CN213716867U - 一种多功能晶圆传输机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多功能晶圆传输机构，涉及到半导体技术领域，包括中央导片区域、垂直导片机构、入货窗口备载区、第一承载传递区和第二承载传递区，垂直导片机构设于中央导片区域内，第一承载传递区设于中央导片区域的一侧，第二承载传递区设于中央导片区域的另一侧，入货窗口备载区设于中央导片区域的一端，入货窗口备载区包括框体、线性机器人、传递平台和衔接平台，框体内设有至少两个传递平台，传递平台的一侧依次设有一线性机器人和一衔接平台。其整体能够使晶圆传输效率的提升，进而构成提升与加强批量晶圆负载的能力，大幅提升半导体湿法工艺设备的执行工艺的稼动率。

Description

一种多功能晶圆传输机构

技术领域

本实用新型涉及到半导体技术领域，尤其涉及到一种多功能晶圆传输机构。

背景技术

在半导体工艺专用设备的建构与使用上，常会因应客户的需求使用上而有多种形式的配置，在半导体工艺设备常要求晶圆负载吞吐量的对应问题而有所不同的整体结构设计,在对应晶圆负载吞吐量的增强议题驱使下，在半导体工艺设备对应的晶圆传输的整体结构设备，在晶圆产品的入货区与出货区常需要配置高效率的晶圆传输结构的设计，尤其是在半导体湿法工艺设备的入货区与出货区因应晶圆产品通常为一至两入晶圆盒的传送配置，对于提升晶圆负载量的效果有限，故从晶圆传输的结构设计来驱使改善工艺执行的效率为一相当重要的议题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多功能晶圆传输机构，用于解决上述技术问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种多功能晶圆传输机构，包括中央导片区域、垂直导片机构、入货窗口备载区、第一承载传递区和第二承载传递区，

其中，所述垂直导片机构设于所述中央导片区域内，所述第一承载传递区设于所述中央导片区域的一侧，所述第二承载传递区设于所述中央导片区域的另一侧，所述入货窗口备载区设于所述中央导片区域的一端，且所述入货窗口备载区包括框体、线性机器人、传递平台和衔接平台，所述框体内设有至少两个所述传递平台，所述传递平台的一侧依次设有一所述线性机器人和一所述衔接平台。

作为优选，所述垂直导片机构包括壳体，设于所述壳体内的夹持组件，以及设于所述壳体的外侧用于控制所述夹持组件的联杆调节模组。

作为进一步的优选，所述联杆调节模组包括包括气缸、联动组件和转动曲柄，所述气缸设于所述壳体上，且所述联动组件以及所述转动曲柄分别与所述气缸的活塞杆连接，所述转动曲柄的一端与所述联动组件连接，所述转动曲柄的另一端与所述夹持组件的从所述壳体内伸出的端部相连。

作为进一步的优选，所述夹持组件包括支撑板、夹持件、旋转轴杆和曲柄联动轴杆，所述壳体的两侧的内壁上设有两所述旋转轴杆，每一所述旋转轴杆上分别设有一所述支撑板，每一所述支撑板上分别设有一所述夹持件，所述曲柄联动轴杆的一端与所述支撑板连接，所述曲柄联动轴杆的的另一端与所述转动曲柄连接。

作为进一步的优选，每一所述支撑板的两端的端部分别与所述旋转轴杆螺纹连接。

作为进一步的优选，所述旋转轴杆的一端通过转动阻挡组件与所述壳体连接。

作为优选，所述第一承载传递区包括第一长轴线性机器人、第一承载传递用平台和第一承载传递用衔接平台，其中，所述第一长轴线性机器人设于所述中央导片区域的一侧，且所述第一承载传递用平台和所述第一承载传递用衔接平台均设于所述第一长轴线性机器人的一侧。

作为优选，所述第二承载传递区包括第二长轴线性机器人、第二承载传递用平台和第二承载传递用衔接平台，其中，所述第二长轴线性机器人设于所述中央导片区域的一侧，且所述第二承载传递用平台和所述第二承载传递用衔接平台均设于所述第二长轴线性机器人的一侧。

作为优选，还包括支架，所述垂直导片机构、所述第一承载传递区和所述第二承载传递区均安装于所述支架上。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：

本实用新型中，入货窗口备载区内的两个衔接平台之间相互交替使用，可在传递动作执行过程则可形成一有效的晶圆传递输送的备载区，直接减少在内部的传递区域的线性机器人传送时的传递时间差距点，提升有效地时间紧凑安排，并减少晶圆传输的反复传递的时间浪费与错开线性机器人的相位安排有效性，整体能够使晶圆传输效率的提升，进而构成提升与加强批量晶圆负载的能力，大幅提升半导体湿法工艺设备的执行工艺的稼动率。

附图说明

图1是本实用新型多功能晶圆传输机构的立体图；

图2是本实用新型多功能晶圆传输机构的内部结构示意图；

图3是本实用新型中的垂直导片机构的主视图；

图4是本实用新型中的垂直导片机构的左视图；

图5是本实用新型中的垂直导片机构的内部结构示意图；

图6是本实用新型中的垂直导片机构的俯视图；

图7是本实用新型中的联杆调节模组的结构示意图；

图8是本实用新型中的转动曲柄的结构示意图；

图9是本实用新型中的垂直导片机构的使用状态图。

图中：1、中央导片区域；2、垂直导片机构；21、壳体；22、夹持组件；23、联杆调节模组；24、气缸；25、转动曲柄；26、支撑板；27、夹持件；28、旋转轴杆；29、曲柄联动轴杆；3、入货窗口备载区；31、框体；32、线性机器人；33、传递平台；34、衔接平台；4、第一承载传递区；41、第一长轴线性机器人；42、第一承载传递用平台；43、第一承载传递用衔接平台；5、第二承载传递区；51、第二长轴线性机器人；52、第二承载传递用平台；53、第二承载传递用衔接平台；6、设备框架。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1是本实用新型多功能晶圆传输机构的立体图；图2是本实用新型多功能晶圆传输机构的内部结构示意图；图3是本实用新型中的垂直导片机构的主视图；图4是本实用新型中的垂直导片机构的左视图；图5是本实用新型中的垂直导片机构的内部结构示意图；图6是本实用新型中的垂直导片机构的俯视图；图7是本实用新型中的联杆调节模组的结构示意图；图8是本实用新型中的转动曲柄的结构示意图；图9是本实用新型中的垂直导片机构的使用状态图。请参见图1至图9所示，示出了一种较佳的实施例，示出的一种多功能晶圆传输机构，包括中央导片区域1、垂直导片机构2、入货窗口备载区3、第一承载传递区4和第二承载传递区5。

其中，垂直导片机构2设于中央导片区域1内，第一承载传递区4设于中央导片区域1的一侧，第二承载传递区5设于中央导片区域1的另一侧，入货窗口备载区3设于中央导片区域1的一端，且入货窗口备载区3包括框体31、线性机器人32、传递平台33和衔接平台34，框体31内设有至少两个传递平台33，传递平台33的一侧依次设有一线性机器人32和一衔接平台34。本实用新型中，晶圆盒包括入货晶圆盒和工艺晶圆盒，其中，工艺晶圆盒用于清洗等工艺，将入货晶圆盒内的晶圆片导入工艺晶圆盒内，然后再将工艺晶圆盒移动至下一工艺进行处理。本实施例中，如图2所示，图2中并未安装垂直导片机构2，在图2中，中央导片区域1用于安装垂直导片机构2，垂直导片机构2用于将入货晶圆盒内的晶圆导入工艺晶圆盒内。在使用时，先通过外部的晶圆盒夹持机器人将入货晶圆盒夹取至传递平台33上，传递平台33上设有定位脚座及传感器，用于对入货晶圆盒进行定位，衔接平台34可作为入货晶圆盒在承载过程中的暂留区，为可负载一入或是两入晶圆盒的临时衔接负载平台。线性机器人32可用于将传递平台33上的入货晶圆盒夹取至衔接平台34，而第一承载传递区4用于将入货晶圆盒夹取至垂直导片机构2上进行导片处理，第二承载传递区5用于将导片后的工艺晶圆盒传递至下一工艺处理。

进一步，作为一种较佳的实施方式，垂直导片机构2包括壳体21，设于壳体21内的夹持组件22，以及设于壳体21的外侧用于控制夹持组件22的联杆调节模组23。本实施例中，夹持组件22用于夹持晶圆盒，联杆调节模组23用以调整夹持组件22使夹持组件22进行弧形对开运动，使得晶圆片与夹持件27接触更贴合，可以避免晶圆片在垂直升降后因夹持晶圆片的动作所带来的各方向的冲击与撞击而使晶圆破裂的问题，避免晶圆片表面出现磨损，保持工艺环境的洁净度。且本实施例中的垂直导片机构2，可以自由装配在需要进行晶圆装载与卸载的湿法设备上，应用非常广泛，同时本身的晶圆导片机构可以夹持各种尺寸的晶圆片，适用范围广泛，通用性强。

进一步，作为一种较佳的实施方式，联杆调节模组23包括包括气缸24、联动组件和转动曲柄25，气缸24设于壳体21上，且联动组件以及转动曲柄25分别与气缸24的活塞杆连接，转动曲柄25的一端与联动组件连接，转动曲柄25的另一端与夹持组件22的从壳体21内伸出的端部相连。

进一步，作为一种较佳的实施方式，夹持组件22包括支撑板26、夹持件27、旋转轴杆28和曲柄联动轴杆29，壳体21的两侧的内壁上设有两旋转轴杆28，每一旋转轴杆28上分别设有一支撑板26，每一支撑板26上分别设有一夹持件27，曲柄联动轴杆29的一端与支撑板26连接，曲柄联动轴杆29的的另一端与转动曲柄25连接。本实施例中的夹持件27上设有用于夹持固定晶圆片的齿沟结构，齿沟结构由多个连续的齿构成，每个齿均具有齿背、齿前、以及齿背与齿前相交处形成的齿尖，每个齿的齿前与前一齿的齿背之间形成有用以卡住晶圆片的齿沟。值得说明书的是，本实施例中的垂直导片机构2为现有结构，此处不再过多叙述。

进一步，作为一种较佳的实施方式，每一支撑板26的两端的端部分别与旋转轴杆28螺纹连接。

进一步，作为一种较佳的实施方式，旋转轴杆28的一端通过转动阻挡组件与壳体21连接。

进一步，作为一种较佳的实施方式，第一承载传递区4包括第一长轴线性机器人41、第一承载传递用平台42和第一承载传递用衔接平台43，其中，第一长轴线性机器人41设于中央导片区域1的一侧，且第一承载传递用平台42和第一承载传递用衔接平台43均设于第一长轴线性机器人41的一侧。本实施例中，第一长轴线性机器人41用于将入货窗口备载区3内的入货晶圆盒夹取至第一承载传递用平台42，第一承载传递用平台42用于承载并传递晶圆盒，将入货晶圆盒传递至垂直导片机构2进行导片处理，而第一承载传递用衔接平台43用于作为入货晶圆盒承载过程中的暂留区,为可负载一入或是两入晶圆盒的临时衔接负载平台。

进一步，作为一种较佳的实施方式，第二承载传递区5包括第二长轴线性机器人51、第二承载传递用平台52和第二承载传递用衔接平台53，其中，第二长轴线性机器人51设于中央导片区域1的一侧，且第二承载传递用平台52和第二承载传递用衔接平台53均设于第二长轴线性机器人51的一侧。本实施例中的第二长轴线性机器人51用于将垂直导片机构2中的工艺晶圆盒夹取至第二承载传递用平台52，而第二承载传递用平台52用于承载及传递工艺晶圆盒，第二承载传递用衔接平台53用于作为工艺晶圆盒承载过程中的暂留区，为可负载一入或是两入晶圆盒的临时衔接负载平台。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种多功能晶圆传输机构，其特征在于，包括中央导片区域、垂直导片机构、入货窗口备载区、第一承载传递区和第二承载传递区，

其中，所述垂直导片机构设于所述中央导片区域内，所述第一承载传递区设于所述中央导片区域的一侧，所述第二承载传递区设于所述中央导片区域的另一侧，所述入货窗口备载区设于所述中央导片区域的一端，且所述入货窗口备载区包括框体、线性机器人、传递平台和衔接平台，所述框体内设有至少两个所述传递平台，所述传递平台的一侧依次设有一所述线性机器人和一所述衔接平台。

2.如权利要求1所述的多功能晶圆传输机构，其特征在于，所述垂直导片机构包括壳体，设于所述壳体内的夹持组件，以及设于所述壳体的外侧用于控制所述夹持组件的联杆调节模组。

3.如权利要求2所述的多功能晶圆传输机构，其特征在于，所述联杆调节模组包括气缸、联动组件和转动曲柄，所述气缸设于所述壳体上，且所述联动组件以及所述转动曲柄分别与所述气缸的活塞杆连接，所述转动曲柄的一端与所述联动组件连接，所述转动曲柄的另一端与所述夹持组件的从所述壳体内伸出的端部相连。

4.如权利要求3所述的多功能晶圆传输机构，其特征在于，所述夹持组件包括支撑板、夹持件、旋转轴杆和曲柄联动轴杆，所述壳体的两侧的内壁上设有两所述旋转轴杆，每一所述旋转轴杆上分别设有一所述支撑板，每一所述支撑板上分别设有一所述夹持件，所述曲柄联动轴杆的一端与所述支撑板连接，所述曲柄联动轴杆的另一端与所述转动曲柄连接。

5.如权利要求4所述的多功能晶圆传输机构，其特征在于，每一所述支撑板的两端的端部分别与所述旋转轴杆螺纹连接。

6.如权利要求4所述的多功能晶圆传输机构，其特征在于，所述旋转轴杆的一端通过转动阻挡组件与所述壳体连接。

7.如权利要求1所述的多功能晶圆传输机构，其特征在于，所述第一承载传递区包括第一长轴线性机器人、第一承载传递用平台和第一承载传递用衔接平台，其中，所述第一长轴线性机器人设于所述中央导片区域的一侧，且所述第一承载传递用平台和所述第一承载传递用衔接平台均设于所述第一长轴线性机器人的一侧。

8.如权利要求1所述的多功能晶圆传输机构，其特征在于，所述第二承载传递区包括第二长轴线性机器人、第二承载传递用平台和第二承载传递用衔接平台，其中，所述第二长轴线性机器人设于所述中央导片区域的一侧，且所述第二承载传递用平台和所述第二承载传递用衔接平台均设于所述第二长轴线性机器人的一侧。

9.如权利要求1所述的多功能晶圆传输机构，其特征在于，还包括支架，所述垂直导片机构、所述第一承载传递区和所述第二承载传递区均安装于所述支架上。

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