CN213680864U - 统一加热蒸发装置和镀膜设备 - Google Patents

Abstract

一种统一加热蒸发装置和镀膜设备。该统一加热蒸发装置包括一蒸发器主体和一管路组件。该蒸发器主体具有相互隔离的一第一和第二腔室，并设有一加热安装部，其中该第一和第二腔室分别用于接收第一和第二化学单体液体，其中该加热安装部适于安装该加热装置，使得该加热装置同时加热第一和第二化学单体液体以被对应地蒸发成该第一和第二化学单体气体。该管路组件包括一第一和第二进料管路与一第一和第二出料管路，其中该第一和第二进料管路分别对应地连通于该第一和第二腔室，并且该第一和第二出料管路分别对应地连通于该第一和第二腔室，用于将蒸发获得的该第一和第二化学单体气体分别从对应的该第一和第二腔室输送出来。

Description

统一加热蒸发装置和镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别是涉及一种统一加热蒸发装置和镀膜设备。

背景技术

等离子镀膜作为提升材料表面性能的有效方法，被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜过程中，需要将镀膜设备的反应腔室内空气抽出维持低压力状态，同时需要通过进料装置将多种化学单体气体添加至该镀膜设备的反应腔室内，用于反应以在被镀膜工件表面生成聚合物涂层。由于大部分化学单体在常温下储放时通常是液态的，而在加入到该反应腔室内时却需要是气态的，因此该进料装置需要具备加热蒸发功能，以便在加料的过程中将液态的化学单体加热蒸发为化学单体气体。

目前，现有的进料装置通常为单进料蒸发器，即单个单进料蒸发器每次只能加热蒸发一种化学单体液体，使得该化学单体液体被蒸发成对应的化学单体气体，进而将该化学单体气体输送至镀膜设备的腔室。因此为了给该镀膜设备的反应腔室供应多种化学单体气体，现有的技术方案就需要为该镀膜设备配备多个单进料蒸发器，以便通过不同的单进料蒸发器加热蒸发不同的化学单体。

然而，由于不同的单进料蒸发器自身的加热温度和蒸发性能存在差异，导致经由不同的单进料蒸发器蒸发获得的化学单体气体的温度也互不相同(即进料不一致)，因此具有不同温度的化学单体气体在被输送至该镀膜设备的反应腔室内之后，温度较高的化学单体气体将对外放热以降低自身的温度，而温度较低的化学单体气体将从外部吸热以升高自身的温度，这将会影响化学反应的快速顺利进行，甚至会引起反应异常的问题。此外，多个单进料蒸发器被分散布置也不利于热能利用和清理维护，还会造成日常检查位点偏多、镀膜成本偏高的问题，难以满足当下镀膜市场的低成本、高效需求。

实用新型内容

本实用新型的一优势在于提供一种统一加热蒸发装置和镀膜设备，其能够为镀膜设备的反应腔室提供进料温度一致的多种化学单体气体，有助于提高所述镀膜设备的镀膜质量和效率。

本实用新型的另一优势在于提供一种统一加热蒸发装置和镀膜设备，其中，在本实用新型的一实施例中，所述统一加热蒸发装置能够统一加热多种化学单体液体，以消除或减小不同的化学单体气体的进料温度差异，有助于提高镀膜设备的镀膜一致性。

本实用新型的另一优势在于提供一种统一加热蒸发装置和镀膜设备，其中，在本实用新型的一实施例中，所述统一加热蒸发装置能够将多个蒸发器的分散加热气化进料系统改为统一加热气化稳压再分配的进料系统，以实现通过一个蒸发进料装置提供进料一致的多种化学单体气体。

本实用新型的另一优势在于提供一种统一加热蒸发装置和镀膜设备，其中，在本实用新型的一实施例中，所述统一加热蒸发装置只需配置一个日常检查位点，并且便于清理维护，热能利用率较高，有助于满足当下镀膜市场的低成本、高效需求。

本实用新型的另一优势在于提供一种统一加热蒸发装置和镀膜设备，其中，在本实用新型的一实施例中，所述统一加热蒸发装置能够采用直观量化的气压观察方式来实现进料监测，有助于提高进料监测的精度。

本实用新型的另一优势在于提供一种统一加热蒸发装置和镀膜设备，其中，在本实用新型的一实施例中，所述统一加热蒸发装置中的预热腔和加热腔被间隔地设置，并通过蒸发腔将所述预热腔和所述加热腔连通，以确保被预热后的所述化学单体液体先进入所述蒸发腔蒸发成化学单体气体，再使所述化学单体气体进入所述加热腔被加热至所需温度以实现充分蒸发。

本实用新型的另一优势在于提供一种统一加热蒸发装置和镀膜设备，其中，为了达到上述目的，在本实用新型中不需要采用昂贵的材料或复杂的结构。因此，本实用新型成功和有效地提供一解决方案，不只提供简单的统一加热蒸发装置和镀膜设备，同时还增加了所述统一加热蒸发装置和镀膜设备的实用性和可靠性。

为了实现上述至少一优势或其他优势和目的，本实用新型提供了一种统一加热蒸发装置，用于通过加热装置加热第一和第二化学单体液体，以分别蒸发成第一和第二化学单体气体供镀膜使用，其中所述统一加热蒸发装置包括：

一蒸发器主体，其中所述蒸发器主体具有相互隔离的一第一腔室和一第二腔室，并设有一加热安装部，其中所述第一腔室用于接收该第一化学单体液体，并且该第二腔室用于接收该第二化学单体液体，其中所述加热安装部适于安装该加热装置，使得该加热装置同时加热在所述第一和第二腔室内的该第一和第二化学单体液体以被对应地蒸发成该第一和第二化学单体气体；和

一管路组件，其中所述管路组件包括一第一进料管路、一第二进料管路、一第一出料管路以及一第二出料管路，其中所述第一和第二进料管路分别对应地连通于所述蒸发器主体的所述第一和第二腔室，用于分别向对应的所述第一和第二腔室输送该第一和第二化学单体液体，其中所述第一和第二出料管路分别对应地连通于所述蒸发器主体的所述第一和第二腔室，用于将蒸发获得的该第一和第二化学单体气体分别从对应的所述第一和第二腔室输送出来。

在本实用新型的一实施例中，所述蒸发器主体的所述第一腔室包括相互连通的一第一预热腔和一第一蒸发腔，其中所述第一进料管路与所述第一预热腔直接连通，用于使经由所述第一进料管路输送来的该第一化学单体液体先进入所述第一预热腔被预热，再进入所述第一蒸发腔被蒸发成该第一化学单体气体。

在本实用新型的一实施例中，所述蒸发器主体的所述第二腔室包括相互连通的一第二预热腔和一第二蒸发腔，其中所述第二进料管路与所述第二预热腔直接连通，用于使经由所述第二进料管路输送来的该第二化学单体液体先进入所述第二预热腔被预热，再进入所述第二蒸发腔被蒸发成该第二化学单体气体。

在本实用新型的一实施例中，所述蒸发器主体的所述第一和第二腔室分别进一步包括与所述第一蒸发腔连通的一第一加热腔和与所述第二蒸发腔连通的一第二加热腔，其中所述第一和第二出料管路分别与对应的所述第一和第二加热腔连通，用于使分别在所述第一和第二蒸发腔内蒸发获得的该第一和第二化学单体气体在对应的所述第一和第二加热腔内继续被加热后，再分别进入所述第一和第二出料管路被输出。

在本实用新型的一实施例中，所述蒸发器主体包括一腔体和至少一盖体，其中所述至少一盖体被可拆卸地设置于所述腔体的一侧，以在所述至少一盖体和所述腔体之间形成所述第一和第二腔室。

在本实用新型的一实施例中，所述蒸发器主体的所述至少一盖体包括一独立盖体，并且所述第一和第二蒸发腔被间隔地设置于所述独立盖体，其中所述第一和第二预热腔与所述第一和第二加热腔均被间隔地设置于所述腔体，其中当所述独立盖体被对应地安装于所述腔体时，所述第一和第二蒸发腔分别对应于所述第一和第二预热腔与所述第一和第二加热腔，以通过所述第一蒸发腔连通所述第一预热腔和所述第一加热腔，并通过所述第二蒸发腔连通所述第二预热腔和所述第二加热腔。

在本实用新型的一实施例中，所述蒸发器主体的所述至少一盖体包括相互独立的一第一盖体和一第二盖体，并且所述第一和第二蒸发腔分别被对应地设置于所述第一和第二盖体，其中所述第一和第二预热腔与所述第一和第二加热腔均被间隔地设置于所述腔体，其中当所述第一和第二盖体被对应地安装于所述腔体时，所述第一和第二蒸发腔分别对应于所述第一和第二预热腔与所述第一和第二加热腔，以通过所述第一蒸发腔连通所述第一预热腔和所述第一加热腔，并通过所述第二蒸发腔连通所述第二预热腔和所述第二加热腔。

在本实用新型的一实施例中，所述第一和第二出料管路同时被对应地设置于所述腔体上与所述至少一盖体相对的一侧，并且所述蒸发器主体进一步具有一第一和第二导气孔，其中所述第一和第二导气孔被贯穿地设置于所述腔体，以通过所述第一和第二导气孔分别将所述第一和第二出料管路与对应的所述第一和第二加热腔连通。

在本实用新型的一实施例中，所述蒸发器主体的所述加热安装部为一插接孔，用于插接地安装该加热装置。

在本实用新型的一实施例中，所述的统一加热蒸发装置，进一步包括一环形喷嘴，其中所述环形喷嘴被安装于所述第一和第二出料管路，并且所述环形喷嘴具有环形形状，以限定出一中心开口，其中所述环形喷嘴包括一内部通道和一环形开口，其中所述内部通道同时与所述第一和第二出料管路连通，用于同时接收来自所述第一和第二出料管路的该第一和第二化学单体气体，其中所述环形开口用于释放所述内部通道内流动的该第一和第二化学单体气体。

根据本实用新型的另一方面，本实用新型进一步提供了一镀膜设备，用于利用第一和第二化学单体气体的聚合在待镀膜工件的表面形成聚合物膜层，其中所述镀膜设备包括：

一镀膜主体；和

一统一加热蒸发装置，用于通过加热装置加热第一和第二化学单体液体，以分别蒸发成该第一和第二化学单体气体，其中所述统一加热蒸发装置包括：

一蒸发器主体，其中所述蒸发器主体具有相互隔离的一第一腔室和一第二腔室，并设有一加热安装部，其中所述第一腔室用于接收该第一化学单体液体，并且该第二腔室用于接收该第二化学单体液体，其中所述加热安装部适于安装该加热装置，使得该加热装置同时加热在所述第一和第二腔室内的该第一和第二化学单体液体以被对应地蒸发成该第一和第二化学单体气体；和

一管路组件，其中所述管路组件包括一第一进料管路、一第二进料管路、一第一出料管路以及一第二出料管路，其中所述第一和第二进料管路分别对应地连通于所述蒸发器主体的所述第一和第二腔室，用于分别向对应的所述第一和第二腔室输送该第一和第二化学单体液体，其中所述第一和第二出料管路分别将所述蒸发器主体中对应的所述第一和第二腔室与所述镀膜主体连通，用于将蒸发获得的该第一和第二化学单体气体分别从对应的所述第一和第二腔室输送至所述镀膜主体。

在本实用新型的一实施例中，所述镀膜主体包括一反应腔室、一抽真空管路以及一支架，其中所述第一和第二出料管路连通于所述反应腔室，用于通过所述统一加热蒸发装置向所述反应腔室内供应该化学单体气体；其中所述支架被设置于所述反应腔室内，用于放置该待镀膜工件；其中所述抽真空管路适于将所述反应腔室与真空泵连通，用于通过该真空泵对所述反应腔室抽真空，使得所述镀膜设备对该待镀膜工件进行真空镀膜。

在本实用新型的一实施例中，所述统一加热蒸发装置进一步包括一环形喷嘴，其中所述环形喷嘴被安装于所述第一和第二出料管路，并且所述环形喷嘴具有环形形状，以限定出一中心开口，其中所述镀膜主体的所述支架贯穿于所述环形喷嘴的所述中心开口，其中所述环形喷嘴包括一内部通道和一环形开口，其中所述内部通道同时与所述第一和第二出料管路连通，用于同时接收来自所述第一和第二出料管路的该第一和第二化学单体气体，其中所述环形开口环绕着所述支架，用于在所述支架的四周释放在所述内部通道内流动的该第一和第二化学单体气体。

在本实用新型的一实施例中，所述环形喷嘴包括一环形内壳部分和一环形外壳部分，其中所述环形外壳部分连接所述环形内壳部分，并围绕着所述环形内壳部分延伸，以限定出所述内部通道和所述环形开口。

通过对随后的描述和附图的理解，本实用新型进一步的目的和优势将得以充分体现。

本实用新型的这些和其它目的、特点和优势，通过下述的详细说明，附图和权利要求得以充分体现。

附图说明

图1是根据本实用新型的一实施例的镀膜设备的局部剖视示意图。

图2A和图2B示出了根据本实用新型的上述实施例的所述镀膜设备的统一加热蒸发装置的立体示意图。

图3A和图3B示出了根据本实用新型的上述实施例的所述统一加热蒸发装置的爆炸示意图。

图4示出了根据本实用新型的上述实施例的所述统一加热蒸发装置的A-A立体剖视示意图。

图5示出了根据本实用新型的上述实施例的所述统一加热蒸发装置的B-B立体剖视示意图。

图6示出了根据本实用新型的上述实施例的所述统一加热蒸发装置的第一变形实施方式。

图7A和图7B示出了根据本实用新型的上述第一变形实施方式的所述统一加热蒸发装置的爆炸示意图。

图8示出了根据本实用新型的上述实施例的所述统一加热蒸发装置的第二变形实施方式。

图9示出了根据本实用新型的上述第二变形实施方式的所述统一加热蒸发装置的应用示意图。

图10示出了根据本实用新型的上述第二变形实施方式的所述统一加热蒸发装置的环形喷嘴的局部放大示意图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本实用新型的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本实用新型的精神和范围的其他技术方案。

本领域技术人员应理解的是，在本实用新型的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，权利要求和说明书中术语“一”应理解为“一个或多个”，即在一个实施例，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个。除非在本实用新型的揭露中明确示意该元件的数量只有一个，否则术语“一”并不能理解为唯一或单一，术语“一”不能理解为对数量的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，属于“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或者暗示相对重要性。本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或者一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以是通过媒介间接连结。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

参考说明书附图之图1至图5所示，根据本实用新型的一实施例的统一加热蒸发装置1被阐明，其中所述统一加热蒸发装置1适于与一镀膜主体40装配，以构成一镀膜装置，使得所述镀膜装置能够利用多种化学单体气体的聚合在待镀膜工件的表面形成聚合物膜层。

具体地，如图1至图5所示，所述统一加热蒸发装置1包括一蒸发器主体10和一管路组件20，用于通过加热装置30加热第一和第二化学单体液体以分别蒸发成第一和第二化学单体气体，供真空镀膜使用。所述蒸发器主体10具有相互隔离的一第一腔室101和一第二腔室102，并设有一加热安装部103，其中所述第一腔室101用于接收该第一化学单体液体，并且所述第二腔室102用于接收该第二化学单体液体，其中所述加热安装部103适于安装该加热装置30，以使该加热装置30同时加热在该第一和第二腔室101、102内的该第一和第二化学单体液体以被对应地蒸发成该第一和第二化学单体气体。所述管路组件20包括一第一进料管路21、一第二进料管路22、一第一出料管路23以及一第二出料管路24，其中所述第一和第二进料管路21、22分别对应地连通于所述蒸发器主体10的所述第一和第二腔室101、102，用于分别向所述第一和第二腔室101、102内输送该第一和第二化学单体液体；其中所述第一和第二出料管路23、24分别对应地连通于所述蒸发器主体10的所述第一和第二腔室101、102，用于将被蒸发成的该第一和第二化学单体气体分别从所述第一和第二腔室101、102输送出来。

值得注意的是，由于本实用新型的所述统一加热蒸发装置1同时包括相互独立且隔离的所述第一和第二腔室101、102，所述第一和第二进料管路21、22，以及所述第一和第二出料管路23，24，因此相比于现有的单进料蒸发器，本实用新型的所述统一加热蒸发装置1能够通过一个所述加热装置30就能够同时加热在所述第一和第二腔室101、102内的该第一和第二化学单体液体，使得该第一和第二化学单体液体分别被蒸发成该第一和第二化学单体气体，以便确保该第一和第二化学单体气体的进料温度保持较高的一致性，进而为所述镀膜设备的反应腔室提供进料温度一致的多种化学单体气体，有助于提高所述镀膜设备的镀膜质量和效率。

优选地，所述管路组件20的所述第一和第二进料管路21、22还可以用于在分别向所述第一和第二腔室101、102内输送该第一和第二化学单体液体之前，向所述第一和第二腔室101、102内输送工艺气体，以置换所述第一和第二腔室101、102内的空气，从而避免所述第一和第二化学单体液体与所述第一和第二化学单体气体分别在所述第一和第二腔室101、102内与空气直接接触而发生化学反应或者被污染，确保所述化学单体气体具有较高的纯度和质量。可以理解的是，本实用新型的所述工艺气体可以但不限于被实施为诸如氮气、氦气、氖气或氩气等不与所述化学单体气体发生反应的气体。

值得一提的是，尽管在附图1至图5以及接下来的描述中以所述统一加热蒸发装置1的所述蒸发器主体10仅包括两个腔室(即所述第一和第二腔室101、102)为例，阐述本实用新型的所述统一加热蒸发装置1的特征和优势，本领域技术人员可以理解的是，附图1至图5以及接下来的描述中揭露的所述腔室的具体数量仅为举例，其并不构成对本实用新型的内容和范围的限制，例如，在所述统一加热蒸发装置1的其他示例中，所述腔室的数量也可以超过两个，以满足不同镀膜设备的需求。此外，虽然本申请的附图以及接下来的描述中一个所述腔室对应一个所述进料管路，但在本实用新型的其他示例中，一个所述腔室也可以对应两个或更多个所述进料管路，以便拓展进料流量的调节范围。

根据本实用新型的上述实施例，更具体地，如图3A、图3B以及图4所示，所述统一加热蒸发装置1的所述蒸发器主体10的所述第一腔室101包括相互连通的一第一预热腔1011和一第一蒸发腔1012，其中所述第一进料管路21与所述第一预热腔1011直接连通，用于使经由所述第一进料管路21输送来的该第一化学单体液体先进入所述第一预热腔1011被预热，再进入所述第一蒸发腔1012被蒸发以获得该第一化学单体气体。

同样地，如图3A、图3B以及图5所示，所述统一加热蒸发装置1的所述蒸发器主体10的所述第二腔室102包括相互连通的一第二预热腔1021和一第二蒸发腔1022，其中所述第二进料管路22与所述第二预热腔1021直接连通，用于使经由所述第二进料管路22输送来的该第二化学单体液体先进入所述第二预热腔1021被预热，再进入所述第二蒸发腔1022被蒸发以获得该第二化学单体气体。

换言之，本申请的所述统一加热蒸发装置1能够先同时预热分别经由所述第一和第二进料管路21、22输送来的第一和第二化学单体液体，再同时蒸发被预热后的第一和第二化学单体液体以分别形成第一和第二化学单体气体，有助于提高所述统一加热蒸发装置的整体蒸发效率。

优选地，如图3A、图3B以及图4所示，所述蒸发器主体10的所述第一腔室101进一步包括与所述第一蒸发腔1012相连通的一第一加热腔1013，其中所述第一出料管路23与所述第一加热腔1013连通，用于使在所述第一蒸发腔1012内蒸发获得的该第一化学单体气体在所述第一加热腔1013内继续被加热后，再进入所述第一出料管路23被输出，使得该第一化学单体气体中携带的液滴得以被蒸发。

同样地，如图3A、图3B以及图5所示，所述蒸发器主体10的所述第二腔室102进一步包括与所述第二蒸发腔1022相连通的一第二加热腔1023，其中所述第二出料管路24与所述第二加热腔1023连通，用于使在所述第二蒸发腔1022内蒸发获得的该第二化学单体气体在所述第二加热腔1023内继续被加热后，再进入所述第二出料管路24被输出，使得该第二化学单体气体中携带的液滴得以被蒸发。

值得注意的是，本申请的所述统一加热蒸发装置1能够同时进一步加热以使所述第一和第二化学单体气体中携带的液体得以被蒸发，使得所述第一和第二化学单体气体的干度得以提高，有助于进一步确保所述第一和第二化学单体气体的温度保持较高的一致性，使得所述统一加热蒸发装置1能够为所述镀膜设备提供具有更高一致性温度的所述第一和第二化学单体气体。当然，在本实用新型的其他示例中，所述第二化学单体气体也可以被替换成在常温下为气态的载气(如氦气)或压缩空气，此时，所述蒸发器主体10的所述第二腔室102就可以仅设置所述第二加热腔1023，而无须设置所述第二预热腔1021和所述第二蒸发腔1022，使得所述蒸发器主体10的所述第二腔室102仅用于加热所述载气或压缩空气。

更优选地，如图3A和图3B所示，所述蒸发器主体10中的所述第一和第二预热腔1011、1021分别与所述第一和第二加热腔1013、1023被间隔地叠置，并且所述第一和第二蒸发腔1012、1022分别对应地位于所述第一和第二预热腔1011、1021与所述第一和第二加热腔1013、1023的同侧，以分别通过所述第一和第二蒸发腔1012、1022对应地连通所述第一和第二预热腔1011、1021与所述第一和第二加热腔1013、1023，防止所述第一和第二预热腔1011、1021分别与对应的所述第一和第二加热腔1013、1023直接连通，避免在所述第一和第二预热腔1011、1021内被预热的所述第一和第二化学单体液体未在所述第一和第二蒸发腔1012、1022内进行蒸发就分别进入所述第一和第二加热腔1013、1023，进而避免未被蒸发的所述第一和第二化学单体液体直接经由所述第一和第二加热腔1013、1023就分别进入对应的所述第一和第二出料管路23、24，防止经由所述第一和第二出料管路23、24分别输送的所述第一和第二化学单体气体的干度不够，影响后续的真空镀膜工艺。

根据本实用新型的上述实施例，如图2A、图2B、图3A以及图3B所示，所述统一加热蒸发装置1的所述蒸发器主体10包括一腔体11和至少一盖体12，其中所述至少一盖体12被可拆卸地设置于所述腔体11的一侧，以在所述腔体11和所述至少一盖体12之间形成所述第一和第二腔室101、102。

值得注意的是，由于所述至少一盖体12被可拆卸地安装于所述腔体11，使得在所述腔体11和所述至少一盖体12之间形成的所述第一和第二腔室101、102能够被打开和封闭，因此所述统一加热蒸发装置1的所述第一和第二腔室101、102容易被定期或不定期地清洁或保养(如清理所述第一和第二腔室101、102内壁上的污垢)，有助于保障所述统一加热蒸发装置1的蒸发效率，并且使得蒸发获得的所述第一和第二化学单体气体能够长时间保持良好的纯度和质量。

示例性地，如图3A和3B图所示，所述统一加热蒸发装置1的所述蒸发器主体10中的所述至少一盖体12可以但不限于包括一独立盖体120，并且所述第一和第二蒸发腔1012、1022被间隔地设置于所述独立盖体120；对应地，所述蒸发器主体10中的所述第一和第二预热腔1011、1021与所述第一和第二加热腔1013、1023均被间隔地设置于所述腔体11。与此同时，当所述独立盖体120被对应地安装于所述腔体11时，所述第一和第二蒸发腔1012、1022分别对应于所述第一和第二预热腔1011、1021与所述第一和第二加热腔1013、1023，以通过所述第一蒸发腔1012连通所述第一预热腔1011和所述第一加热腔1013，并通过所述第二蒸发腔1022连通所述第二预热腔1021和所述第二加热腔1023。

换言之，当所述独立盖体120被安装至所述腔体11时，所述第一和第二蒸发腔1012、1022分别对应地位于所述第一和第二预热腔1011、1021与所述第一和第二加热腔1013、1023的同一侧，并将所述第一和第二预热腔1011、1021与所述第一和第二加热腔1013、1023对应地连通，以构成完整的且相互独立的所述第一和第二腔室101、102，从而实现先同时预热所述第一和第二化学单体液体，再同时蒸发所述第一和第二化学单体液体以分别获得所述第一和第二化学单体气体，最后进一步同时加热所述第一和第二化学单体气体以分别被输送出去供镀膜设备进行后续的镀膜工艺。

优选地，如图2A和图2B所示，所述统一加热蒸发装置1中的所述第一和第二出料管路23、24同时被对应地设置于所述腔体11上与所述独立盖体120相对的一侧。这样，当所述统一加热蒸发装置1中的所述第一和第二出料管路23、24分别连通至所述镀膜设备的一镀膜主体40时，所述独立盖体120将位于所述腔体11上远离所述镀膜主体40的一侧，以避免所述镀膜主体40干扰所述独立盖体120的拆装。

更优选地，如图4和图5所示，所述统一加热蒸发装置1的所述蒸发器主体10可以进一步具有一第一导气孔104和一第二导气孔105，其中所述第一和第二导气孔104、105均被贯穿地设置于所述腔体11，以分别通过所述第一和第二导气孔104、105将对应的所述第一和第二出料管路23、24与所述第一和第二加热腔1013、1023连通，使得分别在所述第一和第二加热腔1013、1023内被加热的所述第一和第二化学单体气体经由对应的所述第一和第二导气孔104、105以穿过所述腔体11被对应地导流至所述第一和第二出料管路23、24，进而通过所述第一和第二出料管路23、24被输送至所述镀膜主体40内。

值得注意的是，正是由于所述第一和第二导气孔104、105贯穿所述腔体11，使得分别经由所述第一和第二导气孔104、105导流的所述第一和第二化学单体气体也将贯穿地流过整个所述腔体11，因此所述第一和第二化学单体气体在所述第一和第二导气孔104、105导流的过程中能够被同时持续地加热，不仅能够使得所述第一和第二化学单体气体中夹带的液滴被彻底蒸发，而且能够防止所述第一和第二化学单体气体的温度降低而液化，以确保所述第一和第二化学单体的温度保持相同。

值得一提的是，在本实用新型的上述实施例中，如图2A、图4以及图5所示，所述加热装置30优选地可以被实施为一加热棒31，对应地，所述蒸发器主体10的所述加热安装部103优选地被实施为一插接孔1030，其中所述插接孔1030被设置于所述腔体11，用于插接地安装所述加热棒31，以通过所述加热棒31实现相应的预热和/或加热效果。

优选地，所述蒸发器主体10中的所述插接孔1030与所述第一和第二腔室101、102均互不连通，用于将经由所述加热棒31产生的热量通过所述腔体11传递至所述第一和第二腔室101、102，以进行预热和/或加热，有助于更好地密封所述第一和第二腔室101、102，以防外部空气透过所述插接孔1030进入所述第一和第二腔室101、102而影响所述第一和第二腔室101、102内所述第一和第二化学单体液体的蒸发效率和质量。换言之，所述加热棒31直接加热所述腔体11，进而通过所述腔体11将热量传递至所述第一和第二腔室101、102以及所述第一和第二导气孔104、105，以实现相应的预热和/或加热目的。

可以理解的是，所述加热装置30(如所述加热棒31)不直接预热和加热所述化学单体液体和所述化学单体气体，而是透过所述腔体11来间接地预热和加热所述化学单体液体和所述化学单体气体，有助于增大所述加热装置30与所述化学单体液体和所述化学单体气体之间的传热面积，进而提高所述统一加热蒸发装置1的蒸发效率。

值得一提的是，根据本实用新型的上述实施例，如图2A和图2B所示，所述统一加热蒸发装置1的所述管路组件20可以进一步包括多个控制阀门25，其中多个所述控制阀门25分别被对应地安装至所述第一进料管路21和所述第二进料管路22，用于分别控制经由所述第一进料管路21和所述第二进料管路22输送的所述第一和第二化学单体液体的流量。示例性地，所述控制阀门25可以但不限于被实施为一隔膜阀。当然，在本实用新型的其他示例中，所述控制阀门25还可以被实施为诸如电动阀、电磁阀或截止阀等等之类的其他类型的阀门，本实用新型对此不再赘述。

此外，如图1、图2A以及图2B所示，所述统一加热蒸发装置1还可以进一步包括挡板50，其中所述挡板50适于被可拆卸地安装于所述第一和第二出料管路23、24，以在所述第一和第二出料管路23、24连通至所述镀膜主体40时，所述挡板50位于所述镀膜主体40的内部且邻近所述镀膜主体40的腔室内壁的位置，用于改变该第一和第二化学单体气体的流向，使得该第一和第二化学单体气体向四面扩散，而不是沿着所述第一和第二出料管路23、24的轴向直接向前流出，有助于使得该化学单体气体扩散的更加均匀。

值得注意的是，附图6至图7B示出了根据本申请的上述实施例的所述统一加热蒸发装置1的一第一变形实施方式。具体地，相比于根据本申请的上述实施例，根据本申请的所述第一变形实施方式的所述统一加热蒸发装置1的不同之处在于：所述蒸发器主体10中的所述至少一盖体12可以被实施为相互独立的一第一盖体121和一第二盖体122，并且所述第一和第二蒸发腔1012、1022分别被对应地设置于所述第一和第二盖体121、122；对应地，所述蒸发器主体10中的所述第一和第二预热腔1011、1021与所述第一和第二加热腔1013、1023均被间隔地设置于所述腔体11。这样，当所述第一盖体121被对应地安装于所述腔体11时，所述第一蒸发腔1012对应于所述第一预热腔1011和所述第一加热腔1013，以通过所述第一蒸发腔1012连通所述第一预热腔1011和所述第一加热腔1013；而当所述第二盖体122被对应地安装于所述腔体11时，所述第二蒸发腔1022对应于所述第二预热腔1021和所述第二加热腔1023，以通过所述第二蒸发腔1022连通所述第二预热腔1021和所述第二加热腔1023。可以理解的是，由于相互独立的所述第一盖体121和所述第二盖体122分别被对应地安装至所述腔体11以形成所述第一腔室101和所述第二腔室102，因此当需要对所述第一腔室101进行维修或保养时，仅需要拆卸下所述第一盖体121即可，仍能够确保所述第二腔室102处于密封状态，以防空气进入所述第二腔室102，避免后续对所述第二腔室102进行空气置换处理。

附图8至图10示出了根据本申请的上述实施例的所述统一加热蒸发装置1的一第二变形实施方式。具体地，相比于根据本申请的上述实施例，根据本申请的所述第二变形实施方式的所述统一加热蒸发装置1的不同之处在于：如图8和图9所示，所述统一加热蒸发装置1中的所述挡板50被一环形喷嘴50A替代，其中所述环形喷嘴50A被安装于所述第一和第二出料管路23、24，并且所述环形喷嘴50A具有环形形状，以限定出一中心开口501A，适于所述镀膜主体40的支架43贯穿于所述环形喷嘴50A的所述中心开口501A。与此同时，所述环形喷嘴50A包括一内部通道502A和一环形开口503A，其中所述内部通道502A同时与所述第一和第二出料管路23、24连通，用于同时接收来自所述第一和第二出料管路23、24的所述第一和第二化学单体气体；其中所述环形开口503A环绕着所述镀膜主体40的所述支架43，用于在所述支架43的四周将在所述内部通道502A内流动的所述第一和第二化学单体气体释放至所述镀膜主体40的内部。

值得注意的是，由于所述环形喷嘴50A的所述内部通道502A同时连通所述第一和第二出料管路23、24，并且所述环形喷嘴50A的所述环形开口503A环绕着所述支架43，使得在经由所述环形开口503A绕着所述支架43释放所述第一和第二化学单体气体之前，所述第一和第二化学单体气体先在所述内部通道502A进行初步混合，因此所述第一和第二化学单体气体能够先初步混合，再在所述支架43的四周被同步释放；之后，从所述环形开口503A释放的所述第一和第二化学单体气体将形成环形气流以吸引位于所述镀膜主体40内原有的所述第一和第二化学单体气体，进而带动所述第一和第二化学单体气体在所述镀膜主体40内循环流动，有助于进一步提高所述第一和第二化学单体气体在所述镀膜主体40内的均匀程度。

优选地，如图8和图10所示，所述环形喷嘴50A包括一环形内壳部分51A和一环形外壳部分52A，其中所述环形外壳部分52A连接所述环形内壳部分51A，并围绕着所述环形内壳部分51A延伸，以限定出所述环形喷嘴50A的所述内部通道502A和所述环形开口503A。具体地，所述环形喷嘴50A的所述环形内壳部分51A的外表面与所述环形外壳部分52A的内表面之间的狭槽定义出所述环形喷嘴50A的所述环形开口503A。

更优选地，如图10所示，所述环形喷嘴50A的内周边包括位于所述环形开口503A附近的柯恩达表面511A和位于所述柯恩达表面511A下游的扩散表面512A，其中所述柯恩达表面511A用于引导从所述环形开口503A释放的所述化学单体气体，其中所述扩散表面512A被布置成沿着远离所述环形开口503A的方向逐渐远离所述中心开口501A的中心轴线X，以形成直径逐渐变大的所述中心开口501A，有助于促进从所述环形开口503A释放的所述第一和第二化学单体气体的流动。

特别地，如图10所示，所述环形喷嘴50A的所述内周边进一步包括位于所述扩散表面512A下游的引导表面513A，其中所述引导表面513A与所述扩散表面512A成一角度，以进一步有助于从所述环形开口503A释放的所述化学单体气体的流动。优选地，所述引导表面513A被布置成基本平行于所述中心开口501A的所述中心轴线X，使得所述化学单体气体沿着所述中心轴线X的方向离开所述环形喷嘴50A，有助于延长所述化学单体气体的流动距离，提高所述化学单体气体在所述镀膜主体40内的扰动程度。

根据本实用新型的另一方面，如图1所示，本实用新型进一步提供了一镀膜装置，其中所述镀膜装置可以包括上述统一加热蒸发装置1和一镀膜主体40，其中所述统一加热蒸发装置1被可连通地安装于所述镀膜主体40，以通过所述统一加热蒸发装置1为所述镀膜主体40提供所述第一和第二化学单体气体，从而通过所述镀膜主体40进行镀膜操作。

具体地，如图1所示，所述镀膜主体40可以包括一反应腔室41、一抽真空管路42以及一支架43，其中所述统一加热蒸发装置1的所述第一和第二出料管路23、24连通于所述反应腔室41，用于通过所述统一加热蒸发装置1向所述反应腔室41内供应所述第一和第二化学单体气体；其中所述支架43被设置于所述反应腔室41内，用于放置待镀膜工件；其中所述抽真空管路42适于将所述反应腔室41与真空泵连通，以通过所述真空泵对所述反应腔室41抽真空，使得所述镀膜装置能够在通过所述真空泵抽真空的条件下，利用所述第一和第二化学单体气体的聚合在所述待镀膜工件的表面形成聚合物膜层。可以理解的是，本实用新型提及的抽真空指的是所述反应腔室41的内部压力小于所述反应腔室41的外部压力；当然，所述反应腔室41的外部压力可以是大气压，也可以是低于或高于大气压的气体压力，本实用新型对此不做限制。

更具体地，如图1所示，所述镀膜主体40可以进一步包括一电极元件44，其中所述电极元件44被设置于所述反应腔室41，用于向所述反应腔室41内的所述第一和第二化学单体气体放电，以引发所述第一和第二化学单体气体发生聚合并沉积在所述待镀膜工件的表面。

本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本实用新型的实施例只作为举例而并不限制本实用新型。本实用新型的目的已经完整并有效地实现。本实用新型的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本实用新型的实施方式可以有任何变形或修改。

Claims (14)

1.统一加热蒸发装置，用于通过加热装置加热第一和第二化学单体液体，以分别蒸发成第一和第二化学单体气体供镀膜使用，其特征在于，其中所述统一加热蒸发装置包括：

一蒸发器主体，其中所述蒸发器主体具有相互隔离的一第一腔室和一第二腔室，并设有一加热安装部，其中所述第一腔室用于接收该第一化学单体液体，并且该第二腔室用于接收该第二化学单体液体，其中所述加热安装部适于安装该加热装置，使得该加热装置同时加热在所述第一和第二腔室内的该第一和第二化学单体液体以被对应地蒸发成该第一和第二化学单体气体；和

一管路组件，其中所述管路组件包括一第一进料管路、一第二进料管路、一第一出料管路以及一第二出料管路，其中所述第一和第二进料管路分别对应地连通于所述蒸发器主体的所述第一和第二腔室，用于分别向对应的所述第一和第二腔室输送该第一和第二化学单体液体，其中所述第一和第二出料管路分别对应地连通于所述蒸发器主体的所述第一和第二腔室，用于将蒸发获得的该第一和第二化学单体气体分别从对应的所述第一和第二腔室输送出来。

2.如权利要求1所述的统一加热蒸发装置，其中，所述蒸发器主体的所述第一腔室包括相互连通的一第一预热腔和一第一蒸发腔，其中所述第一进料管路与所述第一预热腔直接连通，用于使经由所述第一进料管路输送来的该第一化学单体液体先进入所述第一预热腔被预热，再进入所述第一蒸发腔被蒸发成该第一化学单体气体。

3.如权利要求2所述的统一加热蒸发装置，其中，所述蒸发器主体的所述第二腔室包括相互连通的一第二预热腔和一第二蒸发腔，其中所述第二进料管路与所述第二预热腔直接连通，用于使经由所述第二进料管路输送来的该第二化学单体液体先进入所述第二预热腔被预热，再进入所述第二蒸发腔被蒸发成该第二化学单体气体。

4.如权利要求3所述的统一加热蒸发装置，其中，所述蒸发器主体的所述第一和第二腔室分别进一步包括与所述第一蒸发腔连通的一第一加热腔和与所述第二蒸发腔连通的一第二加热腔，其中所述第一和第二出料管路分别与对应的所述第一和第二加热腔连通，用于使分别在所述第一和第二蒸发腔内蒸发获得的该第一和第二化学单体气体在对应的所述第一和第二加热腔内继续被加热后，再分别进入所述第一和第二出料管路被输出。

5.如权利要求4所述的统一加热蒸发装置，其中，所述蒸发器主体包括一腔体和至少一盖体，其中所述至少一盖体被可拆卸地设置于所述腔体的一侧，以在所述至少一盖体和所述腔体之间形成所述第一和第二腔室。

6.如权利要求5所述的统一加热蒸发装置，其中，所述蒸发器主体的所述至少一盖体包括一独立盖体，并且所述第一和第二蒸发腔被间隔地设置于所述独立盖体，其中所述第一和第二预热腔与所述第一和第二加热腔均被间隔地设置于所述腔体，其中当所述独立盖体被对应地安装于所述腔体时，所述第一和第二蒸发腔分别对应于所述第一和第二预热腔与所述第一和第二加热腔，以通过所述第一蒸发腔连通所述第一预热腔和所述第一加热腔，并通过所述第二蒸发腔连通所述第二预热腔和所述第二加热腔。

7.如权利要求5所述的统一加热蒸发装置，其中，所述蒸发器主体的所述至少一盖体包括相互独立的一第一盖体和一第二盖体，并且所述第一和第二蒸发腔分别被对应地设置于所述第一和第二盖体，其中所述第一和第二预热腔与所述第一和第二加热腔均被间隔地设置于所述腔体，其中当所述第一和第二盖体被对应地安装于所述腔体时，所述第一和第二蒸发腔分别对应于所述第一和第二预热腔与所述第一和第二加热腔，以通过所述第一蒸发腔连通所述第一预热腔和所述第一加热腔，并通过所述第二蒸发腔连通所述第二预热腔和所述第二加热腔。

8.如权利要求5至7中任一所述的统一加热蒸发装置，其中，所述第一和第二出料管路同时被对应地设置于所述腔体上与所述至少一盖体相对的一侧，并且所述蒸发器主体进一步具有一第一和第二导气孔，其中所述第一和第二导气孔被贯穿地设置于所述腔体，以通过所述第一和第二导气孔分别将所述第一和第二出料管路与对应的所述第一和第二加热腔连通。

9.如权利要求1至7中任一所述的统一加热蒸发装置，其中，所述蒸发器主体的所述加热安装部为一插接孔，用于插接地安装该加热装置。

10.如权利要求1至7中任一所述的统一加热蒸发装置，进一步包括一环形喷嘴，其中所述环形喷嘴被安装于所述第一和第二出料管路，并且所述环形喷嘴具有环形形状，以限定出一中心开口，其中所述环形喷嘴包括一内部通道和一环形开口，其中所述内部通道同时与所述第一和第二出料管路连通，用于同时接收来自所述第一和第二出料管路的该第一和第二化学单体气体，其中所述环形开口用于释放所述内部通道内流动的该第一和第二化学单体气体。

11.镀膜设备，用于利用第一和第二化学单体气体的聚合在待镀膜工件的表面形成聚合物膜层，其特征在于，其中所述镀膜设备包括：

一镀膜主体；和

一统一加热蒸发装置，用于通过加热装置加热第一和第二化学单体液体，以分别蒸发成该第一和第二化学单体气体，其中所述统一加热蒸发装置包括：

一蒸发器主体，其中所述蒸发器主体具有相互隔离的一第一腔室和一第二腔室，并设有一加热安装部，其中所述第一腔室用于接收该第一化学单体液体，并且该第二腔室用于接收该第二化学单体液体，其中所述加热安装部适于安装该加热装置，使得该加热装置同时加热在所述第一和第二腔室内的该第一和第二化学单体液体以被对应地蒸发成该第一和第二化学单体气体；和

一管路组件，其中所述管路组件包括一第一进料管路、一第二进料管路、一第一出料管路以及一第二出料管路，其中所述第一和第二进料管路分别对应地连通于所述蒸发器主体的所述第一和第二腔室，用于分别向对应的所述第一和第二腔室输送该第一和第二化学单体液体，其中所述第一和第二出料管路分别将所述蒸发器主体中对应的所述第一和第二腔室与所述镀膜主体连通，用于将蒸发获得的该第一和第二化学单体气体分别从对应的所述第一和第二腔室输送至所述镀膜主体。

12.如权利要求11所述的镀膜设备，其中，所述镀膜主体包括一反应腔室、一抽真空管路以及一支架，其中所述第一和第二出料管路连通于所述反应腔室，用于通过所述统一加热蒸发装置向所述反应腔室内供应该化学单体气体；其中所述支架被设置于所述反应腔室内，用于放置该待镀膜工件；其中所述抽真空管路适于将所述反应腔室与真空泵连通，用于通过该真空泵对所述反应腔室抽真空，使得所述镀膜设备对该待镀膜工件进行真空镀膜。

13.如权利要求12所述的镀膜设备，其中，所述统一加热蒸发装置进一步包括一环形喷嘴，其中所述环形喷嘴被安装于所述第一和第二出料管路，并且所述环形喷嘴具有环形形状，以限定出一中心开口，其中所述镀膜主体的所述支架贯穿于所述环形喷嘴的所述中心开口，其中所述环形喷嘴包括一内部通道和一环形开口，其中所述内部通道同时与所述第一和第二出料管路连通，用于同时接收来自所述第一和第二出料管路的该第一和第二化学单体气体，其中所述环形开口环绕着所述支架，用于在所述支架的四周释放在所述内部通道内流动的该第一和第二化学单体气体。

14.如权利要求13所述的镀膜设备，其中，所述环形喷嘴包括一环形内壳部分和一环形外壳部分，其中所述环形外壳部分连接所述环形内壳部分，并围绕着所述环形内壳部分延伸，以限定出所述内部通道和所述环形开口。

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