废气处理设备的废气检测系统通过检测出气口废气浓度，确保废气处理效果；通过吸附罐寿命检测，提前预知吸附罐内吸附剂使用情况，提醒操作人员提前及时更换吸附罐；通过柜体内泄漏检测，有效预防废气泄漏而造成的人员安全事故及其他安全事故，即废气检测系统可以全方位的保障废气处理设备的废气处理效果，同时还可以及时预警泄露风险。

4.本实用新型废气处理设备的温控系统对吸附罐温度进行全方位监控，并及时进行降温处理，可有效的预防反应放热而造成的高温风险。

5.本实用新型废气处理设备的吹扫净化系统，确保吸附罐更换前罐体内无任何有害气体，保障人身安全。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例的双罐切换示意图

图2为本实用新型一个实施例的废气检测系统示意图

图3为本实用新型一个实施例的温控系统示意图

图4为本实用新型一个实施例的吹扫净化系统示意图

图5为本实用新型一个实施例的主视图

图6为本实用新型一个实施例的内部结构示意图

其中：1-第一吸附罐、2-第二吸附罐、3-第一吸附剂、4-第二吸附剂、5-人机交互界面、11-进气总管、12-出气总管、13-第一进气支管、14-第二进气支管、15-第一出气支管、16-第二出气支管、17-第一气动角阀、18-第二气动角阀2、19-第三气动角阀、110-第四气动角阀、111-第二真空泵、21-第一真空泵、22-废气感应器、23-出口废气采集管道、24-第一吸附罐内废气采集管道、25-第二吸附罐内废气采集管道、26-第一钢管、27-第二钢管、28-框架内废气采集管道、29-第一流量计、210-管接头、31-热电偶，32-冷却气总管、33-第一冷却气支管、34-第二冷却气支管、35-第五气动阀、36-第六气动阀、37-第二流量计、38-第三流量计、39-冷却气穿板接头、310-第一压力开关、41-第一吹扫气总管、42-第一吹扫气第一支管、43-第一吹扫气第二支管、44-第七气动阀、45-第八气动阀、46-第四流量计、47-第五流量计、48-第一吹扫气穿板接头、49-第一吹扫气手动阀、410-第二压力开关、51-第二吹扫气总管、52-第二吹扫气第一支管、53-第二吹扫气第二支管、54-第九气动阀、55-第十气动阀、56-第六流量计、57-第七流量计、58-第二吹扫气穿板接头、59-第二吹扫气手动阀、510-第三压力开关。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

本实用新型公开了一种废气处理设备，本实用新型的废气处理设备主要指的是干式废气处理设备，如图5、图6所示，包括框架、管道系统、废气中和系统和控制系统，废气中和系统包括多个吸附罐；管道系统包括进气总管11、出气总管12、与吸附罐数量相等的多个进气支管和出气支管，进气总管11与每个进气支管之间通过气动阀连接，出气总管12与所述每个出气支管之间通过气动阀连接；

所述控制系统包括人机交互界面5和控制器，所述控制器用于控制废气处理设备内每个气动阀的开启和关闭；

当需要进行吸附罐更换时，可在人机交互界面5进行吸附罐切换，此时人机交互界面5将切换信号反馈到控制器，控制器通过控制待停用吸附罐进气支管和出气支管上气动阀的关闭和待启用吸附罐进气支管和出气支管上气动阀的开启，将废气切换到另一个吸附罐处理。

本实用新型通过在进气总管和出气总管上设置多个支管接口，可以连接多个吸附罐，两个以上吸附罐之间的切换过程与双罐之间的切换过程相同，下面以连接2个吸附罐为例，详细说明切换过程。

如图1所示，第一进气支管13下端连接在第一吸附罐1的罐口处，上端通过第一气动角阀17与进气总管11连接，第一出气支管15下端插入第一吸附罐1的底部，上端通过第二气动角阀18与出气总管12连接；第二进气支管14下端连接在第二吸附罐2的罐口处，上端通过第三气动角阀19与进气总管11连接，第二出气支管16下端插入第二吸附罐2的底部，上端通过第四气动角阀110与出气总管12连接；

当使用第一吸附罐1时，第一气动角阀17和第二气动角阀18处于打开状态，第三气动角阀19和第四气动角阀110关闭，废气由进气总管11的进气口进入设备，流经第一气动角阀17及第一进气支管13后进入第一吸附罐1，废气与罐体内第一吸附剂发生化学反应，出气总管12上还设置有第二真空泵111，用于将系统真空度维持在720Torr(托)左右，使反应后的气体加速流经整个罐体，处理后气体从吸附罐底端的第一出气支管15流出，分别流经第二气动角阀18，第二真空泵111后从出气总管12的出气口流出。

当吸附罐中的吸附剂快用尽或者其它原因需要切换吸附罐时，可以在人机交互界面5进行吸附罐的切换，比如图1中，需要从第一吸附罐切换至第二吸附罐时，可以在人机交互界面5上，将第一吸附罐切换为第二吸附罐，此时，人机交互界面5将信息反馈给控制器，该控制器可以选用PLC控制器，PLC接收到切换信息后，控制第一气动角阀17和第二气动角阀18关闭，第三气动角阀19和第四气动角阀110开启，此时，废气由进气总管11的进气口进入设备，流经第三气动角阀19及第二进气支管14后进入第二吸附罐2，废气与罐体内第二吸附剂发生化学反应，处理后气体从吸附罐底端的第二出气支管16流出，分别流经第四气动角阀110，第二真空泵111后从出气总管12的出气口流出。

当第二吸附罐2切换为第一吸附罐1时同理。

本实用新型通过在废气中和系统中设置多个吸附罐，且多个吸附罐之间可以相互切换，切换方法非常简便，当其中一个吸附罐使用过程中出现吸附剂用尽或其它故障时，可以立即进行吸附罐切换，不会影响废气处理设备的正常运行，设备无需停机，提升了设备稼动率。

在一个实施例中，废气处理设备还具有自动切换吸附罐的功能，该功能需要借助本实用新型的废气监测系统实现，图2为本实用新型的废气监测系统示意图，该废气监测系统包括第一真空泵21、废气感应器22、出口废气采集管道23组成，第一真空泵21出气口与进气总管11通过管接头210连接，进气口与废气感应器22连接，废气感应器22另一端与出口废气采集管道23连接，出口废气采集管道23的另一端连接在出气总管12上，控制器还与废气感应器22连接，用于接收废气感应器22检测到的废气浓度信号。

当使用第一吸附罐时，出气总管12中的废气通过出口废气采集管道23进入废气感应器22中，废气传感器22将监测到的废气浓度信号反馈给控制器，预先在控制器中设定预定值A，一般预定值A设定为TLV标准以下，当废气浓度高于预定值A时，控制器通过控制第一气动角阀17和第二气动角阀18关闭，第三气动角阀19和第四气动角阀110开启，自动将废气切换到第二吸附罐处理。

废气监测系统还可以包括吸附罐内废气采集管道，吸附罐内废气采集管道的个数跟所安装的吸附罐个数相同，如图2所示，图2中有2组吸附罐内废气采集管道，第一吸附罐内废气采集管道24一端通过钢管26插入第一吸附罐内的预定位置，钢管26也可以替换为其它金属材质的管道，此处并不做限制，预定位置是对吸附剂使用寿命的判断，根据实际需要进行选取，图2中钢管26插入第一吸附剂的90％深处，第一吸附罐内废气采集管道24的另一端与废气感应器22连接，同样第二吸附罐内废气采集管道25一端通过钢管27插入第二吸附剂的90％深处，另一端废气感应器22连接。

以第一吸附罐正在使用为例，当废气传感器22将监测的第一吸附罐内废气采集管道24中的废气浓度信号反馈给控制器，控制器还连接有报警装置，当第一吸附罐内废气采集管道24中的废气浓度高于预定值A时，控制器控制报警装置进行报警，此时提示操作人员第一吸附罐中的吸附剂即将用尽，操作人员可以通过人机交互界面5进行吸附罐切换。

废气监测系统还可以包括框架内废气采集管道28，框架内废气采集管道28一端与废气传感器22连接，另一端暴露在框架内部，废气传感器22将监测的框架内废气采集管道中的废气浓度信号反馈给控制器，当框架内废气采集管道28中的废气浓度高于预定值A时，控制器控制报警装置进行报警。

当废气采集管道较多时，可以选择三通阀、四通阀等进行连接。

进一步的，可以在出口废气采集管道23、第一吸附罐内废气采集管道24、第二吸附罐内废气采集管道25和框架内废气采集管道28上分别设置气动阀，控制器与这4个气动阀连接，以控制气动阀中的一个开启时另外3个关闭，可以设置每个气动阀的开启时间，例如每个气动阀开启20秒，4个气动阀轮流开启，并在人机交互界面5显示每个气动阀的状态，实现对整个设备全方位的监测。

进一步的，可以在废气感应器22与废气采集管道之间设置流量计29，以控制和监测经气动阀或废气采集管道进入废气感应器22的气体流量。

由于第一真空泵21的排气口与进气总管11连接，所以流经废气感应器22的废气会重新返回废气中和系统进行处理，所以不用担心废气外排的问题。

本实用新型废气处理设备的废气检测系统通过检测出气口废气浓度，当浓度高于预定值时，可以自动切换吸附罐，确保废气处理效果；通过吸附罐寿命检测，提前预知吸附罐内吸附剂使用情况，提醒操作人员提前及时更换吸附罐；通过柜体内泄漏检测，有效预防废气泄漏而造成的人员安全事故及其他安全事故，即废气检测系统可以全方位的保障废气处理设备的废气处理效果，同时还可以及时预警泄露风险。

废气进入吸附罐后，会与罐子内废气发生放热反应，而产生大量热量加速废气分解，但出于安全考虑温度不能过高，故在本实用新型的另一个实施例中，加入了温控系统，以保障反应的安全进行，温度控制系统包括热电偶31、热电偶31设置在吸附罐罐体上，与控制器连接，将温度信号反馈给控制器，如图3中所示，可以在吸附罐罐体的上中下位置各设置一个热电偶，用于对吸附罐全面的温度监测，每个热电偶的温度监测结果实时显示在人机交互界面5，当热电偶31检测到温度超过预定值B时，控制器控制报警装置进行报警。

温度控制系统还可以包括冷却气总管32和多个冷却气支管，如图3，在双罐废气处理设备中，包括第一冷却气支管33和第二冷却气支管34，第一冷却气支管33一端连接在第一进气支管13上、另一端与冷却气总管32连接；第二冷却气支管34一端连接在第二进气支管14上、另一端与冷却气总管32连接；冷却气总管32可以通过三通阀实现与第一冷却气支管33和第二冷却气支管34的同时连接，在第一冷却气支管33上设置有第五气动阀35，在第二冷却气支管34上设置有第六气动阀36。

使用第一吸附罐1时，第一吸附罐1上的热电偶31将检测到的温度反馈给控制器，当所述温度超过预定值C时，控制器控制第一冷却气支管33上的第五气动阀35的开启，冷却气直接从第一冷却气支管33进入第一进气支管13，最后进入第一吸附罐1进行降温，当热电偶31检测到温度低于预定值B时，第五气动阀35关闭。

进一步的，可以在第五气动阀35和第一进气支管13之间设置第二流量计37，在第六气动阀36和第二进气支管14之间设置第三流量计38，用于冷却气流量的监测。

同时在冷却气穿板接头39后还可以设置第一压力开关310，第一压力开关310用于监测是否有冷却气进入冷却气总管32中，使用第二吸附罐2时，与第一吸附罐1同理。

废气处理设备的冷却气一般为高纯氮气，也可以根据实际需要进行选择，此处并不做限制。

预定值B小于预定值C，具体的值根据实际使用需要进行设定。

温控系统可以对吸附罐温度进行全方位监控，并及时进行降温处理，可有效的预防反应放热而造成的高温风险。

本实用新型的废气处理设备在运行过程中，当其中一个吸附罐内吸附剂使用完后，其自动切换至另外一个罐子，因此使用完的吸附罐需进行更换动作，在更换前需确保罐体内无任何有害气体，故在本实用新型的一个优选实施例中，还包括吹扫净化系统，吹扫净化系统包括吹扫气总管41和多个吹扫气支管组成，吹扫气支管数量与吸附罐相同，每个吹扫气支管上设置有气动阀，所述吹扫气支管一端与相对应的进气支管连接，另一端与所述吹扫气总管41连接；当需要进行吹扫时，可在人机交互界面5执行吹扫命令时，控制器控制待吹扫吸附罐吹扫气支管上的气动阀打开，吹扫气体沿吹扫支管进入进气支管，最终到达待吹扫吸附罐。

进一步的，上述的吹扫净化系统可以有2套，两套吹扫净化系统的吹扫气体可以是不同种气体，对待吹扫吸附罐进行全面的吹扫净化。

同时，还可以在每个吹扫气支管上的气动阀与进气支管之间还设置有流量计，对吹扫气体的流量进行监测。

下面以2套净化系统，吹扫气分别为压缩空气和纯氮气为例，详细介绍吹扫过程；

如图4所示，第一吹扫气总管41通过三通阀与第一吹扫气第一支管42、第一吹扫气第二支管43连接，第一吹扫气第一支管42上依次设置有第七气动阀44、第四流量计46，最终与第一进气支管13连接；第一吹扫气第二支管43上依次设置有第八气动阀45、第五流量计47，最终与第二进气支管14连接；

第二吹扫气总管51通过三通阀与第二吹扫气第一支管52、第二吹扫气第二支管53连接，第二吹扫气第一支管52上依次设置有第九气动阀54、第六流量计56，最终与第一进气支管13连接；第二吹扫气第二支管53上依次设置有第十气动阀55、第七流量计57，最终与第二进气支管14连接；

第一吹扫气总管41和第二吹扫气总管51分别通过第一吹扫气穿板接头48、第二吹扫气穿板接头58与第一吹扫气即压缩空气、第二吹扫气即纯氮气相连。

在第一吹扫气穿板接头48、第二吹扫气穿板接头58后还分别设置有第一吹扫气手动阀49、第二吹扫气手动阀59，用于控制吹扫气体进入管道，同时还可以在第一吹扫气手动阀49、第二吹扫气手动阀59后分别设置第二压力开关410、第三压力开关510，用于感应是否有吹扫气体进入。

当设备停机维护或更换吸附罐时，在人机交互界面5按下压缩空气吹扫按钮，此时压缩空气由第一吹扫气穿板接头48进入设备，经过第一吹扫气手动阀49后经过第二压力开关410感应是否有压缩空气进入，进入后通过三通阀一分为二，控制程序控制压缩空气进入到第一吸附罐1或第二吸附罐2，此时有两种情况：

设备使用第一吸附罐1时，第八气动阀45关闭第七气动阀44打开，压缩空气流经第七气动阀44及第四流量计46后，从管接头进入第一吸附罐1；

设备使用第二吸附罐2时，第八气动阀45开启第七气动阀44关闭，压缩空气流经第八气动阀45及第五流量计47后，从管接头进入第二吸附罐2；

压缩空气吹扫一段时间后，可以按下氮气吹扫按钮，来确保所有的剩余废气被净化干净，此时氮气由第二吹扫气穿板接头58进入设备，经过第二吹扫气手动阀59后经过第三压力开关510感应是否有氮气进入，进入后通过三通阀一分为二，控制程序控制氮气进入到第一吸附罐1或第二吸附罐2，此时有两种情况：

设备使用第一吸附罐1时，第十气动阀55关闭，第九气动阀54打开，氮气流经第九气动阀54及第六流量计56后，从管接头进入第一吸附罐1；

设备使用第二吸附罐2时，第十气动阀55开启，第九气动阀54关闭，氮气流经第十气动阀55及第六流量计57后，从管接头进入第二吸附罐2；

当废气传感器检测到吸附罐中废气含量低于预定值A时，控制器控制停止吹扫动作，此时可对设备进行正常的操作及维护。

以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (10)

1.一种废气处理设备，包括管道系统、废气中和系统和控制系统，其特征在于：

所述废气中和系统包括多个吸附罐；

所述管道系统包括进气总管(11)、出气总管(12)、与吸附罐数量相等的多个进气支管和出气支管，所述进气总管(11)与所述每个进气支管之间通过气动阀连接，所述出气总管(12)与所述每个出气支管之间通过气动阀连接；

所述控制系统包括人机交互界面(5)和控制器，所述控制器用于控制废气处理设备内每个气动阀的开启和关闭；

当需要进行吸附罐更换时，可在人机交互界面(5)进行吸附罐切换，此时人机交互界面(5)将切换信号反馈到控制器，控制器通过控制待停用吸附罐进气支管和出气支管上气动阀的关闭和待启用吸附罐进气支管和出气支管上气动阀的开启，将废气切换到另一个吸附罐处理。

2.根据权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于：还包括废气监测系统，所述废气监测系统包括第一真空泵(21)、废气传感器(22)和出口废气采集管道(23)，

所述废气传感器(22)一端与所述出口废气采集管道(23)连接，另一端与所述第一真空泵(21)进气口连接；

所述出口废气采集管道(23)另一端与所述出气总管(12)连接；

所述第一真空泵(21)出气口与所述进气总管(11)连接；

废气传感器(22)将监测的出口废气采集管道(23)中的废气浓度信号反馈给控制器，当出口废气采集管道(23)中废气浓度高于预定值A时，控制器自动将废气切换到另一个吸附罐中处理。

3.根据权利要求2所述的废气处理设备，其特征在于：

所述控制器还连接有报警装置；

所述废气监测系统还包括多个吸附罐内废气采集管道，所述吸附罐内废气采集管道一端与所述废气传感器(22)连接，另一端通过金属管插入吸附罐内预定位置，所述吸附罐内废气采集管道的数量与吸附罐数量相同；

废气传感器(22)将监测的吸附罐内废气采集管道中的废气浓度信号反馈给控制器，当吸附罐内废气采集管道中的废气浓度高于预定值A时，控制器控制报警装置进行报警。

4.根据权利要求3所述的废气处理设备，其特征在于：还包括框架，所述废气监测系统还包括框架内废气采集管道(28)，所述框架内废气采集管道(28)一端与所述废气传感器(22)连接，另一端暴露在框架内部，

废气传感器(22)将监测的框架内废气采集管道(28)中的废气浓度信号反馈给控制器，当框架废气内采集管道(28)中的废气浓度高于预定值A时，控制器控制报警装置进行报警。

5.根据权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于：还包括温度控制系统，所述温度控制系统包括热电偶(31)，

所述热电偶(31)设置在所述吸附罐的罐体上，所述热电偶(31)与所述控制器连接，用于将检测到的温度信号反馈给所述控制器；

所述控制器还连接有报警装置；

当所述热电偶(31)检测到的温度超过预定值B时，控制器控制报警装置进行报警。

6.根据权利要求5所述的废气处理设备，其特征在于：所述温度控制系统还包括冷却气总管(32)和多个冷却气支管，

所述冷却气支管数量与吸附罐相同，每个冷却气支管上设置有气动阀，所述冷却气支管一端与相对应的进气支管连接，另一端与所述冷却气总管(32)连接；

当所述热电偶(31)检测到的温度超过预定值C时，控制器控制待降温吸附罐冷却气支管上的气动阀的开启，冷却气直接从冷却气支管进入进气支管，最后进入待降温吸附罐进行降温，当热电偶(31)检测到温度低于预定值B时，所述待降温吸附罐冷却气支管上的气动阀关闭。

7.根据权利要求5或6所述的废气处理设备，其特征在于：所述热电偶(31)为3个，分别设置于吸附罐外侧上、中、下位置。

8.根据权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于：还包括吹扫净化系统，所述吹扫净化系统包括吹扫气总管(41)和多个吹扫气支管，

所述吹扫气支管数量与吸附罐相同，每个吹扫气支管上设置有气动阀，所述吹扫气支管一端与相对应的进气支管连接，另一端与所述吹扫气总管(41)连接。

9.根据权利要求8所述的废气处理设备，其特征在于：所述吹扫净化系统为两组，两组吹扫净化系统通过人机交互界面(5)进行切换。

10.根据权利要求8或9所述的废气处理设备，其特征在于：所述每个吹扫气支管上的气动阀与相连接的进气支管之间还设置有流量计。

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