CN213707381U - 一种晶圆生产加工专用测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用测试装置，包括底座，所述底座的表面设有四个支撑杆与工作台，所述支撑杆的顶端设有支撑板，所述支撑板上设有支架、夹持块，所述支架上设有探测镜，所述探测镜底端与工作台相对，所述夹持块上设有探针头，所述探测镜的底端侧面设有固定块，所述固定块上设有卡块，所述卡块的另一端设有稳固块，所述稳固块的底部设有转杆，所述转杆的另一端设有盖板，所述转杆靠近稳固块的端部外侧套设有固定环；探针头上连接有较长的导线，导线较长的部分环绕在绕线杆的外侧及探针头上的导线收卷在放线盒内部，挡板阻挡住收卷的导线，避免导线较长被扯动进而影响探针头的稳定性，保证了晶圆测试过程的稳定性。

Description

一种晶圆生产加工专用测试装置

技术领域

本实用新型属于晶圆测试设备技术领域，具体涉及一种晶圆生产加工专用测试装置。

背景技术

探针台广泛应用于复杂、高速器件的精密晶圆测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

现有的探针台应用在晶圆测试方面时，存在探针台上探针头连接有较长的导线，导线被扯动进而影响探针头稳定性，探测镜头上镜片粘附灰尘，影响测试效果的问题，为此我们提出一种晶圆生产加工专用测试装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆生产加工专用测试装置，以解决上述背景技术中提出的探针台应用在晶圆测试方面时，存在探针台上探针头连接有较长的导线，导线被扯动进而影响探针头稳定性，探测镜头上镜片粘附灰尘，影响测试效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆生产加工专用测试装置，包括底座，所述底座的表面设有四个支撑杆与工作台，所述支撑杆的顶端设有支撑板，所述支撑板上设有支架、夹持块，所述支架上设有探测镜，所述探测镜底端与工作台相对，所述夹持块上设有探针头，所述探测镜的底端侧面设有固定块，所述固定块上设有卡块，所述卡块的另一端设有稳固块，所述稳固块的底部设有转杆，所述转杆的另一端设有盖板，所述转杆靠近稳固块的端部外侧套设有固定环，所述固定环面向稳固块的表面设有磁铁环，所述底座的侧面设有放线盒，所述放线盒的内部设有拉杆、弹簧、三个绕线杆，所述拉杆穿过放线盒的端部设有挡板，所述挡板面向放线盒的表面设有三个定位筒。

优选的，所述固定块的表面开设有方形的卡槽，所述卡块为“L”型结构，所述卡块远离稳固块的端部为方形形状，所述卡块的端部与卡槽配合。

优选的，所述转杆为“L”型结构，所述稳固块的内部设有转球、活动腔，所述转杆穿过稳固块的端部与转球连接，所述盖板面向探测镜底部的表面通过胶水粘接有海绵圈，所述探测镜底部表面与盖板表面处于同一水平面。

优选的，所述固定环面向稳固块的表面开设有限位环槽，所述磁铁环位于限位环槽内，所述磁铁环与稳固块吸附连接，所述盖板背离转杆的端部设有捏杆。

优选的，所述底座的侧面设有“L”型结构的固定片，所述底座、放线盒均与固定片通过螺丝旋合连接，所述放线盒的侧面开设有矩形的放置槽，所述放线盒顶部开设有出线口，所述放置槽与出线口连通。

优选的，所述支架的内部开设有滑槽，所述放置槽与滑槽连通，所述拉杆、弹簧位于滑槽内，所述拉杆包括圆头端与柱端，所述弹簧套设在柱端外侧，所述弹簧一端与圆头端连接及另一端与放线盒连接，所述拉杆与放线盒滑动连接。

优选的，所述绕线杆位于放置槽内，所述定位筒远离挡板的端部开设有圆槽，所述绕线杆与圆槽配合，所述挡板背离放线盒的表面设有握柄，所述拉杆与放线盒转动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.通过设置的放线盒、挡板、绕线杆、定位筒，晶圆测试探针台的探针头上连接有较长的导线，导线较长的部分环绕在绕线杆的外侧及探针头上的导线收卷在放线盒内部，挡板阻挡住收卷的导线，避免导线较长被扯动进而影响探针头的稳定性，保证了晶圆测试过程的稳定性。

2.通过设置的盖板，盖板覆盖住探测镜底部的表面，磁铁环与稳固块吸附连接，盖板处于稳定状态，避免灰尘杂质粘附在探测镜底部的镜片上，降低测试效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的稳固块剖视结构示意图；

图3为本实用新型的放线盒剖视结构示意图；

图4为本实用新型的放线盒侧视结构示意图；

图中：1、底座；2、支撑杆；3、支撑板；4、支架；5、探测镜；6、夹持块；7、探针头；8、固定块；9、卡块；10、稳固块；11、转杆；12、盖板；13、固定环；14、放线盒；15、挡板；16、磁铁环；17、拉杆；18、弹簧；19、绕线杆；20、定位筒。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆生产加工专用测试装置，包括底座1，底座1的表面设有四个支撑杆2与工作台，支撑杆2的顶端设有支撑板3，支撑板3上设有支架4、夹持块6，支架4上设有探测镜5，探测镜5底端与工作台相对，夹持块6上设有探针头7，探测镜5的底端侧面设有固定块8，固定块8上设有卡块9，卡块9的另一端设有稳固块10，稳固块10的底部设有转杆11，转杆11的另一端设有盖板12，转杆11靠近稳固块10的端部外侧套设有固定环13，固定环13面向稳固块10的表面设有磁铁环16，盖板12覆盖住探测镜5底部的表面，磁铁环16与稳固块10吸附连接，盖板12处于稳定状态，避免灰尘杂质粘附在探测镜5底部的镜片上，底座1的侧面设有放线盒14，放线盒14的内部设有拉杆17、弹簧18、三个绕线杆19，拉杆17穿过放线盒14的端部设有挡板15，挡板15面向放线盒14的表面设有三个定位筒20，探针头7上连接有较长的导线，导线较长的部分环绕在绕线杆19的外侧，探针头7上的导线收卷在放线盒14内部，挡板15阻挡住收卷的导线，避免导线较长被扯动进而影响探针头7的稳定性，保证了晶圆测试过程的稳定性。

本实施例中，固定块8的表面开设有方形的卡槽，卡块9为“L”型结构，卡块9远离稳固块10的端部为方形形状，卡块9的端部与卡槽配合，转杆11为“L”型结构，稳固块10的内部设有转球、活动腔，转杆11穿过稳固块10的端部与转球连接，盖板12面向探测镜5底部的表面通过胶水粘接有海绵圈，探测镜5底部表面与盖板12表面处于同一水平面，固定环13面向稳固块10的表面开设有限位环槽，磁铁环16位于限位环槽内，磁铁环16与稳固块10吸附连接，盖板12背离转杆11的端部设有捏杆，可简便的调节盖板12的位置，盖板12覆盖住探测镜5底部的表面，避免灰尘杂质粘附在探测镜5底部的镜片上。

本实施例中，底座1的侧面设有“L”型结构的固定片，底座1、放线盒14均与固定片通过螺丝旋合连接，放线盒14的侧面开设有矩形的放置槽，放线盒14顶部开设有出线口，放置槽与出线口连通，支架4的内部开设有滑槽，放置槽与滑槽连通，拉杆17、弹簧18位于滑槽内，拉杆17包括圆头端与柱端，弹簧18套设在柱端外侧，弹簧18一端与圆头端连接及另一端与放线盒14连接，拉杆17与放线盒14滑动连接，绕线杆19位于放置槽内，定位筒20远离挡板15的端部开设有圆槽，绕线杆19与圆槽配合，挡板15背离放线盒14的表面设有握柄，拉杆17与放线盒14转动连接，探针头7上连接有较长的导线，导线较长的部分可环绕在绕线杆19的外侧，探针头7上的导线收卷在放线盒14内部，挡板15阻挡住收卷的导线，避免导线较长被扯动进而影响探针头7的稳定性。

本实用新型的工作原理及使用流程：

在使用晶圆测试探针台时，探针头7上连接有较长的导线，探针头7上的导线端部位于夹持块6上，拉动挡板15，拉杆17移动及弹簧18处于收缩状态，将导线较长的部分环绕在绕线杆19的外侧，探针头7上的导线收卷在放线盒14内部，挡板15复位，且定位筒20套设在绕线杆19外侧，挡板15处于稳定状态，挡板15阻挡住收卷的导线，避免导线较长被扯动进而影响探针头7的稳定性，保证了晶圆测试过程的稳定性；

晶圆测试时，将盖板12旋转，盖板12带动转杆11旋转，探测镜5底部的镜片对准工作台上的部件，测试完成后，盖板12旋转复位，简便的调节了盖板12的位置，盖板12覆盖住探测镜5底部的表面，磁铁环16与稳固块10吸附连接，盖板12处于稳定状态，避免灰尘杂质粘附在探测镜5底部的镜片上。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆生产加工专用测试装置，包括底座（1），所述底座（1）的表面设有四个支撑杆（2）与工作台，所述支撑杆（2）的顶端设有支撑板（3），所述支撑板（3）上设有支架（4）、夹持块（6），所述支架（4）上设有探测镜（5），所述探测镜（5）底端与工作台相对，所述夹持块（6）上设有探针头（7），其特征在于：所述探测镜（5）的底端侧面设有固定块（8），所述固定块（8）上设有卡块（9），所述卡块（9）的另一端设有稳固块（10），所述稳固块（10）的底部设有转杆（11），所述转杆（11）的另一端设有盖板（12），所述转杆（11）靠近稳固块（10）的端部外侧套设有固定环（13），所述固定环（13）面向稳固块（10）的表面设有磁铁环（16），所述底座（1）的侧面设有放线盒（14），所述放线盒（14）的内部设有拉杆（17）、弹簧（18）、三个绕线杆（19），所述拉杆（17）穿过放线盒（14）的端部设有挡板（15），所述挡板（15）面向放线盒（14）的表面设有三个定位筒（20）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用测试装置，其特征在于：所述固定块（8）的表面开设有方形的卡槽，所述卡块（9）为“L”型结构，所述卡块（9）远离稳固块（10）的端部为方形形状，所述卡块（9）的端部与卡槽配合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用测试装置，其特征在于：所述转杆（11）为“L”型结构，所述稳固块（10）的内部设有转球、活动腔，所述转杆（11）穿过稳固块（10）的端部与转球连接，所述盖板（12）面向探测镜（5）底部的表面通过胶水粘接有海绵圈，所述探测镜（5）底部表面与盖板（12）表面处于同一水平面。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用测试装置，其特征在于：所述固定环（13）面向稳固块（10）的表面开设有限位环槽，所述磁铁环（16）位于限位环槽内，所述磁铁环（16）与稳固块（10）吸附连接，所述盖板（12）背离转杆（11）的端部设有捏杆。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用测试装置，其特征在于：所述底座（1）的侧面设有“L”型结构的固定片，所述底座（1）、放线盒（14）均与固定片通过螺丝旋合连接，所述放线盒（14）的侧面开设有矩形的放置槽，所述放线盒（14）顶部开设有出线口，所述放置槽与出线口连通。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆生产加工专用测试装置，其特征在于：所述支架（4）的内部开设有滑槽，所述放置槽与滑槽连通，所述拉杆（17）、弹簧（18）位于滑槽内，所述拉杆（17）包括圆头端与柱端，所述弹簧（18）套设在柱端外侧，所述弹簧（18）一端与圆头端连接及另一端与放线盒（14）连接，所述拉杆（17）与放线盒（14）滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆生产加工专用测试装置，其特征在于：所述绕线杆（19）位于放置槽内，所述定位筒（20）远离挡板（15）的端部开设有圆槽，所述绕线杆（19）与圆槽配合，所述挡板（15）背离放线盒（14）的表面设有握柄，所述拉杆（17）与放线盒（14）转动连接。

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